L- координатный манипулятор

 

Изобретение относится к машиностроению, а именно к манипуляторам, используемым преимущественно при обслуживании технологических процессов в условиях вакуума. Цель изобретения - повышение надежности в работе при использовании в вакууме или агрессивных средах. При изменении длин приводных элементов 3,4,5,6,7,8 линейного перемещения, установленных на основании 1 и фланце 2, исполнительное устройство 14 совершает движение по шести координатам. При этом упругий герметизирующий элемент 9 деформируется, что обеспечивается его конструктивным выполнением в виде двух гофрированных труб 10 и 11. Труба 10, выполненная с гофрированием в поперечном направлении, жестко установлена на основании и обеспечивает деформацию по пяти координатам, а труба 11, гофрированная в продольном направлении, - деформацию по шестой координате. Таким образом, координатный манипулятор обеспечивает передачу движения в герметизированный объем, причем в этом объеме полностью отсутствуют шарнирные соединения. 1 з.п. ф-лы, 5 ил.

СОЮЗ СОВЕТСНИХ социАлистичесних

РЕСПУБЛИК (19) (11) А1 (5114 В 25 J 00 II 00

g (ppгqëH

11НИБ". - .:...

Г=; .

) ОПИСАНИЕ ИЗОБРЕТЕНИЯ

Н А BTOPCHOMV СВИДЕТЕЛЬСТВУ

ГОСУДАРСТВЕННЫЙ НОМИТЕТ

ПО ИЗОБРЕТЕНИЯМ И ОТКРЫТИЯМ пРи унт сссР (21) 437 1 8 89/31-08 (22) 26,01,88 (46) 23.,07.89. Бюл. М 27 (71) Московский институт электронного машиностроения и Институт машино- " вецения им„ А„А,благонравова (72) F..Í.Ивашов, А.Ш.Колискор, М.И„I!екрасов, С.H.Ñòåèàí÷èêîâ и И.Ю.Григорьев (,3) 6?1„?29.72(088,8) (56) Авторе ос свидетельство СССР

М 1237414, кл, В 25 J 9/00, 1986. (54) 1.-K00I >iIIIIATIII IA МАНИПУЛЯТОР (57) И-зобретение относиr<.я к машиностроению, а именно к манипуляторам, испояьэуемыт преимущественно при обслуживании технологических процессов в условиях вакуума. Цель изобретения — овьг ение надежности в работе нри использовании ь вакууме или агр с iiilfff Ix средах При изменении длин

2 приводных элементов 3,4,5,6,7,8 линейного перемещения, установленных на основании 1 и фланце 2, исполнительное устройство 14 совершает дви- жение по шести координатам. При этом упругий герметизирующий .элемент 9 деформируется, что обеспечивается его конструктивным выполнением в виде двух гофрированных труб 10 и Il.

Труба 10, выполненная с гофрировани" ем в поперечном направлении, жестко установлена на основании и обеспечивает деформацию по пяти координатам, а труба 11, гофрированная в продольном направлении, — деформацию по шестой координате. Таким образом, координатный манипулятор обеспечивает передачу движения в герметиэированный объем, причем в этом объеме полностью отсутствуют шарнирные сое. динения. 1 s.ï. ф-лы, 5 ил.

1495111

1О

35

45

Изобретение относится к машиностроению, а именно к манипуляторам, используемым преимущественно при обслуживании технологических процессов в условиях вакуума.

Пель изобретения — повышение надежности работы при использовании в вакууме или агрессивных средах.

На фиг. 1 представлен L-координатный манипулятор, общий нид; на фиг. 2 - упругий герметизирующий элемент; на фиг. 3 — схема установки приводных элементов манипулятора; на фиг. 4 — труба малой крутипьной жесткости, гофрированная в продольном направлении; на фиг. 5 — I.-координатный манипулятор с гибкими тягами регулируемой длины.

I. — êooðäèHàòHûé манипулятор содержит основание 1, фланец 2, соединенные между собой с помощью шести приводных элементов 3 - 8 линейного перемещения, связанных с основанием и фланцем, образующих привод. Упругий герметизирующий элемент 9 выполнен н виде гофрированньгх труб 10 и ll которые герметично связаны между собой посредством переходника 12 так, что приводные элементы 3 — 8 герметизированы относительно технологической среды (фиг, 1). Приводные элементы могут быть выполнены в виде гибких тяг 13 регулируемой длины, натяжение которых осуществляется упругим герметизирующим элементом 9.

На фланце установлено исполнительное устройство 14.

В качестве приводных элементов

3 — 8 линейного перемещения можно исполь- вать пненмоцилиндры или винтовые и редачи с электродвигателями.

Конкретное исполнение приводных элементов .1 — 8 на фиг, 1 не показано.

С це .ью обеспечения высокотемпературного прогрева (при установке н сверхнысоковакуумном оборудовании) фланец 2 манипулятора с элементами

3 — 8 может отсоединяться от основания манипулятора (фиг. 3).

Манипулятор работает следующим образом.

При изменении длин приводных элементов 3 — 8 линейного перемещения исполнительное устройство на фланце сонершает движение по шести координатам — трем линейным и трем угловым относительно неподвижного основа ния 1, 1 гофрированная трубя 10 при этом имеет пять степеней подвижности, а шестую степень обеспечивает гофрированная труба 11 малой крутильной жесткости (фиг. 3). Таким образом

Ь-координатный манипулятор обеспечивает передачу движения в герметизированный объем. В этом объеме полностью отсутствуют шарнирные соединения, а число герметизирующих элементов резко уменьшается, Выбор люфтов в манипуляторе обеспечивается, например, с помощью гиб- ких тяг 13 регулируемой длины, натяжение которых осуществляется герметизирующим элементом 9. Посредством тяг 13 однонременно осуществляется передача движения.

Установка упругого герметизирую" щего элемента 9 между основанием 1 и фланцем 2 позволяет существенно уменьшить габариты манипулятора, обеспечивает высокую податливость упругого элемента за счет воэможности увеличения его размеров при заданных габаритах манипулятора, а также расположение упругого герметизирующего элемента 9 нне технологи1 ческой зоны вакуумной камеры. формула изобретения

1. I.-координатный манипулятор, содержащий основание, фланец, приводные элементы линейного перемещения, кинематически связанные с основанием и с фланцем, исполнительное устройство, жестко установленное на фланце, отличающийся тем, что, с целью повышения надежности работы при использовании н вакууме или агрессивных средах, он снабжен упругим герметизирующим элементом, вы" полненным в виде двух жестко соединенных одними концами гофрированных труб, причем вторые концы этих труб жестко закреплены соответственно на фланце и на основании, а исполнительное устройство расположено внутри упругого герметизирующего элемента, при этом одна из труб упругого герметизирующего элемента гофрирована в продольном, а другая — в поперечном направлениях, а соединения этих труб друг с другом, с основанием и с фланцем выполнены герметичными.

2. Манипулятор по п. 1, о т л и— ч а ю шийся тем, что приводные

1495111

Составитель В. Верховский

Техред М.Дидык Корректор А.Обручар

Редактор В. Петраш

Заказ 4163/12 Тира к 778 Подписное

ВНИИПИ Государственного комитета по изобретениям и открытиям при ГКНТ СССР

113035, Москва, Ж-35, Раушская наб., д. 4/5

Производственно-издательский комбинат "Патент", г.ужгород, ул. Гагарина,!01 элементы линейного перемещения выполнены в виде гибких тяг регулируемой длины, установленных с предварительным натяжением, причем натяжение этих тяг осуществляется упругим герметиэирувщим элементом.