Способ защиты поверхности изделий из диэлектрических материалов

 

О П И С А Н И Е (м)990706

ИЗО6РЕТИНИЯ

К АВТОРСКОМУ СВИДЕТИЗЬСТВУ

Союз Советскик

Социакистическик

Республик (6f } Дополнительное к авт. свнд-ву(22)Заявлено 15.04.81 {2! } 3275824/29-33 с присоединением заявки М (23) ПрнорнтетОпублнковано 23. О1. 83. Бюллетень М 3

Дата опубликования описания 25,01.83 (51)М. Кл.

С 03 С 15/00

Гесударстешшы4 кеяятвт

СССР ае левам яэебретеякй н еткрытяй

tS3) ) ДК 666.

° 1.053 6 (088.8) f;

Н.А. Капулкин, И.Я. Гершойг, Г.Я. Павлова и В.И. Степанова (72) Авторы изобретения (7l) Заявитель (54) СПОСОБ ЗАЦИТЫ ПОВЕРХНОСТИ ИЗДЕЛИЙ .

ИЗ ДИЭЛЕКТРИЧЕСКИХ МАТЕРИАЛОВ

Изобретение относится к способам обработки травлением изделий из неорганических диэлектрических материалов, преимущественно стеклоизделий, и может быть использовано в микроэлектронной технике и приборостроении.

Известен способ обработки, предусматривающий защиту участков,- не подлежащих травлению восковой смесью. е

На изделие наносят защитный слой, затем изделие погружают в травильную ванну (1 ).

Однако этот способ обеспечивает кратковременную защиту поверхности.

В тех случаях, когда необходимо производить размерную обработку на глубине более 100 мкм, происходит отслоение восковой защиты по границе травления и кислота проникает на за- щ щищаемую поверхность.

Наиболее близким к изобретению является способ защиты изделий из диэлектрических материалов; включающий

2 предварительный нагрев изделия до

80- 150 С, укладку на прогретую по.верхность одного или нескольких слоев полиэтиленовой пленки толщиной

0,08-0,15 мкм, разглаживание ее металлическим катком, нагрев до оплавления (100 С) с охлаждением до комнатной температуры, травление в кислотной ванне, промывание в горячей воде, снятие пленки и ополаскивание изделия в воде 23.

Однако применение пленочной защиты для изделия из кварца не обеспечива" ет защиты по боковым поверхностям., В этом случае наблюдается отслоение пленки по истечении 10-15 мин, т.е. при травлении на глубину.40-60 мкм.

Цель изобретения - обеспечение воз" можности травления поверхности изделий из кварца на глубину свыше

100 мкм.

Цель достигается тем, что согласно способу защиты поверхности изделий из диэлектрических материалов при

Формула изобретения

Составитель О. Самохина

Техред Ж.Кастелевич Корректор E Рошко

Редактор Г. Безвершенко

Тираж 484 Подписное

ВНИИПИ Государственного комитета СССР по делам изобретений и открытий

113035, Москва, Ж-35, Раушская наб., д. 4/5

Заказ 41/31

Филиал ППП "Патент", г. Ужгород, ул. Проектная, 4

3 9907 травлении в кислотах путем нанесения пленки на участки, не подлежащие травлению, с последующим отделением защитного покрытия, на участки, не подлежащие травлению, наносят липкую поливинилхлоридную пленку, которую покрывают восковой смесью.

Кислотостойкая пленка с липким слоем обеспечивает надежную связь со стеклом, а восковая смесь выпол- 1в няет роль механического прижима.

На защищаемую поверхность наклады" вают маску из липкой поливинилхлоридной пленки (I 0CT 5. 1984-73). 3атем иэделие вместе с маской обволакивают восковой смесью (за исключением мест, подлежащих травлению) и производят химическое травление в

70 . — ном растворе плавиковой кислоты на глубину 800 мкм.

Съем защитного слоя после травления производят путем погружения в воду комнатной температуры, нагрева воды до температуры кипения с последующим охлаждением. 2S

Анализ качеств обработанных изделий показал надежность защиты участков, не подвергающихся травлению, и отсутствие подтравов.

Для снижения трудоемкости разработана и внедрена специальная оснастка, позволяющая изготавливать маски иэ пленки путем вырубки на штампе, а также оснастка, снижающая

06 4 трудоемкость при нанесении маски с двух сторон на объект обработки.

Использование изобретения позволя ет повысить качество обработки при длительном травлении (2,5 ч) на глубину свыше 500 мкм изделий иэ диэлектрических неорганических материалов, преимущественно из кварцевого стекла, путем исключения подтравов.

Способ защиты поверхности изделий из диэлектрических материалов при травлении в кислотах путем нанесения пленки на участки, не подлежащие травлению, с последующим отделением защитного пдкрытия, о т л и ч а юшийся тем, что, с целью обеспечения возможности травления поверхности изделий из кварца на глубину свыше 100 мкм, на участки, не подлежащие травлению, наносят липкую поливинилхлоридную пленку, которую покрывают восковой смесью.

Источники инФормации, принятые во внимание при экспертизе

1. Бахтик С. и Поспихал В. Облагораживание стекла. М., Стройиздат, 1970, с. 164-169.

2. Авторское свидетельство CCCP и 557066, кл. С 03 С 15/02, 1973.