Турбомолекулярный вакуумный насос

 

изобретение относится к вакуумной технике. Цель изобретения - улучшение откачных характеристик и повышение чистоты создаваемого вакуума. Электродвигатель (ЭД) 5, расположенный в полости ротора 3, имеет охлаждаемый корпус 6, снабженный опорными втулками (ОВ) 7 и 8. Верхняя ОВ 7 выполнена из магнитопроводного материа (Л го 00 и СХ) 00

СОЮЗ СОВЕТСКИХ

СОЦИАЛИСТИЧЕСКИХ

РЕСПУБЛИК

ÄÄ SUÄÄ 1278488 (5D 4 1 04 D 19 04

/ Ф

1 е

-3

ОПИСАНИЕ ИЗОБРЕТЕНИЯ

К А ВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ

ГОСУДАРСТВЕННЫЙ КОМИТЕТ СССР

ПО ДЕЛАМ ИЗОБРЕТЕНИЙ И ОТКРЫТИЙ (21) 3940589/25-06 (22) 19.06.85 (46) 23.12.86. Бюл. ¹ 47 (72) В, В. Голоскоков, К. Д. Данилов, Э. П. Коллеров, И.A . Тимошин и P. Д. Чепыжова (53) 621.528.8 (088.8) (56) Грошковский Я. Техника высокого вакуума. — М.: МИР, 1975, с. 215. (54) ТУРБОМОЛЕКУЛЯРНЫЙ ВАКУУМНЫИ НАСОС (57) Изобретение относится к вакуумной технике. Цель изобретения — улучшение откачных характеристик и повышение чистоты создаваемого вакуума. Электродвигатель (ЭД) 5, расположенный в полости ротора 3, имеет охлаждаемый корпус 6, снабженный опорными втулками (ОВ) 7 и 8. Верхняя ОВ

7 выполнена из магнитопроводното материа1278488

Формула изобретения ла, снабжена кольцевым постоянным магни том 16, обхватывающим ее, и имеет с внутренней стороны кольцевую радиальную канавку 9, в которой размещен кольцевой элемент 15 с образованием зазора, заполненного магнитной жидкостью. Со стороны верхнего торца ОВ 7 выполнена кольцевая осевая расточка 10 и сообщенный с ней паз

11, в которых установлена гильза 13 с буртиком 14 с образованием зазора, заполненного легкоплавким металлом. На валу 4 ротора 3 над ОВ 7 установлено отражатель1

Изобретение относится к вакуумной технике, а именно к конструкциям турбомолекулярных вакуумных насосов.

Целью изобретения является улучшение откачных характеристик и повышение чистоты создаваемого вакуума.

На чертеже представлен насос, продольный разрез.

Турбомолекулярный вакуумный насос содержит вертикальный корпус 1 со статорными дисками 2, установленный по оси 1п корпуса 1 дисковый полый ротор 3, закрепленный на валу 4, и связанный с ним приводной электродвигатель 5, расположенный в полости ротора 3 и имеющий охлаждаемый корпус 6, снабженный верхней 7 и нижней 8 опорными втулками. Верхняя опорная втулка 7 корпуса 6 электродвигателя 5 снабжена с внутренней стороны кольцевой радиальной канавкой 9, имеющей в поперечном сечении форму треугольника, обращенного основанием к валу 4, а со стороны верхнего торца — — yg кольцевой осевой расточкой 10 и сообщенным с ней кольцевым радиальным пазом 11 с треугольным поперечным сечением, и вал 4 ротора 3 снабжен отражательным кольцом

12, размещенным над верхней опорной втулкой 7, гильзой 13 с кольцевым треугольным 5 буртиком 14, расположенной в расточке 10 и пазу 11 с образованием зазора, заполненного легкоплавким металлом, и кольцевым элементом 15 с наружными выступами, размещенными в радиальной канавке 9 с образованием зазора, заполненного магнитной жидкостью, причем верхняя опорная втулка 7 выполнена из магнитопроводного материала и снабжена кольцевым постоянным магнитом 16, обхватывающим ее в зоне радиальной канавки 9. Кроме того, полость кор- 35 пуса 6 электродвигателя 5 заполнена инертным газом под давлением, равным половине атмосферного, а высота h уровня легкоплавкого металла меньше глубины Н, расцое кольцо 12. Полость корпуса 6 ЭД 5 заполнена инертным газом под давлением, равным половине атмосферного. Легкоплавкий металл в зазоре, образованном гильзой 13 в расточке 10, а также магнитная жидкость в зазоре, образованном элементом 15 в канавке 9, обеспечивают герметичность полости насоса от полости корпуса 6

ЭД 5 и исключают проникновение в полость насоса паров органических жидкостей, используемых для смазки опор вала 4. 1 з.п. ф-лы, 1 ил.

2 точки 10, но превышает высоту Н треугольного буртика 14.

Насос работает следующим образом.

Газ, поступающий на вход насоса, взаимодействует со статорными дисками 2 и ротором 3 и переносится к выходу из насоса. Легкоплавкий металл в зазоре, образованном гильзой 13 в расточке 10, а также магнитная жидкость в зазоре, образованном кольцевым элементом 15 в радиальной канавке 9, обеспечивак>т герметичность полости насоса от полости корпуса 6 электродвигателя 5. В результате гарантированной герметичности при любых возможных давлениях в полости насоса (от рабочего до атмосферного) вследствие заполнения полости корпуса 6 электродвигателя 5 инертным газом при давлении, равном половине атмосферного, газ из этой полости не проникает в полость насоса, а следовательно, исключается проникновение в нее шаров органических жидкостей, используемых для смазки опор вала 4 ротора 3.

Таким образом, обеспечивается улучшение откачных характеристик, т.е. отсутствует источник газовой нагрузки со стороны электродвигателя, а также повышается чистота создаваемого вакуума.

1. Турбомолекулярный вакуумный насос, содержащий вертикальный корпус со статорными дисками, установленный по оси корпуса дисковый полый ротор, закрепленный на валу, и связанный с ним приводной электродвигатель, расположенный в полости ротора и имеющий охлаждающий корпус, снабженный верхней и нижней опорными втулками, отличающийся тем, что, с целью улучшения откачных характеристик и повышения чистоты создаваемого вакуума, 1278488

Техред И. Верес Корректор М. немчик

Тираж 586 Подписное

ВНИИПИ Государственного комитета СССР по делам изобретений и открытий! 13035, Москва, Ж вЂ” 35, Раушскаи наб., д. 4/5

Филиал ППП «Патент>, г. Ужгород, ул. Проектная, 4

Редактор О. Головач

Заказ 6772/29 верхняя опорная втулка корпуса электродвигателя снабжена с внутренней стороны кольцевой радиальной канавкой, имеющей в поперечном сечении форму треугольника, обращенного основанием к валу, а со стороны верхнего торца — кольцевой осевой расточкой и сообщенным с ней кольцевым радиальным пазом с треугольным поперечным сечением, и вал ротора снабжен отражательным кольцом, размещенным над верхней опорной втулкой, гильзой с кольцевым треугольным буртиком, расположенной в расточке и пазу с образованием зазора, заполненного легкоплавким металлом, и кольцевым элементом с наружными выступами, размещенным в радиальной канавке с образованием зазора, заполненного магнитной жидкостью, причем верхняя опорная втулка выполнена из магнитопроводного материала и снабжена кольцевым постоянным магнитом, обхватывающим ее в зоне радиальной канавки

2. Насос по п. 1, отличающийся тем, что полость корпуса электродвигателя заполнена инертным газом под давлением, равным половине атмосферного.