Контактное устройство для контроля интегральных схем

 

Союз Советскин

Социапистнческмн

Республик

ОП ИСАНИЕ

ИЗОВЕИТЕНИЯ

К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ

Н 01 L 21/66

3Ъоударстненный комитет

СССР по делам изобретений н открытий

Опубликовано 15.07. 82. Бюллетень № 26

Дата опубликования описания 15 . 07 .82 (53) УДК 621 396, ..049 (088.8) (72) Авторы изобретения

В;Г. Махаев, В.И. Миненков, В.А. Белов и В.И. Кононов (7I ) Заявитель (54) КОНТАКТНОЕ УСТРОЙСТВО ДЛЯ КОНТРОЛЯ

ИНТЕГРАЛЬНЫХ СХЕМ

20

1 . Изобретение относится к радиотехнике и может быть использовано для подключения интегральных схем с любым числом выводов к контроль- . но-измерительной .аппаратуре.

Известно контактное устройство для контроля интегральных схем, содержащее корпус с размещенными в нем контактными элементами, механизм перемещения контактов, соединенный с приводным механизмом (1), Недостатками этого. устройства являются сложность конструкции его механизма перемещения контактов и трудность его автоматизации, Наиболее близким к предлагаемому является контактное устройство для контроля интегральных схем, содержащее корпус с размещенными в нем пружинящими контактами, механизмом перемещения контактов, выполненным в виде планок, кинематически соединенных посредством ползуна с приво" дом )2).

Недостатком данного контактного устройства является сложность и низкая надежность конструкции механизма перемещения контактов, обусловленная наличием множества взаимосвязанных и взаимодействующих друг с другом деталей. Вследствие этого сложным по конструкции и ненадежным в работе является контактное устройство в целом.

Цель изобретения — упрощение кон" струкции и повышение надежности.

Указанная цель достигается тем, что в контактном устройстве для контроля интегральных схем, содержащем корпус с размещенными s нем пружинящими контактами, механизмом перемещения контактов, выполненным в виде планок, кинематически соединенных посредством ползуна с приводом, механизм перемещения контактов снабжен передаточными элементами в виде тел .вращения, расположенными между планками и ползуном, вы3 94392 полненным П-образной формы, в пазу, образованном лунками, выполненными на боковых поверхностях планок и ползуна.

На фиг,1 схематически изображено контактное устройство для контроля интегральных схем, общий вид; на фиг.2 — контактное устройство с разомкнутыми контактами; на фиг.3 то же, с замкнутыми контактами. о

Контактное устройство для контроля интегральных схем содержит корпус 1 с установленными в нем пружинящими контактами 2, механизм перемещения контактов и привод 3. Механизм перемещения контактов состоит из двух планок 4 и П-образного ползуна 5, подвижно установленных внутри корпуса 1. Одной стороной каждая планка 4 взаимодействует с контак- gp тами 2, а другой -. с ползуном 5. В соприкасающихся поверхностях планки 4 и ползуна 5 выполнены лунки 6, образующие паз 7, в котором размещен шарик 8. Между планками 4 уста- 2ц новлены пружины 9. Ползун 5 соединен с приводом 3.

В исходном состоянии контакты 2 находятся в разомкнутом положении с выводами 10 интегральной схемы 11.

Замыкание контактов 2 с выводами 10 интегральной схемы 11 производят с помощью механизма перемещения контактов. для этого включают привод 3 и движением штока 12 привода 3 вверх (направление движения штока показано стрелкой) перемещают ползун 5 в том же направлении. При этом ползун 5 заставляет перемещаться планку 4 в направлении, перпендикулярном движению ползуна 5 (направления движения планок 4 и ползуна 5 показаны стрелками), посредством перемещающихся шариков 8 (передающих движение от ползуна планке ) в пазах 7 переменной глубины.

Планки 4 при этом воздействуют на

4 4 пружины 9, сжимая их, и на контакты 2, заставляя их замкнуться с выводами 10 интегральной схемы 11. 3атем замеряют параметры интегральной схемы 11. После этого шток 12 привода движется в обратном направлении, а планка 4 под.действием раз" жимающейся пружины 9 отходит в исходное положение,. при котором контакты 2 размыкаются с выводами 10 интегральной схемы 11.

Предлагаемое контактное устройство отличается простотой конструкции, достигнутой благодаря упрощению конструкции механизма перемещения контактов. Простота конструкции предлагаемого контактного устройства обусловливает также высокую его надежность в эксплуатации. формула изобретения

Контактное устройство для контроля интегральных схем, содержащее корпус с размещенными в нем пружинящими контактами, механизмом перемещения контактов, выполненным в виде планок, кинематически соединенных посредством ползуна с приводом, отличающееся тем, что, с целью упрощения конструкции и повышения надежности, механизм перемещения контактов снабжен передаточными элементами s виде тел вращения, расположенными между планками и ползуном, выполненным П-образной формы, в пазу, образованном лунками, выполненными на боковых поверхностях планок и полэуна.

Источники информации, принятые во внимание при экспертизе;

1. Авторское свидетельство СССР

У 790049, кл. Н 01 Я 23/j2, 27.04.72, 2. Журнал "Evalution Engineering", 1976, ч. 15, Lil, Г 2, р. 18, 20, фиг.1.

943924

Составитель О, Кудрявцева

Техред Ж. Кастелевич Корректор A.Ëçÿòêo

Редактор С. Тимохина

® лн н ППП "Г1втент", r. Ужгород, ул. Проектная, 4

Заказ 5137/66 Тираж 761 Подписное

ВНИИПИ Государственного комитета СССР по делам изобретений и открытий

113035, Москва, Ж-35, Раушская наб., д. 4/5

Контактное устройство для контроля интегральных схем Контактное устройство для контроля интегральных схем Контактное устройство для контроля интегральных схем Контактное устройство для контроля интегральных схем 

 

Похожие патенты:

Изобретение относится к технике контроля параметров полупроводников и предназначено для локального контроля параметров глубоких центров (уровней)

Изобретение относится к области измерительной техники, в частности к области измерения геометрических размеров плоских изделий, и может быть использовано при измерении толщины плоских изделий из диэлектриков, полупроводников и металлов, в том числе полупроводниковых пластин, пластических пленок, листов и пластин

Изобретение относится к полупроводниковой технике и направлено на повышение точности измерения параметров эпитаксиальных слоев на изотипных проводящих подложках и применение стандартных образцов, изготовленных по технологии, обеспечивающей существенно более высокий процент выхода годных и более высокую механическую прочность

Изобретение относится к полупроводниковой технике и может быть использовано для выявления и анализа структурных дефектов (ростовых и технологических микродефектов, частиц второй фазы, дислокаций, дефектов упаковки и др.) в кристаллах кремния на различных этапах изготовления дискретных приборов и интегральных схем

Изобретение относится к области силовой полупроводниковой техники и может быть использовано при изготовлении тиристоров и диодов
Изобретение относится к неразрушающим способам контроля степени однородности строения слоев пористого кремния

Изобретение относится к области измерительной техники, в частности к области измерения электрофизических параметров материалов, и может быть использовано для контроля качества полупроводниковых материалов, в частности полупроводниковых пластин
Наверх