Ротор радиального турбомолекулярного вакуумного насоса

 

СОЮЗ СОВЕТСКИХ

СОЦИАЛИСТИЧЕСКИХ

РЕСПУБЛИК

Ш4 F 04 D 19/04

OllHCAHHE ИЗОБРЕТЕНИЯ

К А BTOPCKOMY СВИДЕТЕЛЬСТВУ

ГОСУДАРСТВЕННЫЙ КОМИТЕТ СССР

ПО ДЕЛАМ ИЗОБРЕТЕНИЙ И ОТКРЫТИЙ (21) 3 748 7 73/25-06 (22) 01. 06. 84

1(46) 23. 08. 86. Бюл. У 31 (71) Научно-исследовательский институт прикладной математики и кибернетики при Горьковском госуниверситете им. Н.И. Лобачевского (72) Г.А. Гарбуз и В.П. Иванов (53) 621.527.8(088.8) (56) Авторское свидетельство СССР

9 174314, кл. F 04 D 19/04, 1964.

„„Я0„„) 252552 А 1 (54)(57) РОТОР РАДИАЛЬНОГО ТУРБОМОЛЕКУЛЯРНОГО ВАКУУМНОГО НАСОСА, содержащий вал и установленную на нем ступицу с лопатками, о т л и ч а юшийся тем, что, с целью повьппения производительности и степени сжатия насоса, лопатки выполнены с продольным изгибом и обращены вогнутой стороной навстречу потоку. 1252552 2 доньным изгибом и обращены вогнутой стороной навстречу потоку.

Ротор работает следующим образом.

При вращении ротора молекулы откачиваемого газа, соударяясь с лопатками 3, получают импульс в направлении откачки, причем одновременно они получают импульс и в направлении к середине лопаток благодаря их серповидной конфигурации. В результате уменьшается вероятность обратного пролета молекул в зоне торцовых зазоров, т.е. на концах лопаток, что повышает производительность и степень сжатия насоса.

Изобретение относится к вакуумной технике, а именно к конструкции ротора турбомолекулярного насоса.

Целью изобретения является повышение производительности и степени сжатия насоса.

На фиг. 1 представлен турбомолекулярный вакуумный насос с предлагаемь м ротором, продольный разрез; на фиг. 2 — разрез А-Л на фиг. 1; l0 на фиг. 3 — разрез Б-Б на фиг. 1.

Ротор радиального турбомолекулярного насоса содержит вал 1 и установленную на нем ступицу 2 с лопатками 3, которые выполнены с проЯ вЂ” М ра; дернуто

Составитель В. Кряковкин

Т ехр ед 3 .. Чижмар

Редактор A.Øàíäîð

Заказ 4608/ 18

Корректор E. Сирохман

Тираж 58б Подписное

ВПИИПИ Государственного комитета СССР пи делам изобретений и открытий

113035, Москва, Ж-35, Раушская наб., д. 4/5

Прои зводственно-полиграфическое предприятие, r. Ужгород, ул. Проектная, 4