Вакуумный молекулярный насос

 

ВАКУУМНЫЙ МОЛЕКУЛЯРНЫЙ НАСОС, содержащий корпус и расположенные в нем статорные диски со спиральными пазами и роторные диски, отличающийся тем, что, с целью улучшения откачных характеристик, пазы имеют глубину, определяемую из соотношения 0,05л 6 0,143л, где г - радиус роторных дисков, причем паз первого по ходу откачиваемого газа статорного диска имеет глубину, большую, чем у остальных дисков. (Л к 05 о ел ел

СОЮЗ СОВЕТСКИХ

СОЦИАЛИСТИЧЕСКИХ

РЕСПУБЛИК

„„SU„„1267055 А1 (50 4 F 04 Р 19 04

ОПИСАНИЕ ИЗОБРЕТЕНИЯ

1, К АBTOPCHOMY СВИДЕТЕЛЬСТВУ

0,05r (b (0,143r, ГОСУДАРСТВЕННЫЙ КОМИТЕТ СССР

ПО ДЕЛАМ ИЗОБРЕТЕНИЙ И ОТНРЫТИЙ (21) 3899965/31-06 (22) 08.04 85 (46) 30.10.86. Бюл. № 40 (71) Научно-исследовательский институт прикладной математики и кибернетики при

Горьковском государственном университете им. H. И. Лобачевского (72) В. П. Иванов (53) 621.527.8 (088.8) (56) Авторское свидетельство СССР № 898802, кл. F 04 Р 19/04, 1968. (54) (57) ВАКУУМНЫЙ МОЛЕКУЛЯРНЫЙ НАСОС, содержащий корпус и расположенные в нем статорные диски со спиральными пазами и роторные диски, отличающийся тем, что, с целью улучшения откачных характеристик, пазы имеют глубину, определяемую из соотношения где г — радиус роторных дисков, причем паз первого по ходу откачиваемого газа статорного диска имеет глубину, большую, чем у остальных дисков.

1267055

Составитель Е. Забугин

Редактор Н. Горват Техред И. Верес Корректор И.Муска

Заказ 574! )29 Тираж 586 Подписное

ВНИИПИ Государственного комитета СССР по делам изобретений и открытий

113035, Москва, Ж вЂ” 35, Раушская наб., д. 4!5

Филиал ППГ1 «Патент», г. Ужгород, ул. Проектная, 4

Изобретение относится к вакуумной технике.

Целью изобретения является улучшение откачных характеристик.

На чертеже изображен вакуумный молекулярный насос.

Насос содержит корпус 1 и расположенные в нем статорные диски 2 со спиральными пазами 3. и роторные диски 4, при этом пазы 3 имеют глубину b, определяемую из соотношения: 0,05r(b (0,143r, где r радиус роторных дисков 4, причем паз первого по ходу откачиваемого газа статорного диска имеет глубину большую, чем у остальн ы х дисков.

Кроме того, корпус 1 насоса снабжен всасывающим и нагнетательным патрубками 5 и 6, опорными кольцами 7.

Откачиваемый газ поступает через всасывающий патрубок 5, поступает к спиральным пазам 3 статорного диска 2 первой ступени. Вдоль спиральных пазов 3 газ перемещается поверхностью роторного диска 4 к периферии насоса, откуда через радиальный зазор между роторным диском 4 и опорными кольцами 7 на вход второй ступени и так далее к нагнетательному патрубку 6.

Выбор глубины паза 3 в соответствии с предложенными рекомендациями для первой ступени обеспечивает максимальную быстроту откачки для выбранных размеров насоса, а выполнение пазов последующих ступеней меньшей глубины обусловливает высокую степень сжатия насоса в целом.