Способ изготовления газопоглотителя

 

СПОСОБ ИЗГОТОВЛЕНИЯ ГАЗОПОГЛОТИТЕЛЯ для электровакуумных приборов , включающий прессование и спекание тела из порошка активного металла , отличающийся тем, что«с целью улучшения сорбционных свойств и сокращения времени обезгаживания , поверхность газопоглотителя после спекания подвергают струйной обработке в течение 10-15 с порошком гидрида титана при размере частиц порошка 0,08-0,1 мм и спорости струи м/с. г &}

СОЮЗ СОВЕТСКИХ

РЕСПУБЛИН

Уй0 Н 01

ОПИСАНИЕ ИЗОБРЕТЕ

Н АВТОФСЦЮМу СВИДЕТЕЛЬСТВУ,1я В О

4 НКФМНЙ Н Ю (21) 3331 808/1.8-21 (22) 12. 01;. 82 (46) 15.06.83..Бюл. -N 22 (72) -Д.В.Быков, В.Е.Вислоух, Г.Д.Гле бов, О.Г.Егоров и H.A.Иофмс (71) Московский институт .электронного машиностроения (53) .62:1. 385. 032. 14(088. 8): (56) 1.Пивоваров Г.Я. Технохимические процессы:электровакуумного производства. И..-Л., - Энергия", 1964, - с.244-245.

2. Попов В.Ф. Нераспыляемые гаэопоглотители. Л., "Энергия", 1974,: с.64-65 (прототип).

ЯУ„„1023441 А (54) (57) СПОСОБ ИЗГОТОВЛЕНИЯ ГАЗОПОГЛОТИТЕЛЯ для электровакуумных при.боров, включающий прессование и .спекание тела .иэ порошка активного металла, о т л и .ч а ю шийся тем, что, .с целью улучшения сорбционных

Х свойств и сокращения времени обеэгаживания, поверхность гаэопоглотите. ля после спекания подвергают струйной обработке в течение 10-15 с порошком гидрида титана при размере частиц порошка 0,08-0,1 мм и скорости струи 30-40 и/с.

1023441

Изобретение относится к электрон", ной технике и в частности может быть применено для изготовления нераспыляемых газопоглотителей пористого .типа, используемых в злектровакуумных

° приборах.

Известен способ изготовления нераспыляемого гаэопоглотителя путем простого спекания порошка:активного металла 1.1.

Недостатком такого способа является образование закрытых пор в те ле гаэопоглотителя, особенно там, где оно прилегает к стенкам прессформы, т.е. а зоне наружной поверхности. Закрытая. пористость препятствует эффективной работе поглоти" теля,,а именно уменьшает скорость сорбции разреженных газов и увеличи" . вает время, необходимое для его обез" гаж и аа ния .

Наиболее близким техническим решением к изобретению является способ изготовления газопоглотителя путем прессования и спекания тела из. порошка активного металла, включающий использование наполнителя, который разлагаясь и удаляясь под-откачкой, тем самым уменьшаеФ вероятность образования закрытых пор. Для титанового порошка в качестве наполнителя применяют карбамид (МНзСОМН ) (2).

Однако в данном случае газопог тительный материал заметно насыщает" ся неаыгорающими остатками наполнителя, особенно - углеродом. Это приводит к снижению era сорбционной: активности, в частности по отношению с CO и СО и требует больших затрат времени для обезгажиаания газопогло" тителя перед. активироакой.

Цель изобретения - улучшение сорбционных свойств и сокращение времени .обезгаживания газопоглотителя. укаэанная цель достигается тем, что согласно способу изготовления газопоглотителя дня эпектровакуумных приборов,.включающему .прессоаание и спекание тела иэ порошка активного металла, поверхность газопоглотителя после Спекания подвергают струйной обработке в течение 10-15с порошком гидрида титана при размере частиц порошка 0,08-0,1 мм и скорости струи

30-40 м/с, На этой операции частицы гидрида титана, бомбардирующие поверхность . газопоглотителя, разрушают его тонкий внешний слой и закрытая пористость переходит а открытую; появляются микро.

