Устройство для измерения координат термостабильной точки полевых транзисторов

 

rii> 714317

Союз Советскмх

Социалистических

Республик

ОПИСАНИЕ

ИЗОБРЕТЕНИЯ

К АВТОРСКОМУ СВИ ИТВЛЬСТВУ

Я ф(1

- " ч- -- (51) М. Кл.

*,!,У

C ф (61) Дополнительное к авт. свид-ву (22) Заявлено: 210977 (21) 2525795/18-25 с присоединением заявки HP— (23) Приоритет—

Опубликовано 0502.80. Бюллетень )49 5

G 01 R 31/26

Государственный комитет

СССР ио делам изобретений и открытий, (533 УФЖ 621.382.3 (088. 8) Дата опубликования описания 08.0280.

/ (72) Автор

" изобретения

В.л. Свирид

Минский радиотевснический институт (71) Заявитель (54) УСТРОЙСТВО ДЛЯ ИЗМЕРЕНИЯ КООРДИНАТ

ТЕРМОСТАБИЛЬНОЙ ТОЧКИ

ИОЛЕВЫХ ТРАНЗИСТОРОВ

Изобретение относится К иэмврительной технике, предназначено для измерения координат термостабилЬной точки характеристик управления Поле» вых транзисторов с повьхаениой точностью и быстродействием и может быть использовано при технологичес-.. ком контроле тепловых и других пара метров полевых транзисторов различ ных типов, Известны устройстза для опредеЛе ния координат термостабйлъиой тоЧКй полевых транзисторов, ск=иованные йа исследовании точки пересечения харак теристик управления, снятых при двух значениях температуры окружающей среды.

Одно иэ таких устройств, поэво- лякщее измерять параметры и характе» ристики управления полевых транзис торов, содержит регистрирующий при- бор, преобраэоватепь параметр-напря; жение, генератор импульсов, два сии хронных детектора, два аттенюатора, сравнивающее н вычитающее устройства, пропорциональный модулятор и блок напряжений смещения (1) .

Это устройство при определении координат термостабильной точки не

2 обеспечивает соответствующей точиос- ти,измерений вследствие субъективного характера отсчета с графического иэображения точки пересечЕния харак теристик управления, полученных при двух значениях температур окружающеЮ среды.. Так как местоположение термо стабильной точки зависит от типа характеристик уйравления (сток-затворная или характеристики крутизны или проводимости канала), необходимо каФдую из них снимать в отдельности, при этом иэ-за отсутствия автоматиэа ции резко снижается производитель- ность измерений °

Известно также устройство для из мерения координат термостабильной точки полевых транзисторов, содержащее.двухкамерный термостат с системой транспортировки исследуемого прибора из одной камеры в другую, преобразователь параметр-напряжение, соединенный с исследуемьм прибором, генератор импульсов, шесть синхронных детекторов, два сравнивающих и три вычитающих устройств, два аттенЮатора, пропорциональный модулятор, источник напряжений смещения и гене1 ратор-формирователь запускающих им 7143 17 пульсов, соединенный с логическим элементом ИЛИ, а также делительное устройство и регистрирующий прибор, йодключенный к выходу логического элемента ИЛИ, при этом генератор импульсов подключен к первому и второ.

I му синхронным детекторам и пропорциональному модулятору, выход преобразователя параметр-напряжение соединен со входами первого и второго синхрбнных детекторов, выход первого

:детек тора подключ ен непосредстн енно к одному из входов, а выход второго детектора" через первый аттенюатор— ко второму входу первого сравниваю щего устройства, выход которого соединен с пропорциональным модулятором„, 5 подключенным к клемме затвора поле вого транзистора, перными входами третьего и четвертого синхронных детекторов и первым .вычитающим устройством, выход которого соединен с пер) 20 ными входами пятого и шестого синхронных детекторов, а второй вход †чер второй аттенюатор подключен к клейме истока полевого транзистора, которая соединена с выходом второго . 25 сравнивающего устройства, соответствующие входы которого подключены к йыходам второго синхронного детектора и блока напряжений смещения, вто-

"рые йхбды третьего и пятого синхрон- ЭО ных детекторон подключены к выходу генератора — ф ормирон ателя импульсов, а четвертого и шестого — к выходу лсигического элемента ИЛИ, выходы пятогр и шестого синхронных детекторов сое- динены с состветствующими входами второго вычитающего устройства (2).

