Сорбционный вакуумный насос

 

Класс 274, Зоз № 131014

СССР

ОПИСАНИЕ ИЗОБРЕТЕНИЯ

К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ

Подписная группа Л0 129

M. И. Меньшиков, Г. Ф. Ивановский, А, С. Назаров и Е. К. Сафронов

СОРБЦИОННЫЙ ВАКУУМНЫЙ НАСОС

Заявлено 22 декабря 1959 г. за № 648177/25 в Комитет по делам изобретений и открытий при Совете Министров СССР

Опубликовано в «Бюллетене изобретений» № 16 за 1960 г.

Известны сорбционные вакуумные насосы, в которых разогрев испаряемого из жидкой фазы титанового поглотителя производится в результате электронной бомбардировки.

Однако такие насосы довольно сложны в связи с наличием в них оборудования для ионизации и электронной бомбардировки, а также механизмов подачи титановой проволоки в вакууме. Кроме того, во время переплавки, волочения и протяжки иодидного титана, последний загрязняется, что отрицательно сказывается на создаваемом, насосом вакууме.

Согласно изобретению, с целью упрощения механизма насоса и улучшения его рабочих характеристик, твердофазный испари1ель выполнен в виде накаливаемого электрическим током тугоплавкого стержня, на который иодидным способом нанесен титан.

На чертеже схематически изображен сорбционный вакуумный насос с титановым поглотителем.

Накаливаемый электрическим током тугоплавкий стержень 1, выполненный, например, из молибдена, вольфрама или тантала, покрыт слоем титана 2, наносимого иодидным способом. Стержень размещен в корпусе насоса 8, соединенном с форвакуумным агрегатом и откачиваемой системой. Питание стержня (испарителя) электрическим током производится через токовводы 4. Тугоплавкие металлы, из которых изготовлен стержень, образуют с титаном непрерывный ряд твердых растворов, вследствие чего переплавление может наступить лишь при достижении температуры плавления титана. Соотношение диаметра стержня и толщины наносимого слоя титана подоирается так, чтобы, даже при испарении всего титана, температура стержня не поднималась до температуры плавления титана.

Нанесение титана на стержень иодидным способом исключает возможность загрязнения его посторонними примесями, что решающим образом влияет на предельно достижимый вакуум. № 131014

Описанный насос позволяет получать вакуум порядка 10 в мм рт. ст. при высокой удельной производительности. Запас титана на испарителе достаточен для непрерыв11ой работы насоса в течение сотен часов. рдеет изобретения 4- б

Сорбционный вакууьфый насос с титановым поглотителем, о тл ич а ю шийся тем, что, с, целью упрощения механизма насоса и улучшения его рабочих ха Ь4 еристик, твердофазный испаритель насоса выполнен в виде накаливаемого электрическим током тугоплавкого стержня (например, молибденового, вольфрамового или танталового), на который иодидным способом нанесен титан.

К (рарбакуумнаму агрегату

4 Откачивавмой системе

Редактор P. А. Гальцева Техред А. А. Камышникова Корректор Л. Ф. Федянина

Зак. 7238 Цена 25 коп. Тираж 950

ГIодп. к печ. 24.VIII-60 r. Формат бум.,70Х108 / Объем 0,17 и, л.

Информационно-издательский отдел Комитета по делам изобретений и открытий при Совете Министров СССР, Москва, Центр, М. Черкасский пер., д. 2/6

Типография Комитета по делам изобретений и открытий при Совете Министров СССР

Москва, Петровка, 14.