Турбомолекулярный вакуумный насос

 

союз соВетских социАлистических

РЕСПУБЛИК

F 04 0 19/04

ГОСУДАРСТВЕННОЕ ilATEHTHOE

ВЕДОМСТВО СССР (ГОСПАТЕНТ СССР) ОПИСАНИЕ ИЗОБРЕТЕНИЯ

К ПАТЕНТУ (21) 3880640/06 (22) 08,04.85 (46) 15.10.93. Бюл. ¹.37-38 . (72) О.Л.Григорьев, Н,А.Одинцов и М.И.Юдкин (73) ЦКБ машиностроения (56) Авторское свидетельство СССР

¹ 1023141; кл. F 04 О 19/04, 1981, (54)(57) ТУРБОЧОЛЕКУЛЯРНЫЙ ВАКУУМНЫЙ НАСОС, содержащий корпус, размещенныз в нем основные осевые ступени, образованные статорными и устанавленны„., SU „„1282634 АЗ ми на валу роторными дисками, и расположенные со стороны нагнетания вспомогательные ступени, образованные цилиндрическими канавками и ответными выступами, последние из которых расположены í"корпусе,,от л ич а ю щи и с я тем, что, с целью улучшения его откачных характеристик, вал снабжен стаканом, канавки выполнены в последнем, выступы имеют с обеих сторон спиральные пазы, ориентированные по направлениго вращения вала, а по крайней мере один роторный диск установлен на наруж Гой поверхности стакана.

1282634 (56 А«(горское гвидетельство СССР

И 102314 I. кл. F 04 D 19/04, 1901, Составитель E. Загубин

I (хpf-"T«1 (1 IVfopT,)«T3T) Кор-)ект )р 0 Гу )и

)Редактор Н, Суханова

Заказ 3193

1«) г)эж ПОдпиСНО»

I-IU0 "Поиск" Г Осг)ате))13(1 1 3035. Москва, Л<-35. Рау«л(с,<,")(: «;- б. 4/5

Прои.((«Г)дстл(?Н)«Г(и )Датвяь(,кий к<«Мб ))!31 (:3ГЕ)lт ((. ГО))Г}д. (Л «((f)(((«.« I()1

Изобретение Относится к гакуумной технике.

Цель изобретения — улучгве))ие о T):3 ных характеристик турбомолекулярного вакуумного насоса.

На чертеже изображен турбомоле«<улярный вакуумный насОс, продОиьный раз— рез, ) урбомолекулярный вакуумный насос содержит корпус 1, размещенные в нем ос- 10 новные осевые ступени, образованные статорными дисками 2 и установленными на валу 3 роторными дисками 4, и расположенные со сторонь) нагнетания вспомогательные ступе и, Образованные цилиндрическими канавками с ответными выступами 6, последние из которых пасположены на корпусе, при атом вал 3 снабжен стаканом (, ка)«авки 5 Быг)олнены в г)gc)if?ä"1 р нем, выс (упы 6 и "eioT с Обеих стогрон спи

Раль Н ЫЕ Паз Ь! 8, ОРИЕНТИ(РОВ(Э ННЫ(". ПО Напг)аале).).1)о вращения вала 3, à по крайней мере один роторныи диск установлен на наружной поверхности стакана 7.

Насос работает следу«ощим образом.

Поток молекул газа, попад-1 в насос из oT!<3÷èfiçåìoãо объема. под воздейс-вием роторных 4 и статорных 2 дисков переносится в осегом направлении к вспомогательным ступеням, образованным цилиндрическими канавками 5 и ответными выступами 6.

Во вспомогательной ступени происходит дополнительное сжатие откачиваемо, О газа до величины форвакуумного давления, после чего газ откачивается форвакууц)«ым наСОСОм.