Данное устройство также не обеспе чинает высокой точности и"йроизноди/: тельности измерений, вследствие от-. меченных выше причин. 40

Цель предлагаемого изобретен ия повышение точности и автоматизации измерений.

Поставленная цель достигается тем1, что в устройство введены третий и четвертый аттенюаторы, третье сравни вающее устройство, RS-триггер, функциональный преобразователь и масштабный усйлитель, причем выход третьего синхронного детектора соедйнен не- 5() посредственно с одним из входов, а выход четвертого детектора черЕз третий аттенюатор — со вторым входом третьего сравнивающего устройства, соединенного с R-axozcm RS-триггера, S-вход которого подключен к выходу генератора — формирователя импульсов;. а выход — ко второму входу логическа го элемента ИЛИ и системе транспортировки исследуемого элемента, выход пятого синхронного детектора соеди- 50 нен непосредственно с одним из входов, а выход шестого детектора через четвертый аттенюатор — со вторым входом третьего вычитающего устройстна, подключенного к регистрирующему при- 5 бору, выход третьего синхронного детектора соединен непосредственно с одним из входов, а выход второго нычитающего устройства через функциональный преобразователь — со вторым входом делительного устройства, выход которого через масштабный усилит ель, сопряженный с преобразователем параметр-напряжение, подключен к регистрирующему прибору, который соединен с функциональным преобразователем,-третьим вычитающим устройством и четвертым аттенюаторсм.

Известно, что:

"эиОЮ "зим

",.Тг . ув, 1 Я р эи 7р 1 )()зи

ЭИ Зи

М

11зиотс "зиота (г) !

\( зи

3s зио (UU ) "эи

1. (знаке "

"«--<«-» > о,.,, 1 < >

Й 9(l3„,1 (4-k) 1 1 „ гдеОзи -напряжение затвор-исток полевого транзистора соответствующее термостабильной точке исследуемой характеристикиз — степень аппроксимирующего полинома характеристик управления полевого транзистора - 1 — для характеристик крутизны S=f(Ци)в усилительном режиме и проводимости канала

G=f(Uqu) в режиме упранляемого сопротивления и а — 2 — для сток-затворных характеристик; (азиата (4ас и ац,„(()зи ) нU (() ) — напРЯЗБ а8 жения отсечки и Ироизвбдйые крутизны по напряжению затвор-исток 0зи в одной из точек характеристики крутизны йри двух значениях температуры ок- ружающей среды, соответственно, и .t

P(UQ — ордината термостабильной точки в соответствующих единицах . измерения исследуемых характеристик полевого -транзистора.

Переходя к конечнык приращениям и выполняя в процессе измерений услов ие

ЬЯ =аЯ, (3) выражения (1) и (2) представляем в .общем виде:

714317 где

b U(„ (6)

Прн изменение температуры окружающей среды в относительно не широких пределах этот коэффициент (6) может врыть принят равным 1,25;

S (Uq„) — одна из отсчетных точек характеристики крутизны при определении производной, соответствуищая, например, пределу измерения. крутиз-ны;

"(= — — коэффициент связи межS(U )

hS транзистора. Второй аттенюа:ор 9, соединенный с клеммой истока полево» го транзистора 1 и имеющий коэффициент затухания, равный двум, и первое вычитающее устройство 10 обеспе-. чивают непосредственный отсчет напряжения отсечки. Источник 11 напряжений смещения и второе сравнивающее устройство"12, соединенное с клеммой эатвора транзистора 1, образуют сис" тему стабилизации крутизны в одной иэ точек исследуемой характеристики йезависимо от влияния температуры окружающей ореды, которая позволяет автоматически выполнить условие (3) .

