Вакуумная установка

 

Изобретение может быть использовано в кокстру1щиях автоматизированных вакуумных установок на базе холоднь х диффузионных насосоа Цель изобретения - обеспечение непрерывности выадмной установки с одновременной автоматизацией пр оцесса вакууг ирования. Холодный диффузионный насос выполнен в виде корпуса (К) 1 с входным патрубком 2 и разме денными в К 1 соплосым 6.noi;oM 3 и криогенным экраном (К9) 4. Форвакуумный насос 6 соединен с К 1 и емкостью 5 ,цля хранения рабочего тела Второй холодный диффузионный иасос выполнен в виде К 9 с входным патрубком 10 и размещенным в К 9 сопловым блоком 11 и КЗ 12. Насос 6 соединен с К 9 и емкостью 13 для хранения рабочего тела второго на- coca. Емкости 5, 13 снабжены КЗ 17, 18 и теплоизолированными криогенными трубопроводами (КТ) 19,20 с регулирующими вентилями 21, 22. КТ соединен с КЗ 12. КТ 20 соединен с КЗ 4. КЗ 4, 12, 17,18 снабжены нагревателями 23 - 26 и датчиками 27 - 30 т-ры. Датчики 31-34 давления установлены из К 1,9 и емкостях 5,13. Вентили 21,22 и запорная арматура 8,15 через систему 16 управления связаны с датчиками 27 - 30,31 - 34. 1 ил.

(51) 5 Е 04 Г 9 04

С(ПОЗ СОВЕТСКИХ социллистнчес дтх РеспуБлнк

ГОСУДАРСТВЕННОЕ ПАТКНТНОК

ВЕДОМСТВО СССР {ГОСПЛТЕНТ СССР) 0)ПБСАНКЕ ИЗОБРЕТЕБЙЯ

Е АВТОРСКОМУ АРВИДЕ ПЕЛЬСХВУ (21) 4186473/29 (22) 23.01.87 (46) 15.10.93 Бюл, Na 37-38 (71) Специальное конструкторское бюро по энергохимической аппаратуре и машинам "Энергохиммаш (72) Деменева B.С„. Секи-ов Б.П; Созинов ГИ.;

Шишкина ТЛ . (54) ВАКУУМНАЯ УС7АНОВКА (57) Изобретение может быть использовано в конструкциях автоматизированных вакуумных установок на базе холодных диффузионных насосов.

Цепь изобретения — ооеспечение непрерывности выкуумной установки с одновременной автоматизацией процесса вакуумирования. Холодный диффузионный насос выполнен в виде корпуса (К) 1 с вхоцным патрубком 2 и размещенными в!(1 сопловым блоком 3 и криогенным экраном (K3) 4.

Форвакуумный насос 6 соединен с К 1 и емкостью 5 ,цпя хранечия рабо чего тела Второй холодный диффузионный насос выполнен в виде К 9 с входным патрубком 10 и размещенным в К 9 сопповым блоком 11 и КЗ 12. Насос 6 соединен с К 9 и ем— костью 13 для хранения рабочего тела второго насоса. Емкости 5, 13 снабжены К3 17, 18 и теплоизолированными криогенными трубопроводами (KT)

19, 20 с регулирующими вентилями 21, 22. КТ соединен с К3 12. КТ 20 соединен с К3 4. КЗ 4, 12, 17, 18 снабжены нагревателями 23 — 26 и датчиками 27 — 30 —,— — ры. Датчики 31 — 34 давления установлены,- К 1, 9 и емкостях 5, 13. Вентили 21, 22 и

;.апорнап арматура 8, 15 через систему 16 управления связаны с датчиками 27 — 30, 31 — 34. 1 ил.

1459355

Изобретение относится к вакуумной технике, а именно к конструкциям автоматизированных вакуумных установок на базе холодных диффузионных насосов.

Цель изобретения — обеспечение йепрерывности работы с одновременной автоматизацией процесса вакуумирования, На чертеже представлена схема установки.

Вакуумная установка содержит холод- 10 ный диффузионный насос, выполненный в . виде корпуса 1.с входным патрубком 2 и размещенными в корпусе 1 сопловым блоком 3 и криогенным экраном 4 и снабженный емкостью 5 для хранения рабочего тела, ® и форвакуумный насос 6, соединенный форвакуумной магистралью 7 с запорной арматурой 8 с корпусом 1 диффузионного насоса. . и емкостью 5 для хранения „рабочего тела., Установка дополнительно содержит второй 20 холодный диффузионный насос, выполненный в виде корпуса 9 с входным патрубком

10 и размещенными в корпусе 9 сопловым блоком 11 и криогенным экраном 12 и снабженный емкостью 13 для хранения рабочего 25 .тела, дополнительную форвакуумную магистраль 14 с запорной арматурой 16; соединяющую форвакуумный насос 6 С корпусом

9 и емкостью 13, и систему 16 управления.