: каналы, сообщающие поры с наружным

;пространством. В результате увели чения поверхности, непосредственно

» контактирующей с газом, сорбционная активность поглотителя растет; кроме того, образовавшиеся и выходящие наружу дополнительные микроканалы уменьшают время, необходимое для эффективного обезгаживания пористой титановой массы.

Выбор гидрида титана s качестве порошка.для .струйной. обработки поверхности гаэопоглотителя определяется как его подходящими абразивными свойствами (твердость гидридов металлов превышает твердость самих металлов), так и тем, что это вещество не может явиться источником о дополнительного загрязнения газопоглотителя.

П р и и е р . Порошок титана зернистостью 5:20 мкй прессуют при давлении порядка 0, 1-0,3 ГПа. Полученную заготовку спекают при 800 С в . течение 30 мин, (Данные режимы прессования и снекания.являются обычными для- изготовления пористых гаэопоглотителей). Затем заготовку подвергают

30"струйной .обработке порошком гидрида титана. Это вещество выбрано в качестве абразива как в связи с его достаточной твердостью, так и пото, му, что частицы гидрида, которые мог35 ли бы "эамуроаыааться" в теле газо- . поглотителя, не представляют загрязнений, снижающих его сорбционную ак" .тивность (гидрид титана при термоактивироаке гаэопогпотителя нацело

«О разлагается на водород и титан).

Для струйной обработки берут порошок гидрида титана зернистостью 0,:08"0,1 мм. Частицы меньших размеров, например, 30-50 мкм могут

«» забивать открытые поры при попадании ,а них. Напротив, слишком крупные (свыше О, I мм) частицы вызывают черезмерное разрушение поверхности гаэопоглотителя. Аналогичным образом, » если время обработки меньше, скажем,8 с часть пор не вскрывается, а чересчур длительная (свыше 15-20 c) обработка аедет tc сильйому механичес. хому распылению (истиранию) поверхности газопоглотителя. Оптимальная скорость частиц гидрида, установленная экспериментально, равна 3040 м/с. При меньшей скорости обдува, (28-25 и/c) норы не вскрываются, а

1023441 . 4 при большей (50-80 мыс) поверхность, В таблице приведены сравнйтельмыегазойоглотителя сильн6 разрушается.: - данные не сорбционной способностИ, В результате укаэанной обработ- и времени о%згаживания газопогло. ки закрытая пористость:снижается, тителя, изготовленного с применением . до минимального уровня, с. 8-151 : наполнителя (прототип) и в соответдо 0,5-13. . - стени с предлагаемым способом;

° ° г ° е.«

Относительная ско. рость поглощения ,. окиси углерода (при 300 К давле: нии 5 10. Йа и величине сорбции

0 3 Па л/смм. см /c см

Гаэопоглотит ель

М ю «м ЮВ ФФ

Прототий . - Предлагаемйй .

10-1:5

-:1 0-15

25" 30 м4oQФЬ Вй. живения, сокращается в йесколью:

И раз.- Примейеиие. этого способ .позйрляет .уменьаить давление остаточных газов -в электровакуумных приборах и, тем самым увеличить срок.их службй .при заметном сокращениидрхнологи- .:"

30 ческого цикла производства .38A.-.

Составитель Г.Жукова

Редактор Т.Парфенова Техред А.Ач Корректор А .Ференц е Фю Ов ю Еюю

Заказ:4224/39. Тираж 763 Подписное

ВНИИОИ Государственного комитета СССР по делам изобретений- и открытий

113035, Москва, Ж-35, Раушская наб., д. 4/5

° ° «»ю» ю

Филиал ППП Ч)атент", r. Ужгород, ул. Проектная, Таким образом,: изготовленный в соответствии с предлагаемым: способом гаэопогл6титель дает, по сравнению

C. прототйпом 1,гаэопоглотитель ти. па:ПНГ),:примерно вдвое лучшие пока-.

-затели по сорбционнюй способности. .время, необходимое для его обезга"

М, ei 4h йв «р

Время обезгаживэния р необходимое для достижени, при 500еС удельной: скорости стацио-. нарной. газоотдачи

10 Па л/с см, мин