Двухкамерный термостат 13 с системой транспортировки 14 исследуемого элемента нэ одной камеры s другую, третий и- четвертый синхронные детекторы 1 5 н 16, третий аттенюатор 17, третье сравнивакв(ее устройство 18 и

RS-триггер 19, входящие в состав системы модуляции по температуре параметров полевога транзистора, позволяют при измерениях автоматически устанавливать. заданное соотношение производных (6), например К - 1,25.

Пятый и шестбй синхронные детекторы

20 и 21, второе вычитающее устройст во 22, функциональный преобразователь 23, делительное устройство 24 и масштабный Усилитель 25 представляют собой канал измерения ордина „ а четвертый аттенюатор 26 и третье вычитакщее устройство 27 — канал из мерения напряжений затвор-исток, соответствующих термостабильной точке исследуемых характеристик полевого транзистора 1, которые в соответствии с уравнениями (4) и (5) произво дят обработку поступающей информации об измеряемых величинах с поСледующей передачей для индикации на регйстрирующий прибор 28. ду крУТизной и приращением крутизны (при измерениях может быть принят, равным двум) °

Таким образсм, для измеряемых координат, соответственно, характеристик крутизны, проводимости канала и сток-затворной можно записать:

5Р- — () ), (.7)

Ов(щ q зиняс 8 зиотс

9(0 0 ) (8) зим а зиотс 9 зи(лс

s(u,„

В(О,,1= (и,„, ()=2 „ " Ьзизте "зиад

36 г аози

Для синхронного йзменения козффи" цнента передачи четвертого аттенюатора 26 и третьего вычитающего устройства 27 в соответствии с выражениями (7) и (8), а также режима рабо" ты функционального преобразователя

23, представляющего в одном случае линейный повторитель, а во втором— квадратор напряжений, и размерности индицируемых величин регистрирующего прибора 28 в соответствии с уравнениями (9) и (10), управляющие органы укаэанных структурных блоков сопря- жены. для автоматической коррекции показаний регистрирующего прибора 28, связанных с пределом измерения крутизны (множитель S(П „ ) в фоРмУлах (9) и (10}, управляющие органы преобразователя 2 параметр-напряжение и масштабного усилителя 25, о уществ ляющие изменение их коэффициентов пе редачи, также сопряжены между собой.

Управление всеми системами устройства производится с помощью генерато-

Предлагаемое устройство в автоматическом режиме производит измерение напряжения отсечки и приращения напр яжени я, пропорцион альн ого производной при двух значениях температуры, 4Q при которых автоматически выполняются условия (3) и (6) и, в соответствии с (4) и (5), определяет исксмь1е координаты, обеспечивая выигрыш в точности и быстродействии измерений. 45

На фиг. 1 представлена (",труктур" ная схема предлагаемого устройства для измерения координат термостабильной точки полевых транзисторов; йа фиг. 2 — характеристики крутизны при двух значениях температуры окружаю-. щей среды, поясняющие принцип измерений; на фиг. 3 — диаграммы, поясняющие принцип работы устройства.

Устройство (фиг. 1) содержит ряд функциональных систем. Исследуемый транзистор 1, преобразователь 2 параметр-напряжение, первый и второй синхронные детекторы 3 и 4 и пропорциональный модулятор 5, управляемые генератором 6 импульсов, а также пер- 60 вый аттенюатор 7 с коэффициентсм затухания, равный двум, и первое сравнивающее устройство 8 образуют систему измерения производной крутизны по напряжению затвор-исток полевого 65

714317 ра-формирователя 29 запускающих импульсов и логического элемента

ИЛИ 30.

