Устройство для визуального контроля дефектов

 

О П И С А Н И Е (ii) 532OO5

ИЗОБРЕТЕН ИЯ

АЩ 1 Q p С К Q g 1(g Я Д Q T Я Д Q r(T21-, j

Союз Советскик

Социалистических

Республик

Е1» ! (61) Дополнительное к авт. свид-ву (22) Заявлено 02.04.74 (21) 2016284;28 с присоединением заявки М ("-1) . 1. К7.- О 01В 11 30

1осудерственвык комитет (23) Приоритет

Совета Министров СССР (5Ä.);1 Ä1, 531.717.8 (088.8) Опубликовано 15.10.76. Бюллетень X:- 38

Дата onyoликования ooi rcarrrrH 05.10.76 по делам изобретений и опрытий (72) Авторы изобретения

Ю. С, Парняков и H. В. Майраков (71) Заявитель (54) УСТРОЙСТВО ДЛЯ ВИЗУАЛЬИОГО КОИТРОЛЯ ДЕФЕКТОВ

Изобретение относится к оптико-механическим приборам и может найти применение для исследования качества поверхностей различных объектов, например, в производстве полупроводниковых приборов и интегральных схем на операциях визуального контроля кристаллов по внешнему виду.

Известное устройство — металлографический микроскоп ММ-З, содержит эпиобъектив, ахроматическую линзу, бинокулярную

НаСадКу, OCBGTHT8.71», /Be CV»BHHI»IC диафраГvii»I и две сменные плоско-параллельные пластинки, установленные между объективом и ахроматической линзой под углом 45 к оптической оси прибора, одна из которых имеет полупрозра гпое покрытие, а другая — кольцевое зеркальное (1j.

Недостатком данного устройства является то, что 1 Онт роль исследуемого Ооъсl.та может производит ся только путем поочсрсдноГО ВКЛIОЧСНИЯ СООТВЕTCTByЮЩЕГО ОСВЕЩСН1111 70

«vcToäó светлого или темного поля.

Цель изобретения — повысить производительность устройства и качество контроля.

Поставленная цель достигается тем, что устройство снабжено шаблоном, имеющим прозрачный и непрозрачный участки и установленным с возможностью «перемещения в плоскости осветителя, сопряженной с предметной плос1 ость10, и Оп7 ическим форми170ьа— телем, установленным за полупрозрачным зеркалом для направления светового потока под углом, большим апертурного угла обьекта, а полупрозрачное зеркало выполнено поворотным, выводимым из оптического хода лучей, На фиг. i приведена оптическая схема, а на фиг. 2 — поле зрения устройства, Оно содержит Ооъектив 1, ахроматическую

1и линзу 2, окуляр 3, осветитель, включающий источник света 4, коллектор 5, шаблон О, конденсорную линзу 7, полупрозрачное зеркало 8, формирователь 9, 15

1оаботает устройство следующим образом, (ветовой поток от источника света 4 с помощью коллектора б и линзы 1, отразившись

От светоделительного зеркала 8, направ;ястся в выходной зрачок объектива 1 и создает

0circme«i»e Ооъекта по методу светлого по.lя.

17даолон о, находящи1 ся в передней фокальной II:1оскости линзы 7, с помощью полу11ро2р 2iIIr0i 0 зеркала 6 li 00 ьс1.7 rr«rd 1 проек 1 I17$ ется в н.iucr uc7 предмета. 17даолон б выно.i11ен, нап17их1ср, I» r»rl+a cTci лянной 17poapa illolr пластпн1 и с нанесенным н2 нее неп170зра 1ным участком в впде полоски, Форма непрозрачного участка может быть любой, например, в виде квадрата, круга или перекрытия.

ilpH прОект11poilaH1111 шаолон2 В плоскость

IIpcphicT2 I: llpH:120 lioQcilIrrr Изображения помощью устройства светлые зоны А поля зрения соответствуют прозрачным участкам шаблона 6, темная зона Б — непрозрачному участку шаблона (см. фиг. 2), Одновременно световой поток, прошедший через полупрозрачное зеркало 8, формирователем 9 коiiцснтрируется в плоскость предмета. Т!!ким образом создастся освещение по методу темного поля. Изображение обьекта, создаваемое с помощью объектива 1 и акром Ггической линзы 2, рассматривается через окуляр

3. На поверхность объекта, расположсйну!О перпендикулярно оптической оси объектива, падают лучи через обьектив 1 (освещение itо

МЕТОД! СВЕТ;IОГО ПОЛЯ) И ПОД ГЛОМ ОТHOCHтельно оси объектива от формирователя 9 (освещение по методу темного поля) . Ня участках объектива зоны Б яркость элементов структуры изображения объекта определяется суммарной интснcHBIIocTbto свстовых лучей от обе tx систем освещения (tto мстоду светлого и темного полей). В зоне Б, соответствующей прозрачной полоске шаблона, яркость будет определяться интенсивностью светового потока, освещающего объект по методу темного поля.

При смещении зоны Б (или перемещении наблюдаемого объекта от края до края поля зрения оптического прибора) производят последовательный обзор всей исследуемой поверхности объекта и получают информаци10 об объекте при освещении его как по методу сВетлОГО, тяк и по методу темнОГО полей, Для поочередного включения освещения по методу светлого и темного поля полупрозра.ное зеркало 8, установленное под углом 45= к оптической Оси прибора, выполнено с возможност1по взедения или выведения из оптического хода лучей.

При сканировании зон - ра-.ë;è÷íûì харя тером освещения оператор исследует новерх—

1;Ость 067 0KTB ItPH P33 IHHI-."0 (cnсще1!Н11, i г0

ПОВЫШЯЕТ КЯЧЕСТВО КОН1РОЛ51, Сфек!ОВ, УВС5 личивяет прОизВОДH 1 1ьность и улучшает vc. Овня вrlçóàctt Ftoão контооля.

Ф 0 р м у . d и 3 0 0 р с т . !! 1! Ft

Устройство для ви:дального контроля дефектов, содержащее объектив, ахроматическую линзу, осветигель, состоящий из источника света, конденсорны., линз и полупрозрачно! 0 зеркала, устяновленнOI 0 под у| лом

45 между объективом и ахроматической линзой, отличающееся тем, что, с целью lloвышения качества контроля и увеличения производительности устройства, опо снабже2!! но шаблоном, имеющим прозрачный и непрозрачный участки, установленным с возможностью перемещения относительно оптической оси осветителя в плоскости осветителя, сопряженной с предметной плоскостью, и оп25 тическим формирователем, установленным на оси осветителя за полупрозрачным зеркалом для направления светового потока на объект под углом, большим апертурного угла объекта, а полупрозрачное зеркало выполнено

30 поворотным — выводимым из оптического хо. да лучей, Источники информации, прини!ые во вниз5 мание при экспертизе:

l. Коломийцев Ю. В. «Оптические приборЫ для измерения 7инейных и угловых величин в машиностроении», М., 1964 г., стр, 183—

184 (прототип).

532005

ФФ Ф, 5 s;

Редактор Э. Шибаева

Заказ 2133/4 Изд. ¹ 1663 Тираж 864 Подписи ос

ЦНИИПИ Государственного комитета Совета Министров СССР

Ilo делам изобретений п открытий

113035, Москва, )К-36, Раушская наб.. д. 4/3

Типография, пр. Сапунова, 2, !з

Составитель В. Климова

Текред Е. Подурушина

Коррекгоры: В. Дод н А. Николаева