Устройство для создания и поддержания высокого вакуума в газоразрядных приборах

 

K- 111517

Класс 21g, 13ав

СССР вср ч„, ">1>>TNS-ò1 ».,„„..„„

БщлюстЕнд. чаи ///

ОПИСАНИЕ ИЗОБРЕТЕНИЯ

К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ

А. А. Сакович, В. С. Григорьев и P. И. Григорьева

УСТРОЙСТВО ДЛЯ СОЗДАНИЯ И ПОДДЕРЖАНИЯ

ВЪ1СОКОГО ВАКУУМА В ГАЗОРАЗРЯДНЫХ ПРИБОРАХ

Заявлено 11 марта 1957 г. ва М 568578 в комитет по делам и-oC>1»cTeiiiiii и огкрв|тий ири Совете Министров СССР

Для создания и поддержания высокого вакуума в газоразрядных приборах применяют устройства, содержащие вспомогательный газоразрядный прибор, присоединяемый к основному прибору и осуществляющий поглощение его паров металлом своего распыляюшсгося электрода.

Предлагаемое устройство более совершенно по сравнению с известными устройствами подобного рода, так как оно обеспечивает поглош,ение всего спектра паров и газов и более длительный срок службы прибора.

Для этой цели распыляюшийся электрод вспомогательного газоразрядного прибора выполнен из»сталла, обладающего способностью поглощать газ и не взаимодействующего с ртутью; распыление его осуществляется путем ионной бомбардировки.

На чертеже изображена принципиальная схема предлагаемого устройства.

Внутри основного газоразрядного прибора 1 или в отдельной, соединенной с нпм, камере помещается вспомогательный газоразрядный прибор, содсржашпй распыляюшийся электрод 2, на который подастся отрицательный потенциал

Электрод 2 изготовляется из титана, циркония, тантала, ниобпя или другого металла, обладающего способностью поглощать 1 аз и нс взапмодсйствх юшего с ртутью, Вблизи электрода 2 располагастся вспомогательный электрод 8, на который подается положительный потенциал по отношению к общему катоду 4.

При возникновении между электродами 2 и 3 опрсдслснной разности потенциалов происходит ионная бомбардировка электрода 2, вызываюшая его распыление. Распыленный металл электрода 2 осаждается на экране 5, который предотвращает загрязнение распыленным металлом деталей прибора. Чтобы нс происходило отслаивания пленок от экрана № 111517

ЮЮ -ЭОООЮ

5, он имеет специальну"о конфигурацию (ребристая поверхность, перфорация и т. п.) ..

Экран б потенциально связан с катодом 4 и в эту цепь введено большое сопротивление 6, предотвращающее возможность каскадного горения дуги и освобождения поглощенных газов при возпикповении на экране катодного пятна.

Предмет изобретения

1. Устройство для создания и поддержания высокого вакуума в газоразрядных приборах с помощью присоединяемого к ним вспомогательного газоразрядного прибора, в котором осуществляется поглощение паров металлом распыляющегося электрода, о т л и ч а ю щ е е с я тем, что, в целях обеспечения возможности поглощения всего спектра газов и паров и длительного срока службы прибора, в нем распыление электрода, выполненного из металла, обладающего способностью поглощать газ и не взаимодействующего с ртутью, производится путем ионной бомбардировки этого электрода.

2. Устройство по п. 1, о т л и ч а ющ е е с я тем, что для создания условий ионизации вблизи распыляющегося электрода помещен вспомогательный электрод.

3. Устройство по пп. 1 и 2, о т л ич а ю щ е е с я тем, что, для осаждения распыленного металла предусмотрен экран, находящийся под положительным относительно р аспыляющегося электрода потенциалом.