При подключении к измерительным клеммам устройства полевого транзистора l, егО рабочая точка оказывается смещенной в. область максимума крутизны исследуемой характеристики под влиянием большого рйзностного сигна "ла»", "вознйкающего в сравнивающем устройстве 12 за счет опорного напряжения источника 11 и отсутствующего в данйый момент напряжения синхронного детектора 4, что способствует образованию напряжений на выходах преоб« разователя 2 параметр-напряжение и синхронных детекторов 3 и 4 в результате непрерывной работы генератора 6.

Выходкой напряжение детектора 4, преодолевая в сравнивающем устройстве

12 опорное напряжение источника ll; переводит рабочую точку полевого трайзйстора 1 на участок характеристики, определяемый начальными условиями, с последующей афтаб»илиэицз изей в установившемся режиме крутизны S (UzÄ ) (фиг. 2) с заданной точностью, независимо от влияния различных факторов, за счет изменения напряжения смещения Ugy, Одновременно с этим выходное напряжение детектора 4, ослаблен ное аттенюатором 7 в соответствующее †чис раэ, сравнивается с полным напряжением детектора 3 в устройстве 8.

Результат сравнения, усиленный в этом же устройстве, а затем преобразованный в пропорциональном модуляторе 5 в импульсное напряжение прямоугольной формы ЬПщ, воздействуя на затвор, вызйвает модуляцию крутизны полевого транзистора, при этом на выходе преобразователя 2 образуется

"напряжение, пропорциональное глубине модуляции крутизны ЬS (фиг. 2). В дальнейшем это напряжение с помощью

:синхронных детекторов 3 и 4 разде .ляется по"временнсму принципу с последующим иакоплением информации в

"виде напряжений, соответствующих максимальному S(()щ ) и минимальнсму значенизм ирутнзнм транзиои(и»» ) тора в пределах модулируиието воздействия. Таким образом, при выборе необходимых начальных условий работй детекторов 3, 4 и модулятора 5, син* хрониэм которых обеспечивается гене+ ратором 6 импульсов, данйая система авторегулировки приходит в равновес йое" сж тояние, непрерЬ1в»н»о поддерживая постоянной, с заданной степенью точности, и в соответствии с уровнем затухания аттенюатора 7, глубину мо дуляции крутизны транзистора 1, независимо от действия различных факторов, эа счет изменения входного воздействия 40щ несущего информацию о производной крутизны исследуемой характеристики. Напряжение смещения

U определенной полярности, поступающее с выхода сравнивающего устройства 12 и ослабленное в два раза аттенюатором 9, вычитается в устройстве 10 с выходным напряжением сравнивающего устройства 8, а затем усиливается в два раза, образуя напряжение отсечки U исследуемого транзистора (фиг . 2), которое поступает для дальнейшей обработки на синхронные детекторы 20 и 21. Одновременно с ним выходное напряжение сравнивающего устройства 8, соответ.— ствующее производной крутизны 6U>„, воздействует на информационные вхо(IS ды синхронных детекторов 15 и,lб. К рассматриваемому моменту времени полевой транзистор 1, находясь в одной

Йэ камер термостата 13, определяемой состоянием RS-триггера 19 при началь2О ных условиях, приобрел температуру кристалла t (фиг. За), и под влиянием управляющего импульса {фиг/ Зб) ген»ератора-.формирователя 29, воздействующего на управляющие входы синхронных детекторов 15 и 20 непосредственно, а 16 и 21 — через логический элемент ИЛИ 30, в детекторах 15 и 16 накопилась информация о производной проводимости h,U>«а в детекторах 2 0 и 2 2 — о на пр яж енин отс ечк и

