Устройство для контроля скорости нанесения вакуумных покрытий на изделия
пи 43224!
ОП ИСАНИ Е
ИЗОБРЕТЕН ИЯ
К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ
Союз Советских
Социалистических
Республик (61) Зависимое от авт. свидетельства (22) Заявлено 16.12.71 (21) 1725098/22-1 с присоединением заявки № (32) Приоритет (51) М. Кл. С 23с 13/08
G 01Ь 19/00
Государственный комитет
Совета Министров СССР но делом изоорвтений и открытий (53) УДК 621.793.1:658.5 (088.8) Опубликовано 15.06.74. Бюллетень № 22
Дата опубликования описания 05.11.74 (72) Авторы изобретения
Ю. Д. Клебанов и В. H. Сумароков (71) Заявитель (54) УСТРОЙСТВО ДЛЯ КОНТРОЛЯ СКОРОСТИ НАНЕСЕНИЯ
ВАКУУМНЫХ ПОКРЫТИЙ НА ИЗДЕЛИЯ
Изобретение относится к нанесению вакуумных покрытий на изделия.
Известно устройство для контроля скорости нанесения вакуумных покрытий на изделия, содержащее приемник конденсата и измеритель толщины конденсата на приемнике. Известное устройство характеризуется малой точностью контроля толщины покрытия, скоростью конденсации и равномерностью покрытия. При этом точность контроля, обеспечиваемая известным устройством, уменьшается с увеличением толщины вакуумных покрытий и повышением скорости конденсации.
Целью изобретения является повышение точности контроля скорости конденсации и обеспечение равномерности покрытия. Это достигается тем, что приемник конденсата выполнен в виде ленты, установленной с возможностью перемещения относительно измерителя толщины покрытия.
На чертеже показано описываемое устройство.
Оно устанавливается в рабочей камере 1, установки для нанесения покрытий. В рабочей камере 1 смонтированы также механизм 2 крепления и перемещения (вращения) обрабатываемого изделия 3, испаритель, содержащий электронную пушку 4, магнитную отклоняющую систему 5 и жаростойкий тигель 6 с испаряемым материалом. Собственно устройство для контроля скорости нанесения вакуумных покрытий смонтировано в кожухе 7, в стенке которого, обращенной к тиглю 6, выполнена щель 8. B кожухе помещен рулон 9
5 ленты 10, выполненной из прозрачного материала (например, лавсановой пленки). Ленту
10 с помощью роликов 11 перемещают перед щелью 8 и сматывают на барабан 12. За щелью 8 на некотором расстоянии по ходу
10 перемещения ленты 10 смонтирован измеритель толщины конденсата на ленте 10, выполненный из установленного с одной стороны ленты коллимпрованного источника света 13 и ориентированного на него фотопри15 емника 14, установленного с другой стороны ленты.
При испарении металла из тигля 6 часть потока паров достигает поверхности изделия
3 и конденсируется на ней, Другая часть
20 этого потока паров через щель 8 достигает поверхности ленты 10, перемещаемой с постоянной скоростью.
Скорость перемещения ленты 10 устанавливают такой, чтобы на ее поверхности по25 лучался сплошной полупрозрачный слой конденсата.
После прохождения щели 8 лента 10 проходит мимО измсрителя толщины конденсата. Луч света от коллимированного источ30 ника света 13 просвечивает ленту 10 с по432241
Предмет изобретения
Составитель В. Сумароков
Техред Л. Акимова
Корректор E. Миронова
Редактор Л. Тюрина
Заказ 2952/6 Изд. Ко !734 Тираж 875 Подписное
ЦНИИПИ Государственного комитета Совета Министров СССР по делам изобретений и открытий
Москва, К-35, Раушская наб., д. 4/5
Типография, пр. Сапунова, 2
3 лупрозрачным слоем конденсата. Интенсивность прошедшего света регистрируется фотоприемником 14, в качестве которого могут быть использованы фотосопротивление, фотоэлемент и др.
Интенсивность светового луча, прошедшего через слой конденсата, характеризует толщину этого слоя, а следовательно, скорость нанесения покрытия в момент конденсации этого слоя.
Возможно также использование ленты из любых других (непрозрачных) материалов, в частности металлической ленты. Могут применяться самые различные измерители толщины конденсата на ленте — магнитные, рентгеновские, радиационные и др.
Описываемое устройство относится к устройствам дифференциального типа. Обеспечиваемая им точность контроля скорости нанесения вакуумных покрытий постоянна во времени и определяется точностью измерения толщины конденсата на ленте.
Устройство для контроля скорости нанесе10 ния вакуумных покрытий на изделия, содержащее приемник конденсата и измеритель толщины конденсата на приемнике, о т л и ч аю щееся тем, что, с целью повышения точности контроля скорости конденсации и обес15 печения равномерности покрытия, приемник конденсата выполнен в виде ленты, установленной с возможностью перемещения относительно измерителя толщины конденсата.
