Преобразователь давления

 

Изобретение относится к измерительной технике, конкретно к измерению давления электрическими методами на основе тензорезистивного эффекта в полупроводниках. Цель изобретения - уменьшение погрешности измерения гидростатического давления. На монокристаллической сапфировой подложке 1 размещены зпитаксиальные кремниевые тензорезисторы 2 в виде мезаструктуры. Один из тензорезисторов ориентирован в направлении максимальной тензочувствительности. Смежный с ним тензорезистор, ориентированный в направлении минимальной тензочувствительности, имеет отношение ширины к высоте более 30, а остальные - менее или равное 30. 1 з.п. ф-лы, 1 ил. S i WJ-Si I (fOO)Si j CA О CO CX) СП 05

СОЮЗ СОВЕТСКИХ

СОЦИАЛ ИСТИЧЕСНИХ

РЕСПУБЛИН (19) (11) (51) 4 (О1 ?. 9 04

ОПИСАНИЕ ИЗОБРЕТЕНИЯ

Н А BTOPCHOMY СВИДЕТЕЛЬСТВУ

ГОСУДАРСТВЕННЫЙ КОМИТЕТ СССР

ПО ДЕЛАМ ИЗОБРЕТЕНИЙ И ОТНРЫТИЙ (21) 3853483/24-)0 (22) 11.02.85 (46) 15.04.87. Бюл. № 14 (71) Специальное конструкторское бюро по приборостроению (72) О. П. Перепелицын (53) 531. 787 (088. 8) (56) Авторское свидетельство СССР № 381932, кл. G 01 L 9/04, 1973.

Авторское свидетельство СССР

¹ 934257, кл. G 01 L 9/04, 1982. (54) ПРЕОБРАЗОВАТЕЛЬ ДАВЛЕНИЯ (57) Изобретение относится к измерительной технике, конкретно к измере— нию давления электрическими методами на основе тензорезистивного эффекта

) в полупроводниках. Цель изобретения— уменьшение погрешности измерения гидростатического давления. На монокристаллической сапфировой подложке l размещены эпитаксиальные кремниевые тензорезисторы 2 в виде мезаструктуры. Один из тензорезисторов ориентирован в направлении максимальной тензочувствительности. Смежный с ним тензорезистор, ориентированный в направлении минимальной тензочувствительности, имеет отношение ширины к высоте более 30, а остальные — менее или равное 30. 1 з.п. ф-лы, 1 ил.

56 г шение ширины к высоте более 30, а остальные — менее или равное 30.

Преобразователь работает следующим образом.

Измеряемое давление действует на подложку 1 с тензорезисторами гидро— статически, в результате чего изменяется их сопротивление.

13038

Изобретение относится к точному приборостроению, а именно к измерениям давления жидкостей и газов электрическими методами на основе тензорезистивного эффекта в полупроводниках.

Цель изобретения — уменьшение по— грешности измерения гидростатического давления.

На чертеже показаны два возможных варианта конструкции преобразователя 10 Ф о р м у л а и 3 о б р давления.

Преобразователь содержит подложку

1, которая выполнена в виде пластины произвольной формы из монокристаллического диэлектрика тригональной структуры, например сапфира oC — А1 0 в плоскости (1012). Тензорезисторы 2 изготовлены из монокристаллического полупроводника кубической структуры кремния р †ти проводимости (плоскость 100), эпитаксиально выращенного на подложке сапфира. Тензорезисторы соединены между собой по схеме моста Уинтстона. Конструктивно тензо25 резисторы изготовлены в виде меза.— структуры с шириной W и высотой Н, отношение которых менее или равно

30. При этом один из тензорезисторов ориентирован в направлении максимальной тензочувствительности, а смежный с ним — в направлении минимальной тензочувствительности. Кроме того, один тензорезистор, ориентиро†ванный в направлении минимальной тензочувствительности, имеет соотно- 35

1.Преобразователь давления, содержащий монокристалличе скую сапфировую подложку, и расположенные на ней эпитаксиальные кремниевые тензорезисторы, соединенные в мостовую измери— тельную схему, о т л и ч а ю щ и и с я тем, что, с целью уменьшения погрешности измерения гидростатического давления, в нем тензорезисторы выполнены в виде мезаструктуры с отношением ширины к высоте менее или равным 30, при этом, по крайней мере, один из тензорезисторов ориентирован в направлении максимальной тензочувствительности., а любой смежный с нимв направлении минимальной тензочувствительности.

2.Преобразователь по п.1, о т л и— ч а ю шийся тем, что по крайней мере один тензорезистор, ориентированный в направлении минимальной тензочувствительности, имеет отношение ширины к высоте более 30, а остальные — менее или равное 30.

Составитель B. Казаков

Техред A.Êðàâ÷óê Корректор А Зимокосов

Редактор Э. Слиган

Заказ 1298/41 Тираж 777 Подписное

ВНИИПИ Государственного комитета СССР по делам изобретений и открытий

113035, Москва, Ж-35, Раушская наб., д. 4/5

Производственно-полиграфическое предприятие, r. Ужгород, ул. Проектная, 4