ЗО

Пзиота, соответствующих характеристике крутизны полевого транзистора при температуре t (фиг. 2) . При этом полное выходное напряжение детектора 15 и ослабленное и K раэ (6), напряжение детектора 16 полностью определяют начальное состояние сравнивающего устройства 28. По окончанию управляющего импульса (фиг. Зб), длительность которого за4Q висит от: времени установления переходных процессов в рассмотренных системах авторегулировок, синхронные детекторы 15 и 20 переходят в режим хранения информации, а ВЯ-триггер 19, 45 получая по Б-входу перепад напряжения — в единичное состояние и формирует импульс (фиг. Зв), который, воэдействуя на систему транспортировки

14 и логический элемент ИЛИ 30, negg ремещает исследуемый транзистор 1 в, другую камеру термостата 13 с температурой t и продолжает сохранять прежний режим работы синхронных детекторов 16 и 21 (управляющие импульсы на фиг. Зг) . По,мере прогрева транэистора 1 (фиг. 3a) изменяется йаклЬн исследуемой характеристики (фиг. 2), при этом системы стабилизации крутизны S(Uz„ ) и глубины моду1 ляции крутизны ьЯ, стремясь воспре о пятствовать изменению этих параметров, вызывают изменения напряжения смещения и модулирующего воздействия ьО „, что приводит к непрерывному на накоплению информаций о производной

71431 7

10 крутиэны и напряжении отсечки раздела>но в синхронных детекторах 16 и 21.

Изменяющееся напряжение детектора 21 обрабатывается в соответствии с выражением (4) в канале измерения напряжений затвор-исток, соответствующих тесмостабильной точке исследуемых характеристик, т,е. ослабляется в заданное число раз в аттенюаторе 26 и вычитается в устройстве 27 с хранимым напряжением детектора 20 с последующим необходимым усилием. Одновременно с этим в канале измерения ординат в соответствии с формулой (5) выходные напряжения детекторов 20 и 21 вычитаются в устройстве 22, а полученная разность после обработки в функциональном преобразователе 24 подв ерга етс я делению на напряжение детектора 15 в устройстве 24 и преобразованию в масштабнси усилителе

25; Спустя некоторое время изменяю- Я щееся напряжение детектора 16 достигает такой величины, при которой на выходе аттенюатора 17 образуется напряжение s точности соответствующее значению напряжения, хранимому в де- р текторе 15 (соотношение напряжений

1,25, показанное на фиг. За) . При данных условиях срав нивающее устрой-. . ство 18 формирует на своем выходе перепад напряжения и воздействует им на R-вход RS-триггера 19„ который, возвращаясь в исходное состояние, заканчивает формирование управляющего импульса (фиг. Зв), переводя пОсредством логического элемента ИЛИ 30 синхронные детекторы 16 и 21 в режим хранения накопленной ийформации о производной Ы1 д„и напряжении отсечt ки Бзщ, соответствующим температуре t (фиг. 2), и,, воздействуя на систему 14 транспортировки, возвра- 4О щает ее в исходное состояние, при этом изымается старый и подключается к измерительным клеммам устройства новый транзистор, находящийся в первой камере термостата и успевший за- 45 благовременно прогреться до темпера-. туры, и измерительное устройство подготавливается к новому циклу измерений. Отрицательный перепад напряжения, образовавшийся на выходе ло - 5О гического элемента ИЛИ 30, разрешает регистрирующему прибору 28 индикацию выходных напряжений вычитающего устройства 27 и масштабного усилителя

25, которое к данному моменту време ни оказываются точно соответствующими координатами измеряемым характеристик. Для получения отсчета координат других характеристик изменяют одновременно коэффициенты передачи аттенюатора 26 и устройства 27 в соответствии с выражениями (7) или(8), а также режим работы функционального преобразователя 23 и размерность инцицируемых величин регистрирующего прибора 28 в соответствии с формулами 65 (9) или (10) (эта операция может выполняться автоматически), при этом не требуется заново производить цикл измерений параметров одного и того же транзистора. Выбор предела измерения крутизны S (О и ) при исследовании одного и того же транзистора, на показаниях регистрирующего прибора

