Зонд для измерения параметров электронных пучков электроннолучевых приборов
Похожие патенты:
Магнетрон // 669972
Магнитная система // 615554
Коллектор электронного прибора // 517079
Изобретение относится к области технологии получения тонких пленок и может быть использовано при нанесении многокомпонентных пленочных покрытий для электронной, атомной и других областей науки и техники
Мишень для ионно-плазменного нанесения пленочных покрытий сложного состава и способ ее изготовления // 2262151
Изобретение относится к технологии тонких пленок и может быть использовано при изготовлении многокомпонентных пленочных покрытий для электронной, атомной и других областей науки и техники
Изобретение относится к авиаприборостроению и предназначено для разработки и изготовления прецизионных высоковакуумных приборов
Изобретение относится к вольфрам-титановым мишеням для магнетронного распыления и способам их получения и может быть использовано в микроэлектронике
Изобретение относится к области металлургии цветных металлов, а именно к производству распыляемых металлических мишеней из молибдена, и может быть использовано в микроэлектронике для нанесения покрытий тонкопленочной металлизацией
Изобретение относится к области металлургии, в частности к способам производства распыляемых мишеней
Изобретение относится к области металлургии, в частности к способам производства распыляемых мишеней
Способ производства литой мишени из сплава на основе тантала для магнетронного распыления // 2454483
Изобретение относится к области металлургического производства распыляемых металлических мишеней для микроэлектроники, а также к изготовлению интегральных схем и тонкопленочных конденсаторов на основе тантала и его сплавов
Способ производства литой мишени для магнетронного распыления из сплава на основе молибдена // 2454484
Изобретение относится к области металлургии цветных металлов и может быть использовано при производстве распыляемых металлических мишеней для нанесения тонкопленочной металлизации различного назначения в микроэлектронике и других высоких технологиях