Устройство для шлифования монокристаллов

Авторы патента:

H01L21/304 - механическая обработка, например шлифование, полирование, резка

B24B51 - Устройства для автоматического управления отдельными операциями при шлифовании изделий

Устройство для шлифования монокристаллов, содержащее шлифовальный круг, стол для закрепления обрабатываемого изделия и фотоприемники инфракрасного излучения, отличающееся тем, что, с целью повышения выхода годных, стол для закрепления обрабатываемого изделия выполнен с окном, прозрачным для инфракрасного излучения, а фотоприемники инфракрасного излучения размещены с возможностью оптической связи с окном стола.

Изобретение относится к механической обработке твердых хрупких тел и может быть использовано для формирования фаски на круглых полупроводниковых пластинах и кристаллах

Устройство для шлифования микрокристаллов // 1116913

Способ получения полупроводниковых приборов с переменной емкостью // 510059

Способ шлифовки монокристалловс алмазоподобной кристаллическойрешеткойвп тбфонд 3hoileptq8i // 435925

Способ удаления выступающих дефектов с поверхности эпитаксиальных слоев // 433570

Патент 355758 // 355758

Способ механической обработки слитка полупроводникового материала // 307445

Устройство для стабилизации положения алмазных отрезных кругов // 255386

Установка для разламывания проскрайбированных полупроводниковых пластин // 233104

Способ разламывания проскрайбированных полупроводниковых пластин // 208135

Способ управления шлифованием при работе в цикле и устройство для его осуществления // 1204368

Копировально-шлифовальный станок // 1202832

Устройство для автоматического управления врезным шлифованием // 1202831

Система управления шлифовальным станком // 1201114

Устройство для управления режимом врезного шлифования // 1191269

Устройство для управления шлифовальным станком // 1182491

Плоскошлифовальный станок с числовым программным управлением // 1180249

Способ измерения неровностей отражающей поверхности // 1178576

Способ управления циклом шлифовального станка // 1166976

Способ контроля работоспособности шлифовального круга // 1148771

Способ управления процессом врезного шлифования и устройство для его осуществления // 2133186

Изобретение относится к машиностроению и станкостроению и предназначено для автоматизации технологических процессов врезного шлифования в массовом и крупносерийном производстве