28 не должен оказаться так как при изменении коэффициента передачи преобразователя автоматически подстраивается величина аU входящая в выражения (9) и (10), и одновременно корректируется коэффициент передачи масштабного усилителя так, что соотнесение остается Ностояннни. ((13и )

4 1)ьи

Спустя нек оторое предель но к оротк ое, но достаточное для установления показаний регистрирующего прибора 28. в ремя (индикация измеряемых координат предыдущего транзистора может производиться во время измерения параметров последующего транзистора) ,снова срабатывает генератор-формирователь 29 и процессы в измерительном устройстве периодически повторяются описанным выше способом, производя измерения координат термостабильной точки характеристик управления все новых и новых транзисторов.

Предлагаемое устройство выгодно отличается от известных повышенной точностью и быстродействием. Выигрыш в точности измерений заключен, прежде всего, в методе определения координат. Существующая функциональная связь между характеристиками крутизны и сток-затворной позволило перей ти от нелинейных (сток-затворных) к линейным (крутизны, проводимости канала) характеристикам полевого транзистора и с их помощью достаточно точно измерить напряжение отсечки и производную крутизны, а затем по установленным связям (4) и (5) определить координаты как линейных, так и нелинейных характеристик. Количественной оценкой выигрыша в даннсм случае будет являться отношение угловых коэффициентов относительного изменения соответствующих параметров полевого транзистора в термостабильной точке, которые можно представить в общем виде:

М t о А ь

d Зио аСР и,. где 4, и — температурные коэффициенты составляющих дрейфа параметров полевых транзисторов, обусловленных, ссответственно, относительной подвижностью носителей заряда в канале и контактной разностью потенциалов между затвором и каналсм.

71 Прйменяя данное соотношение для собНЙФстФ9йМих" ха рак т ерйс тик," ис=тйЖз зуемьы при определении кЬординат "-йбйучаем выигрыш в точности измерений

4317 12 ствами, может составлять, как минимум, несколько десятков раз, а время измерения не превышать, по меньшей мере, тепловой. постоянной переход-среда бескорпусного транзистора

М9а айтеке ц arras /QU Вмау аи аи

В действительности же, учитывая 30 субъективный характер отсчета координат с графического изображения, получаемого известными методами с по ,моаью характериографа, и возможность получения отсчета измеряемых парамет 5 ров "предложенным методом с помощью цифрового табло; выигрыш в точности измерений будет значительно выше.

Проведенный нами анализ погрешностей показывает-, что среднеквадратическая погрешность измерения координат может быть получена в пределах

+ (0,1 - 0,5) Ъ в эавйсимости от вида

Исследуемых характеристик. Количественную оценку выигрыша в быстродейст. вии измерений можно получить, анализируя фиг. За. Для того, чтобы определить координаты с помощью. известного устройства, необходимо время для изМенения температуры кристалла полЬвого транзистора, равное, как ми- 30 нимум, 3-4 тепловым постоянным переход-среда „, так как только после такого промежутка времени можно утверждать, что температура кристалла устанбвилась и параметры транзистора 35 не изменяются. следует также иметь ввиду, то тепловая постоянная транзистора, даже не заключенного в кор "пус", составляет десятки секунд, Для того, чтобы определить координаты с помощью предлагаемого устройства необходимо гораздо мевьше времени, чем тепловая постоянная ... транзистора . Это обусловлено тем, что нет необходимости ждать пока 45 кристалл транзистора достигнет температуры второй камеры термостата.

Здесь важуо то, чтобы параметры транзистора изменились под влиянием температуры на необходимую величину(на- пример, угловой коэффициент, так как 50 производная, характеристики крутизны должны измениться на 25%). Повышая разность температур в камерах термостата, необходимое изменение параметров может быть достигнуто за весьма 55 короткое время, однако, его минимальное значение должно быть согласовано с мйерциснностью систем авторегулировки измерительного устройства, вре— " " мя установления которых не трудно по- щ лучить менее одной секунды.