Емкости 5 и 13 для хранения рабочего тела 30 снабжены криогеннйми.экранами 17 и 18 и теплоизоли рованн ыми криогенными тру- . .бопроводами 19 и 20 с регулирующими вен-, тилями 21 и 22, причем криогенный трубопровод 19 емкости 5 соединейс крио- 35

-генным экраном 12, криогеннь и трубопровод 20 емкости 13 — с криогенным экраном

4. Криогенные экраны 4, 12, 17.и 18 снабжены нагревателями 23-26 и датчиками 27-30 . температуры, а установка снабжена датчи- 40 ками 31-34 давления, установленными на корпусах 1 и 9 и емкостях 5 и 13 диффузионных насосов, а датчиками 35 и 36 давления, установленными на форвакуумных магистралях 7 и 14, при этом. регулирующие венти- 45 ли 21 и 22 и запорная арматура 8 и 15 через систему 16 управления связаны с датчиками

27-36 температуры и давления.

Установка работает следуюцим образом. 50

Корпуса 1 и 9 диффузионных насосов параллельно подсоединяются к откачиваемому обьему, а емкости 5 и 13 заправляются рабочим телом, например двуокисью угле.рода.

После создания предварительного вакуума в корпусе 1 при помощи форвакуумного насоса 6 по сигналу датчика 35 арматура 8 закрывается, а вентиль 22 на криогенном трубопроводе 20 открывается и в экран 4 подается жидкий азот, охлаждая его до температуры, обеспечивающей конденсацию рабочего тела. По достижении необходимой температуры экрана 4, фиксируемой датчиком 27, в соплавой блок 3 из емкости 5 подается рабочее тело. Одновременно открывается арматура 8, корпус 1 откачивается насосом 6. Истекающее из соплового блока 3 в виде сверхзвуковой газовой струи .рабочее тело захватывает откачиваемый газ, поступающий в корпус 1 через входной патрубок 2, и переносит его в форвакуумную зону корпуса 1. откуда он удаляется насосом

6. При этом рабочее тело конденсируется на экране 4, образуя слой криоосадка.

Запуск второго диффузионного насоса и последовательность его работы аналогична вышеописанной для первого диффузионного насоса.

Вакуумная установка позволяет в автоматическом режиме работать поперечно каждому из диффузионных насосов, причем при работе первого насоса второй регенерируется, и наоборот.

Регенерация насоса осуществляется следующим образом, В экран 4 корпуса 1 диффузионного-насоса прекращается подача криогенной жидкости, и включается нагреватель 23. Ранее сконденсированный на экране 4 слой рабо- . чего тела сублимируется, и его пары через открытую запорную арматуру 8 попадают в емкости 5,.где конденсируются на охлаждаемом экране 17. Процесс продолжается до полной утилизации рабочего тела в емкости

5.

Момент включения насоса ка регенерацию.определяется по показаниям датчиков

31 и 32 давления на входе в насосы.

Таким образом, описанная вакуумная установка позволяет обеспечить непрерывность вакуумирования в автоматическом режиме, что достигается попеременным включением одного из диффузионных насосов на откачку обьекта, а другого - íà регенерацию, а также выполнением емкостей для хранения рабочего тела вне корпусов насосов, позволяя обеспечить снять по криогенной жидкости между контуром охлаждения одного из насосов и контуром охлаждения емкости для хранения рабочего тела другого насоса.

Ф (56) Авторское свидетельство СССР

М 981708, кл, F 04 F 9/02, 1981.

Составитель Г.Рожкова

Техред M.Моргентал Корректор А.Мотыль

Редактор Н.Коляда

Тираж Подписное .

НПО "Поиск" Роспатента

113035, Москва. Ж-35, Раушская наб., 4/5

Заказ 3185

Производственно-издательский хомбэ нат "Патент". r. Ужгород, улХагарина, 101

Формула изобретения

Вакуумная установка, содержащая холодный.диффузионный насос, выполненный

1 в виде корпуса с входным патрубком и раз-. мещенными в корпусе сопловым блоком и 5 криогенным экраном и снабженный емкостью для хранения рабочего:тела,. и форвакуумный насос, соединенный форва. куумной магистралью с запорной арматурой с корпусом диффузионного насоса и емкостью для хранения рабочего тела, О тл и ч аю щ а я с я тем, что, с целью обеспечения непрерывности работы с одновременной автоматизацией процесса вакуумирования; установка дополнительно содержит второй: холодный диффузионный насос, выполнейный в виде корпуса с входным патрубком и

- размещенными в корпусе сопловым блоком и криогенным экраном и снабженный емко стью для хранения рабочего тела, дополнительную форвакуумную магистраль с . о

-запорной арматурой, соединяющую форва1куумный насос с корпусом и емкостью для хранения рабочего тела второго диффузионного насоса, и систему управления, при этом емкости для хранения рабочего тела снабжены криогенными экранами и теплоизолированными криогенными трубопроводами с регулирующими вен члями. причем криогенный трубопровод емко:ти первого диффузионного насоса соединен с криогенным экраном второго диффузионного насоса. криогенный трубопровод емкости второго диффузионного насоса соединен с криогенным экраном первого диффузионного насоса,. криогенные экраны диффузионным насосое и емкостей снабжены нагревателями и датчиками температуры, а установка снабжена датчиками давления, установленными на корпусах и емкостях диффузионных насосов на форвакуумных магистралях, при этом регулирующие вентили и запорная арматура через систему управления связана с.äàò÷èêàìè давления и температуры.