Устройство для электронно-лучевого испарения
1. Устройство для электронно-лучевого испарения, преимущественно при обработке подложек большой площади, содержащий электронно-лучевую пушку, высоковольтный источник постоянного напряжения, электрически соединенный с катодом электронно-лучевой пушки, регулятор режима испарения в виде транзисторного ключевого элемента, электрически соединенного через блок сравнения с волноводными датчиками режима, электрически соединительными с СВЧ-генератором, катушки отклонения и развертки электронного луча, отличающееся тем, что, с целью повышения точности поддержания скорости испарения, регулятор режима испарения снабжен генератором пилообразного напряжения, источником постоянного отклонения, микропроцессорной системой обработки информации, интервальным таймером и дополнительным волноводным датчиком режима, при этом выход генератора пилообразного напряжения электрически соединен с катушками разверток, источник постоянного отклонения электрически соединен через транзисторный ключевой элемент с катушками отклонения, выходы микропроцессорной системы электрически соединены с входом транзисторного ключевого элемента через интервальный таймер, а ее входы - через блок сравнения с волноводными датчиками режима.
2. Устройство по п.1, отличающееся тем, что в волноводных датчиках режима в качестве чувствительного элемента использована металлическая нить, а датчики выполнены с возможностью расположения диаметрально противоположных краев обрабатываемой подложки.
3. Устройство по пп.1 и 2, отличающееся тем, что блок сравнения снабжен детекторами, видеоусилителями и балансными схемами, выходы которых электрически соединены с входами микропроцессорной системы, а входы детекторов электрически соединены с датчиками режима и СВЧ-генератора.