Таким образом, выигрыш в быстродействии, который обеспечивает предлага емое ус тройс тв о и о с рав н ен ию с лучшими автоматизированными устрой- 65

Формула изобретения

Устройство для измерения координат термостабильной точки полевых транзисторов, содержащее двухкамерный термостат с системой транспортировки исследуемого прибора из одной камеры в другую, преобразователь параметр-напряжение, соединенный с исследуемым прибором, генератор импульсов, шесть" синхронных детекторов, два сравнивающих и три вычитающих устройств, два аттенюатора, пропорциональный модулятор, источник напряжений смещения и генератор-формирователь запускающих импульсов, соединенный с логическим элементом

ИЛИ, а также делительное устройство и регистрирующий прибор, подключенный к выходу логического элемента

ИЛИ, при этом генератор импульсов подключен к первому и второму синхронным детекторам и пропорциональному модулятору, выход преобразова теля параметр- напряжение соединен со входами первого и второго синхронных детекторов, выход первого детектора подключен непосредственно к одному из входоз, а выход второго детектора через первый аттенюатор ко второму входу первого сравнивакяиего устройСтва, выход которого соединен с пропорциональным модулятором, подключенным к клемме затвора полевого транзистора; первыми входами третьего и четвертого синхронных детек ropos и первым вычитаюцим устройствам, выход которого соединен с первым входами пятого и шестого синхронных детекторов, а второй вход — через второй аттенюатор подключен к клемме истока полевого транзистора, которая соединена с выходом втор ого сравнивающего устройства, входы которого подключены соответственно к выходам второго синхронного детектора и источника напряжений смещения, вторые входы третьего и пятого синхронных детекторов подключены к выходу генератора-формирователя импульсов, а четвертого и шестого — к выходу ло гического элемента ИЛИ, выходы пятого и шестого синхронных детекторов соединены с соответствующими входами второгб вычитающего устройства, о тличающеес ятем, что, сцелью повышения точности и автсматиэации измерений, в него введены третий и четвертый аттенюаторы, третье сравнивающее устройство, RS-триггер, функциональный преобразователь и масштаб-ный усилитель, при ем выход третьего

714317

49ис. 1

4 (и„,, 2

sf

Put. 2

Фиг 3

ЦНИИПИ Заказ 9279/42 Тираж 1019 Подписное

Заказ ППП Патент, r. Ужгород, ул. Проектная, 4 синхронного детектора соединен непосредственно с одним из входов, а выход четвертого детектора через тре тий аттенюатор —. co вторым входом третьего сравнивающего устройства, соединенного с R-входом RS-триггера

S-вход которого подключен к выходу генератора, — формирователя импульсов, а выход — ко второму входу логик ческого элемента ИЛИ и системе транспортировки исследуемого элемента, вы ход пятого синхронного детектора сое динен непосредственно с одним из вхо дов„ а выход шестого детектора через четвертый аттенюатор — со вторым вхо дом третьего вычитающего устройства, подключенного к регистрирующему при- . бору, выход третьего синхронного детектора соединен непосредственно с одним из входов, а в ыход второго вичнтающего устройств а через функ циональный преобразователь — со вторим входом делительного устройства, выход которого через масштабный усилитель, сопряженный с преобразователем параметр-напряжение, подключен к регистрирующему прибору, который соединен с функциональным преобразова- . телем, третьим вычитающим устройствоМ и четвертым аттенюатором.

Источники информации, принятые во внимание нри экспертизе

1. Авторское свидетельство СССР

9 543894, кл. G 01 R 31/26, 1975.

2. Заявка 9 2523991/25, 5 кл. 6 01 R 31/26, 1977, по которой принято решение о выдаче авторского св идетельс.тва .