Способ изготовления толстопленочных резисторов

 

СПОСОБ ИЗГОТОВЛЕНИЯ ТОЛСТОПЛЕНОЧНЫХ РЕЗИСТОРОВ, включающий приготовление пасты из порошков диоксида рутения и свинцовоборосиликатного стекла и нанесение пасты на керамическую подложку с последующим вжиганием ее, отличающийся тем, что, с целью повышения температурного коэффициента сопротивления и обеспечения линейной температурной зависимости сопротивления в диапазоне рабочих температур (-150)-

СОЮЗ СОВЕТСНИХ

СОЦИАЛИСТИЧЕСНИХ

РЕСПУБЛИИ

09) (Н) Зсю Н 01 С 7/00

ГОСУДАРСТВЕННЫЙ НОМИТЕТ СССР

ПО ДЕЛАМ ИЗОБРЕТЕНИЙ И ОТКРЫТИЙ

ОПИСАНИЕ ИЗОБРЕТЕНИЯ

К ABTOPCHOMY СВИДЕТЕЛЬСТВЪi ф 11д н eQ g

ЬКБ " Н ц . ;(21) 3452207/18-21 (22) 11.06.82 (46) 07.06.84. Бюл. У 21 (72) В.Г. Недорезов, В.В. Куренчанин и С.В. Подшибякин (53) 621.396.6(088.8) (56) 1. Angus Н.С., Gainsbury P.Е.

Glare sesistore with ruttenium dioxide. — "Electron. Compan", 1968, 9, Ф 1, р. 84-88.

2. Патент Великобритании 9 1148926, кл. Н 01 С 7/00, 1969 (прототип). (54) (57) СПОСОБ ИЗГОТОВЛЕНИЯ ТОЛСТОПЛЕНОЧНЫХ РЕЗИСТОРОВ, включающий приготовление пасты иэ порошков диоксида рутения и свинцовоборосиликатного стекла и нанесение пасты на керамическую подложку с последующим вжиганием ее, отличающийся тем, что, с целью повышения температурного коэффициента сопротивления и обеспечения линейной температурной зависимости сопротивления в диапазоне рабочих температур (-150)-(200) С, порошок диоксида рутения используют с размером частиц 0,06-0,08 мкм, а вжигание пасты осуществляют при

890-910 С в течение 12-15 мин.

Составитель Ю. Герасичкин

Редактор Л. Лосева Техред А.Кикемезей Корректор Л.Шеньо

Заказ 3834/39

Тираж 683 Подписное

ВНИИПИ Государственного комитета СССР по делам изобретений и открытий

113035, Москва, Ж-35, Раушская наб., д. 4/5

Филиал ППП "Патент", r. Ужгород, ул. Проектная, 4! 10

Изобретение относится к электронной технике и может быть испольэова1 но в технологии изготовления толстопленочных резистивных элементов, например, термометров сопротивления.

Известен способ изготовления толстопленочных резисторов, включающий приготовление пасты из порошкой диоксида рутения и свинцовоборосиликатного стекла и нанесение пасты на керамическую подложку с последующим вжиганием пасты j1)

Недостатки известного способа изготовления толстопленочных резисторов состоят в низком температурном коэффициенте сопротивления (ТКС) и нелинейной зависимости сопротивления от температуры, что не позволяет использовать резисторы в качестве термометров сопротивления.

Наиболее близким к изобретению .техническим решением является способ изготовления толстопленочных резисторов, включающий приготовление пасты из порошков диоксида рутения с размером частиц 0,02-0,02 мкм и свинцовоборосиликатного стекла и нанесение пасты на керамическую подложку с последующим вжиганием пасты при 850 С j2j .

Недостатки известного способа изготовления заключаются в низком ТКС (менее 250 10 град ) и нелинейной зависимости сопротивления от

)температуры.

Цель изобретения — повышение температурного коэффициента сопротивления и обеспечение линейной температурной зависимости сопротивления в

96701 2 диапазоне рабочих температур (-150) (200) С.

Цель достигается тем, что по способу изготовления толстопленочных резисторов, включающем приготовление пасты из порошков диоксида рутения и свинцовоборосиликатного стекла и нанесение пасты на керамическую подложку с последующим вжиганием ее, поро"

10 шок диоксида рутения используют с размером частиц 0,06-0,08 мкм, а вжигание пасты осуществляют при 890910 С в течение 12-15 мин.

Способ осуществляется следующим

15 образом.

Порошки диоксида рутения с размером частиц 0,06-0,08 мкм в количестве 47-53 вес.7. и свинцовоторосиликат20 ного стекла в количестве 47-53 вес.й тщательно перемещивают, добавляют органическое связующее, повторно перемешивают до получения однородной пасты необходимой вязкости, пасту на25 носят на керамическую подложку методом трафаретной печати, загружают в конвейерную печь и вжигают при 890, 900, 910 С в .течение 12-15 мин. Полученные толстопленочные резисторы име3О ют ТКС = (12-15) 10 град и линейную температурную зависимость сопротивления в диапазоне рабочих температур (-1 50) - (200) С .

Изобретение позволяет повысить

ТКС, обеспечить линейную температурную зависимость сопротивления в ши" роком диапазоне рабочих температур и расширить функциональные возможности толстопленочных резисторов на ос"

4О нове диоксида рутения.