Вакуумный крионасос

 

Изобретение относится к вакуум ной технике и может быть использова но для получения высокого вакуума Цель изобретения повышение эконо мичности крионасоса путем снижения расхода крноагента на предваритель ное охлаждение. По оси корпуса 1 с верхней крышкой 2 расположен откачи (Л 1C

СОЮЗ СОВЕТСКИХ

СОЦИАЛИСТИЧЕСКИХ

РЕСОУБЛИН (g1)g F 04,3 37/08

ОПИСАНИЕ ИЗОБРЕТЕНИЯ

Ф" !

««

"!-

i" j

Г.

Ю1

ГОСУДАРСТВЕННЫЙ КОМИТЕТ

ПО ИЗОБРЕТЕНИЯМ И ОТНРЫТИЯМ

ПРИ ГННт СССР

М А BTOPCHOMY СВИДЕТЕЛЬСТВУ (21) 4229508/25-29 (22) 13«04«87 (46) 23.09 .90» Бюл» Б 35 (72):Ю,В.Холод, В.Б,Юферов, :В.Б,Нестеренко,.В,П Смазной и:М,Ф«Толмачев (53) 621,527«8(088,8) (56) Авторское свидетельство СССР

У 992813, кл, Р 04 В 37/08, 1981.

„„SU„„1447011 А 1

2 (54) ВАКУУМНЫЙ КРИОНАСОС (57) Изобретение относится к вакуум ной технике и может быть использова но для получения высокого вакуума

Цель изобретения повышение зконо мичности крионасоса путем снижения расхода криоагента на предваритель ное охлаждение. Ио оси корпуса 1 с ! верхней крышкой 2 расположен откачи1447011 вающий элемент, выполненный в виде сосуда (С) 3 для криоагента, Сосуд ,3 снабжен горловиной 4, закрепленной на крьгшке 2, Змеевик 5 закреплен на поверхности С 3 с тепловым контактом и имеет входной конец 6, герметично введенный во внутреннюю полость С 3 и расположенный выше уровня крио агента. В горловине 4 С 3 размещен сифон 9 для подачи криоагента, уста« новленный с возможностью осевого перемещения и снабженный уплотнительным кольцом 10 Кольцо 10 расположе

Изобретение относится к вакуумной технике, а именно крионасосам, предназначенным для получения высокого вакуума„

Целью изобретения является повышение экономичности путем снижения расхода криоагента на предварительное охлаждение насоса.

На чертеже представлена схема крионасоса„

Вакуумный крионасос содержит кор пус 1 с верхней - крьппкой 2 и расположенный по оси корпуса 1 откачивающий элемент, выполненный в виде сосуда

3 для криоагента, снаоженного горло» виной 4, закрепленной на верхней крьппке 2, змеевиком 5, закрепленным на поверхности сосуда 3 с тепловым контактом и имеющим входной копец 6, гермети-гно введенный во внутреннюю,,0 полость сосуда 3 и расположенный впше уровня криоагента, и кассетой 7 с адсорбентом 8, размещенным между витками змеевика:5, Насос дополнительно содержит размещенный в горловине 4 сосуда 3 сифон 9 для подачи криоагента, установленный с возможностью осевого перемещения и снабженный уплотнитель1ым кольцом 10, расположенным на его наружной поверхности, и . закрепленное на нижнем торце горлови» ны 4 клапанное седло 11, Кассета снабжена газопроницаемым экраном 12, закрепленным с тепловым контактом йа змеевике 5 выходнои -.очац 13 ко5 торого герметично подсоединен к горловине 4 выше седла 11» Кроме того, крионасос снабжен поддоном 14 дпя сбора конденсата, закрепленным с тепно на наружной поверхности сифона:9.

На нижнем торце горловины 4 закреплено клапанное седло 11» Выходной конец 13 змеевика 5 герметично подсоединен к горловине 4 вьппе седла

11. Между витками змеевика 5 размеще на кассета 7 с адсорбентом 8. Кассета 7 снабжена газопроницаемым экраном 12, Конденсация откачиваемого газа на поверхностях С 3 и змеевика

5 происходит в виде твердой фазы»

Неконденсируемые газы откачиваются адсорбентом 8 через экран 12. 1 ил, ловым контактом на нижних витках змеевика 5, и охлаждаемым экраном

15, расположенным между стенкой кор пуса 1 и сосудом:3»

Крионасос работает следующим образом, Предварительно осуществляется вакуумирование полости корпуса 1 и охлаждение экрана 15, а также предва рительное захолаживание сосуда 3 пу тем подачи в него по змеевику 5 хлад агента (жидкого азота). После доведе ния температуры сосуда 3 до температуры хладагента последний удаляется из сосуда 3, сифон 9 опускается в горловину 4 гаким образом, что уплотнительное кольцо 1О входиг в контакт с клапанным седлом 11, обеспечивая разделение в зоне торца горловины 4 полости сосуда и горловины, Через сифон 9 в полость сосуда 3 подается криоагент (жидкий гелий), который, охлаждает сосуд 3, а его пары через входной конец 6 отводятся по змеевику 5, дополнительно охлаждая сосуд, Выход паров осуществляется через гор ловнну:4 По мере охлаждения сосуда

3 и повышения уровня криоагента в нем возможно попадение в змеевик 5 парожидкостной смеси и выброс части жид» кости через выходной конец 13. Благодаря соединению выходного конца .13 змеевика 5 с горловиной 4 жидкий криоагент задерживается в горловине, а пары его отводятся, При подъеме си" фона 9 жидкий криоагент вновь может быть возвращен в сосуд 3, что обеспе чпвает экономичное использование крио агента, Вакуумный крионасос, содержащий корпус с верхней крышкой и располо

--25, Техред М.Моргентал Корректор В,Гирняк

Редак тор Л. Письман

Заказ 3329 Тираж 49S Подписное

ВНИИПИ Государственного комитета по изобретениям и открытиям прн ГКНТ СССР

113035, Москва, Ж-35, Раушская наб., д. 4/5

Производственно-издательский комбинат "Патент", r.Óêãîðîä, ул. Гагарина, 101

5 14

При работе крионасоса в форвакуумном режиме, когда давление откачивае мого газа превыпает его давление в тройной точке, образующейся на стен : ках сосуда 3 и на змеевике 5 жидкий конденсат стекает в поддон 14, где в дальнейшем при понижении давления замораживается.

При работе крионасоса в качестве высоковакуумного средства откачивае мый газ целесообразно подавать в него при условии достижения рабочей температуры на стенках сосуда:3, Конденсация откачиваемого газа на поверхностях сосуда и змеевика осу ществляется в этом случае в твердую фазу, а неконденсируемые газы откачиваются адсорбентом, проникая к нему через газопроницаемый экран 12, Формула и э обретения

47011 6 женный по оси корпуса откачивающий элемент, выполненный в виде сосуда для криоагента, снабженного горлови ной, закрепленной на верхней крышке, и змеевиком, закрепленным на поверх ности сосуда с тепловым контактом и имеющим входной конец, герметично введенный во внутреннюю полость со суда и расположенный выше уровня криоагента, отличающийся тем, что, с целью повышения экономич ности путем снижения расхода крио агента на предварительное охлаждение, насос дополнительно содержит pasMe щенный в горловине сосуда сифон для подачи криоагента, установленный с воэможностью осевого перемещения и снабженный уплотнительным кольцом, 20 расположенным на его наружной noseyx ности, и закрепленное на нижнем тор це горловины клапанное седло, а вы ходкой конец змеевика герметично под соединен к горловине выше седла