Вакуумная установка

Авторы патента:

F04F9/04 - в комбинации с форвакуумными насосами, например с применением отключающих клапанов

ОПИСЛНИЕ

ИЗОБРЕТЕНИЯ

К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ

233829

Со1оз Советских

Социалистических

Республик

Зависимое от авт, свидетельства ¹

Заявлено 31.111.1967 (№ 1145001/24-6) с присоединением заявки ¹

Приоритет

К.7. 27с, 1

27с1, 3, 04

Комитет по делам изобретений и открытий при Совете Министров

СССР

МПК F 04с

F 041

УДК 621.524.1.621.527.8 (088.8) Опубликовано 24.Xll.1968. Бюллетень ¹ 3 за 1969 г.

Дата опубликования описания 8Л,1969

Авторы изобретения

П. Г. Клюев и В. П. Ступаков

Московский завод электровакуумных приборов

Заявитель

ВАКУУМНАЯ УСТАНОВКА

Известны вакуумные установки, например. для откачки электровакуумных приборов, содер>кащие подключенные к откачиваемому прибору с вакуумной головкой натекатель, паромасляный диффузионный и механический 5 насосы, на линии связи между которыми установлен .вентиль, например с тарельчатым клапаном.

Предлагаемая конструкция клапана позволяет предотвратить прокачку воздуха через 10 диффузионный насос при натекании прибора и, следовательно, исключить окисление масла. Это достигается тем, что в корпусе вентиля со стороны, противо поло>кной седлу кла,пана, размещен сильфон. Внутренняя полость 15 сильфона сообщена с атмосферой, а наружная вЂ” с линией связи натекателя и головки с тем, чтобы в процессе натекания при выравнивании давления в обеих полоcTiix сильфона клапан отсекал диффузионный насос от обла- 20 сти повышенного давления. Кроме того, вентиль снабжен конечным выключателем, срабатывающим при закрытии клапана на отключение подогревателя диффузионного насоса, а седло клапана выполнено с кольцевой 25 щелью.

На черте>ке изображена описываемая усталовка ia разрезе.

Установка содержит подключенные к откачиваемому прибору 1 с вакуумной головкой 2 30 натекатель 8, паро-масляный диффузионный насос 4 и механический насос 5 с масляным уплотнением. На линии связи между насосами установлен вентиль 6 с тарельчатым клапаном 7. В корпусе венп1ля со стороны, Ilpoтивоположной седлу 8 клапана, размеще:1 сильфон 9, внутренняя полость А которого сообщена с атмосферой, а наружная Б с л1гн 1сй связи натекателя и головки. Седло клапана имеет кольцевую щель 10.

Перед ня11яло11 p3ooTbl к13пян 331(pbIT, ГГIк как давлcHHil в по7ocT51ê А и Б сН.7üôîHà равны атмосферному, и под действием пружины

11 цилиндр 12 и шток 18 клапана находятся в крайнем правом положении. После установки прибора начинает работать механический насос для откачки воздуха из вакуумной головки. ав7сние в полости Б уменьшается, и сильфон, пересиливая пружину, под действием атмосферного давления в полости А распрямляется, открывая клапан.

Т а к к а к Il p ox 0 >KEOGH H e IB 03 3,ух 3 3 а м с дл 11 е тс il кольцевой щелью, что способствует умсньшсншо выплеска масла из диффузионного насоса, клапан открывается постепенно. При пол1(73I13H3 прибор откачивясTOH через диффузионный насос. После окончания вакуумирования осуществляют натекание воздуха в головку и полость Б клапана. Давление .в полостях Б и А выравнивается, и пру233829

Составитель Т. Рабчук

Редактор П. И. Шлайн хред А. А. Камышникова рректор Н. В. Босняцкая

Типография, пр. Сапунова, 2 жина 1I закрывает клапан, Шток перемещается в крайнее положение и, воздействуя на конечный .выключатель 14, отключает подогреватель диффузионного насоса, предотвращая окисление в нем масла. В описанной установке масло не окисляется и при натсканиях, связаиных с негерметичностью системы или взрывом приборов.

Предмет изобретения

1. Вакуумная установка, например, для огкачки электровакуумных приборов, содержащая подключенные к откачиваесмому прибору с вакуумной головкой натекатель, паромасляный диффузионный и механический насосы, на линии связи между которыми установлен ,вентиль с тарельчатым клапаном, отличающаяся тем, что, с целью предотвращения окисления масла в диффузионном насосе, в корпусе вентиля со стороны, противоположной седлу клапана, размещен сильфон, внутренняя

5 полость которого сообщена с атмосферой, а наружная вЂ” с линией связи натекателя и головки с тем, чтобы в процессе натекания при выравнивании давления в обеих полостях сильфона, клапан отсекал диффузионный на10 сос от области повышенного давления.

2. Установка по п. 1, отличающаяся тем, что вентиль снабжен конечным выключателем, срабатывающим при закрытии клапана на ог,ключение подогревателя диффузионного на15 соса.

3. Установка по п, 1, отличающаяся тем, что седло клапана выполнено с кольцевой щелью. 14 Тираж 437 Подписное

Комитета по делам изобретений и при Совете Министров СССР ва, Центр, пр. Серова, д. 4