Вакуумный адсорбционный насос

 

Изобретение относится к конструкциям вакуумны.х насосов с газопоглотителя.ми. Цель изобретения - снижение энергозатрат и повышение предельного вакуума, дости- | аемого насосом. Анод и катод установлены в корнусе 1, на внутренней повер.хности которого расположен адсорбент 2. На корпусе с наружной стороны расположен магнит 3. Катод и анод выполнены в виде перфорированных пластин 4, 5 и 6. Иластина 6 анода размещена между пластинами 4 и 5 катода, а адсорбент 2 расположен в зоне магнита 3. Наличие магнитного поля не только увеличивает вероятность ионизации газа в насосе, но и способствует достижению более высокого предельного вакуума без охлаждения адсорбента, что значительно снижает энергозатраты при работе насоса. I ил.

СОЮЗ СОВЕТСКИХ

СОЦИАЛИСТИЧЕСКИХ

РЕСПУБЛИК

А1 (19) (11) (5D 4

ОПИСАНИЕ ИЗОБРЕТЕНИЯ

ГОСУДАРСТВЕННЫЙ КОМИТЕТ СССР

ПО ДЕЛАМ ИЗОБРЕТЕНИЙ И ОТКРЫТИЙ

К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ (21) 4122028 25-06 (22) 13.06.87 (46) 15.09.88. Бюл. ¹ 34 (71) Институт физики АН АЗССР (72) Ч. М. Джуварлы, Г. В. Вечхайзер, Ю. В. Горин, К. Б. Курбанов и Ф. Т. Рзаев (53) 621.528.6(088.8) (56) Авторское сидетельство СССР № 642504, кл. F 04 В 37/02, 1976. (54) ВАКУУМНЫЙ АДСОРБЦИОННЫЛ

НАСОС (57) Изобретение относится к конструкциям вакуумных насосов с газопоглотителями

Цель изобретения — снижение энергозатрат и повышение предельного вакуума, достигаемого насосом. Анод и катод установлены в корпусе 1, на внутренней поверхности которого расположен адсорбент 2. На корпусе с наружной стороны расположен магнит 3.

Катод и анод выполнены в виде перфорированныи пластин 4, 5 и 6. Пластина 6 анода размещена между пластинами 4 и 5 катода. а адсорбент 2 расположен в зоне магнита 3.

Наличие магнитного поля не только увеличивает вероятность ионизации газа в насосе, о и способствует достижению более высокого предельного вакуума без oxëûæäåíèÿ адсорбента, что значительно снижа т энергозатраты llpH работе насоса, 1 ил.

1423788

М

Формула изобретения

Составитель В. Кряковкин

Редактор М. 11етрова 1екред И. Верее Корректор Н. Король

Заказ 41124 40 1 и раж 574 Подписное

ВНИИПИ Государственного комитета СССР по делам изобретений и открытий

113035, Москва, Ж вЂ” 35, Раушская наб., д. 4/5

Производственно-полиграфическое предприятие, г. Ужгород, ул. Проектная, 4

Изобретение относится к вакуумной технике, а именно к конструкциям вакуумных насосов с газопоглотителями.

Цель изобретения — снижение энергозатрат и повышение предельного вакуума, достигаемого насосом.

На чертеже представлен насос, продольный разрез.

Вакуумный адсорбционный насос содержит корпус 1, установленные в нем анод и катод и расположенный на внутренней поверхности корпуса 1 адсорбент 2. Насос дополнительно содержит расположенный на корпусе 1 с наружной стороны магнит 3, а катод и анод выполнены в виде перфорированных пластин 4, 5 и 6, причем пластина 6 анода размещена между пластинами 4 и 5 катода, а адсорбент 2 расположен в зоне магнита 3.

Насос работает следующим образом.

Перед включением насоса осуществляется регенерация адсорбента 2, например, путем нагрева. После регенерации насос предварительно вакуумируется внешней системой откачки до давления 1 10 мм рт. ст. и между пластинами 4 и 6, а также 5 и 6, т.е. между катодом и анодом, создается разность потенциалов до 10 кВ. В пространстве межд) катодными и анодными пластинами возникает электрический разряд, причем наличие магнитного поля, создаваемого магнитом 3, приводит к увеличению траектории электронов между пластинами, что увеличивает вероятность ионизации газа в насосе. Ионизированный газ, проходя через перфорированные пластины 4 и 5, соударяется в ними, частично нейтрализуется и поглощается адсорбентом. Пластины 4, 5 и 6 выполняют из материалов, нераспыляемых при ионной бомбардировке, что обеспечивает их долговечность. Наличие магнитного поля не только увеличивает вероятность ионизации, но и способствует достижению более высокого предельного вакуума без ох лаждения адсорбента, что значительно снижает энергозатраты при работе насоса.

Вакуумный адсорбционный насос, содержащий корпус, установленные в нем анод и катод и расположенный на внутренней поверхности корпуса адсорбент, отличающийся тем, что, с целью снижения энергозатрат и повышения предельного вакуума, насос дополнительно содержит расположенный на корпусе с наружной стороны магнит, а ка25 тод и анод выполнены в виде перфорированных пластин, причем пластина анода размещена между пластинами катода, а адсорбент расположен в зоне магнита.