Общие схемы, не предназначенные для какого-либо специального применения и не отнесенные к другим рубрикам (H01J37/24)
H Электричество(232322)
H01J Электрические газоразрядные и вакуумные электронные приборы и газоразрядные осветительные лампы (искровые разрядники H01T; дуговые лампы с расходуемыми электродами H05B; ускорители элементарных частиц H05H)
(10498)
H01J37 Разрядные приборы с устройствами для ввода объектов или материалов, подлежащих воздействию разряда, например с целью их исследования или обработки (H01J33,H01J40,H01J41,H01J47,H01J49 имеют преимущество; исследование или анализ поверхностных структур на атомном уровне с использованием техники сканирующего зонда G01N13/10, например растровая туннельная микроскопия G01N13/12; бесконтактные испытания электронных схем с использованием электронных пучков G01R31/305; детали устройств, использующих метод сканирующего зонда вообще G12B21)
(805)
H01J37/24 Общие схемы, не предназначенные для какого-либо специального применения и не отнесенные к другим рубрикам(14)
Предложены устройство и способ определения характеристик пучка частиц, при которых обеспечивают прием пучка частиц в центральной области кожуха с пониженным давлением; воздействуют принятым пучком на ударную пластину для пучка, которая термически изолирована от кожуха; измеряют изменение температуры ударной пластины для пучка за счет воздействия пучка измеряют изменение давления в кожухе за счет приема пучка; и обрабатывают измеренное изменение температуры и измеренное изменение давления, чтобы определить характеристики пучка.
Система литографии элементарными пучками заряженных частиц для переноса шаблона на поверхность мишени содержит датчик для определения одной или нескольких характеристик одного или нескольких элементарных пучков заряженных частиц.
Способ и устройство предназначены для контроля интенсивности электронного луча при проведении исследований образцов. Способ контроля интенсивности электронного луча, образующего плазму при своем распространении, при котором обнаруживают и анализируют электронное излучение или электромагнитное излучение, создаваемое непосредственно или косвенно электронным лучом, при этом для измерительной регистрации электронного или электромагнитного излучения, создаваемого непосредственно или косвенно электронным лучом, предусмотрен детектор, который направляют через стенку прозрачного или просвечивающего упаковочного материала на плазму.
Детектор электронов // 2412503
Изобретение относится к области электронного приборостроения, а более конкретно - к конструкции детекторов электронов, и может найти преимущественное использование в электронных микроскопах. .
Изобретение относится к области приборостроения, в частности к системам питания, защиты и управления лучевыми исследовательскими физическими и технологическими установками, а также к системам электропитания СВЧ генераторных приборов, таких как клистроны, лампы бегущей и обратной волны, магнетроны, гиротроны и др.
Изобретение относится к трехэлектродным электронным пушкам и может быть использовано для обработки материалов, предпочтительно, в вакууме. .
Изобретение относится к электронно-оптическому приборостроению. .
Лазерно-плазменный источник электронов // 1102407
Коллектор светового излучения // 1064347
