Растровый зеркальный электронный микроскоп

 

ОПИСАНИЕ

ИЗОБРЕТЕНИЯ

К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ

ki i) 506084

Союз Советских

Социалистических

Республик (61) Дополнительное к авт. свид-ву (22) 3 аявлено 14.05.74 (21) 2024447/26-25 с присоединением заявки ¹ (23) Приоритет

Опубликовано 05.03.76. Бюллетень № 9

Дата опубликования описания 04.04.76 (51) М. Кл. Н 01J 37, 26

Государственный комитет

Совета Министров СССР по делам изобретений и открытий (53) УДК 621.385.833 (088.8) (72) Авторы изобретения

Г, В. Спивак, А. Е. Лукьянов, Э. И. Рау и В. П. Иванников (71) Заявитель

Московский ордена Ленина и ордена Трудового Красного Знамени

Государственный университет им. М. В. Ломоносова (54) РАСТРОВЫЙ ЗЕРКАЛЪНЫЙ ЭЛЕКТРОННЫЙ

МИ КРОСКОП

Изобретение относится к электронной микроскопии.

Известны растровые зеркальные электронные микроскопы (РЗЭМ), содержащие систему торможения и фокусировки электронного пучка, выполненную в виде многоэлектродного иммерсионного объектива, одним из электродов которого является исследуемый ооразсц, магнитную призму, коллектор со

c1L1IHTHë lBTop0M и контрастную диафрагму.

Однако известные РЗЭМ имеют низкое отношение сигнал/шум и пе позволяют получать количсствснную информацию о распределении электрических и магнитных микрополсй на поверхности исследуемого образца.

В предложенном РЗЭМ эти недотатки устранены благодаря тому, что микроскоп снабжен энергоанализатором, установленным между сцинтиллятором и магнитной призмой по ходу вторичного пучка и выполненным в виде трехэлектродной линзы-фильтра с регулируемым напряжением на среднем электроде, причем входное отверстие энергоапализатора служит контрастной диафрагмой.

На чертеже показана схема предложенного РЗЭМ.

РЗЭМ содсрхкпт электронную пушку 1, обьсктпвную линзу 2, сцинтиллятор 3 со свстопроводом, трехэлсктродпую лпнзуфильтр 4, магнитную призму 5, анодпую диафрагму 6 и модулятор 7 иммерсионного объектива.

Работает РЗЭМ следующим образом.

Электронный пучок после прохождения че5 рез отклоняющую призму 5 входит в поле иммерсионного ооъектпва, фокусное расстояние которого подобрано (например, путем изменения напряжения U,,) так, чтобы пучок падал перпендикулярно к поверхности исследуемого

10 образца 8. Многоэлектродный объектив обеспечивает нормальное падение пучка по всему полю зрения, что существенно улучшает разрешение РЗЭМ на краю поля зрения пзза отсутствия тангенциальпых компонент ско15 рости при подходе к образцу и отражении от него первичного пучка. Зеркально отраженные или вторичные электроны фокусируются на входное отверстие — диафрагму линзыфильтра 4 н после прохождения через kkcc no20 падают на сциптиллятор 3 со светопроводом.

Далее сигнал усиливается ФЭУ и впдеоусилителсм РЭМ.

Линза-фильтр работает следующим оора25 зом. При анализе вторичных электронов (когда первичный пучок бомбардпруст с малой энергией исследуемый ооразец) на срсдшш электрод линзы-фильтра подают регулпрусмос напряжение задержки Уз, и по сдвигу

30 с IHTkix кривых задержки измеряют локаль506084

Формула изобретения

Составитель Б. Калин

Техред А. Камышннкова

Корректор Л. Котова

Редактор Т. Орловская

Заказ 985,/13 Изд. ¹ 288 Тираж 963 Подписное

ЦНИИПИ Государственного комитета Совета Мшшстров СССР по делам изобретений и открытий

113035, Москва, )К-35, Раушская паб., д. 4/5

Типография, пр. Сапунова, 2 ный потенциал исследуемой области образца.

В случае заземления среднего электрода измерять распределение потенциалов или электрических (магнитных) микрополей можно по контрасту изобрансений (по кривым распределения плотности тока отраженных электроHoB), причем контраст изображений формирует я из-за сдвига кроссовера отраженного пучка так же, как и в эмиссионном микроскопе.

Растровый зеркальный электронный микроскоп, содержащий систему торможения и фокусировки электронного пучка, выполненную в виде многоэлектродного иммерсионного объектива, одним из электродов которого является исследуемый образец, магнитную призму, коллектор со сцинтиллятором и конт5 растную диафрагму, отличающийся тем, что, с целью улучшения отношения сигнал/ шум, получения количественной информации о распределении электрических и магнитных микрополей на поверхности образца, он снаб10 жен энергоанализатором, установленным между сцинтиллятором и магнитной призмой по ходу вторичного пучка, выполненным в виде трехэлектродной линзы-фильтра с регулируемым напряжением на среднем электро15 де, причем входное отверстие энергоанализатора служит контрастной диафрагмой.