Электронный микроскоп

 

Союз Советских

Социалистических

Республик

К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ

1 (61) Дополнительное к авт. свид-ву, (22) Заявлено21 06 74 (21) 2035782/26-25 (51) М. Кл2

НО1Э 37/26 с присоединением заявки № (23) Приоритет

Государственный кометет

Совета Мнннстроа СССР во делам нэооретеннй и отйрытнй (43) Опубликовано|25.02.76.Бюллетень ¹ 7 (53) УДК

621.385,833 (088.8) (45) Дата опубликования описания 25.03.76

Г. Д, Кисель, В. А. Кобыляков, П. А. Павленко и B. Ф. Артемов (72) Авторы изобретения (71) Заявитель (54) ЭЛЕКТРОННЫЙ МИКРОСКОП

Изобретение относится к электронньй микроскопам и может быть использовано в растровых электронных микроскопах.

Известны электронные микроскопы, содержащие электронно-оптическую систему

А у коллектор, датчик вторичных электронов и

1 видеоконтрольное устройство с индикаторным блоКом.

Однако такие устройства не позволяют получить изображение объекта при малой ð.". интенсивности вторичных электронов, а при работе датчика в режиме счета отдельных электронов видеусйлители не дают воэможности получить непрерывный сигнал.

Для повышения чувСтвительности предла- и гаемый микроскоп снабжен дискретно-аналоговым устройством, вход которого электрически соединен с датчико:r вторичных электронов, а выход — с входом индикаторного блока видеоконтрольного устройства. gв

О На. чертеже изображена блок-схема предлагаемого устройства.

Устройство содержит электронную пушку

1, электроннооптическул сисге;лу 2, предназначенную для формнровапия электронно-,я

ro зонда 3,. отклоняющую систему 4, предназначенную для отклонения электронного зонда по ЮрокаМ, и кадру при сканировании занда по объекту; 1исследуемый объект 5, расположенный на столике образцов; коллектор 6, предназначенный для создания электростатического поля, которое ускоряет и направляет вторичные электроны нд датчик вторичных электронов; датчик 7 вторичных электронов, преднаэначенныйдла преобразования пдтока вторичных электронов в электрический ток или отдельных вторичных электронов в электрические импульсы; импульсный усилитель 8 аналогового устройства, предназначенный для усиления электрических импульсов, полученных с помощью датчика 7 от вторичных электронов; формирователь 9 аналогового ус тройства, предназначенный для формирова ния стандартных импульсов по амплитуде и:форме; интегрирующий операционный усилитель 10, предназначенный для преобразования частоты следования стандартных импульсов в аналоговое напряжение, пропорциональное этой частоте; индикаторный

О П И С А Н И Е

И 3 О Б Р Е Т Е Н. И Я

504261 пряжение, пропорциональное частоте стандартных импульсов. Аналоговое напряжение поступает на вход индикаторного блока 11 видеоконтрольного устройства, который соз5 дает конечное изображение той точки исследуемого объекта, в какой произошло взаимодействие электронного зонда 3 с исследуемым объектом 5, Индикаторный блок 11 видеоконтрольного устройства с помощью генератора разверток 12 и отклоняющей системы 4 формирует изображение исследуемого объекта 5 синхронно со сканированием зонда 3 по объекту. п- ; Аналоговое устройствопозволяетполучить

15 изображение на экране видеоконтрольного ус-18 2 тройства от очень малого (1 10 а/cM ), сигнала, т. е. вплоть до единичного . вторичного электрона от отдельного элемента поверхности исследуемого объекта, что, . увеличивает чувствительность прибора на три порядка. блок 1 1 видеоконтрольного устройства, предназначенный для получения визуальноto изображения исследуемого объекта во время сканирования по объекту электронного зонда;.генераторы разверток 12,пред назначенные для формирования отклоняющих токов или напряжений; источник пита ния 13, предназначенный для питания кол лектора 6 вторичных электронов и метал лического напыления сцинтилляцйонногд да чика 7.

Электронный микроскоп работает следу ю рим образом.

На исследуемый объект 5 электронноо тической системой 2 фокусируется и направляется электронный зонд 3, который с помощью отклоняющей системы сканирует по исследуемому объекту. Электронный з попав на сбъект, выбивает из него втори ные электроны, которые несут информаци об исследуемом объекте, Эти электроны лем коллектора 6 ускоряются и направляются на вход датчика 7 вторичных электронов, который преобразовывает их в электричес» кий ток или в электпические импульсы. Ilo- 2 лученные таким путем эпектрические импуль» сы подаются на вход аналогового устройст ва, т, е. на вход импульсного усилителя 8; который усиливает и направляет их а вход формирователя 9, rae усиленные импульсы превращаются формирователем в стандартные импульсы. Далее стандартные импуль сы направляются в интегрирующий операционный усилитель постоянного тока 10, который преобразовывает их в аналоговое на

Формула изобретения

Электронный микроскоп, содержащий электронно-оптическую систему, коллектор,о датчик вторичных эпектРонов и видеоконтрольное устройство с индикаторным блоком, о т л и ч а ю ш и и с я тем, что, с целью повышения чувствительности, он снабжен дискретно-аналоговым устройством, вход которого соединен с датчиком вторичных электронов, а выход - с входом индикаторного блока видеоконтрольного устрой- ства.

Составитель Б. Калин

:Редактор О. Кузнецова Техред,О, Луговая Корректор .Н. Зинзикова

Заказ 75 Тираж 977 Подписное

UHHHfIH Государственного. комитете Совета Министров СССР по делам изобретений и открытий

113035, г. Москва, Ж-35, Раушская наб., д. 4/5

Филиал ППП Патент, r. Ужгород, ул.,Гагарина,101