Патент ссср 416420

 

о п -е-агат-и

ИЗОБРЕТЕНИЯ

К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ

Союз Советски)т

Социалистимеских

Республик

Зависимое от авт. свидетельства №

Заявлено 06.111.1972 (¹ 1755658/22-1) с присоединением заявки №

Приоритет

Опубликовано 25.11.1974. Бюллетень . е 7

Дата опубликования описания ЗЛ 11.1974

М, Кл. С 23с 13/10

Ci 01b 11/00

Гасударственный комитет

Саввта Министрав СССР аа делам изааретений и аткрмтий

УД К 621.793.14.002.52 (088.8) Авторы изобретения

В. П. Клевцов и А. П. Галаницкий

Заявитель

УСТРОЙСТВО ДЛЯ ИЗМЕРЕНИЯ ТОЛЩИНЫ И СКОРОСТИ

НАНЕСЕНИЯ ПОКРЫТИЙ

Изобретение относится к области нанесения покрытий в вакууме и может быть использовано при автоматическом регулировании технологического процесса нанесения однослойных и многослойных покрытий методом термического напыления.

Известно устройство для измерения толщины и скорости нанесения покрытий, содержащее испаритель, кварцевый резонатор, генератор, измеритель частоты, диафрагму с отверстием и систему охлаждения.

Однако такое устройство невозможно использовать при контроле многослойных покрытий с большой суммарной толщиной слоев, так как для изменения коэффициента экранировки контролируемой части потока необходима замена диафрагмы.

Цель изобретения — расширение диапазона измерений и получение информации в дискретном виде.

Это достигается тем, что устройство снабжено заслонкой, смонтированной между испарителем и диафрагмой и соединенной с электромагнитным приводом возвратно-поступательного движения и блоком управления, причем резонатор подключен к охлаждаемым разъемам.

На чертеже представлена конструкция предложенного устройства.

Устройство состоит из кварцевого резонатора 1 с обкладками 2, генератора 3, измерителя частоты 4, неподвижной диафрагмы 5 с отверстием, заслонки 6, смонтированной между испарителем (на чертеже не показан) и диафрагмой 5 и соединенной с электромагнитным приводом возвратно-поступательного движения, содержащим сердечники 7, катушки 8, 9 и магнитопровод 10, и блоком управления, включающим усилитель мощности 11 и задающий генератор 12. Причем резонатор 1 выводами 13 подключен к охлаждаемым разъемам, состоящим нз гнезда кварцедержателя

14, фторопластовой втулки 15, гайки 16 и ре15 зинового уплотнспи", 17. К гнезду кварцедержателя 14 пайкой крепится монтажный проВод В хлорвиниловой изоляции 18, который проложен в канале 19 для охлаждающей жидкости.

20 Устройство работает следующим образом.

Напыление различных материалов на изделие производится одновременно с напылением на обкладку 2 кварцевого резонатора 1, в результа1е чего изменяется масса резонатора 1

25 и собственная частота колебаний измерительного генератора 3, которую измеряют стандартны.,: частото ером, например, Ч 3-30. Измеренная девиация частоты служит мерой толщины покрыпш па изделии, а изменение ча30 стоты в единицу времени — мерой скорости

416420 нанесения покрытий. Напыление производится через отверстие неподвижной диафрагмы 5, диаметр которого равен диаметру обкладки резонатора 1. Между отверстием неподвижной диафрагмы 5 и испарителем установлена заслонка 6, полностью перекрывающая поток осаждаемых на резонатор 1 частиц. Заслонка

6 укреплена на оси 20 с язычком 21, который расположен в зазоре между сердечниками 7 двухкатушечного электромагнитного привода.

Большую часть времени заслонка 6 удерживается в положении, при котором отверстие неподвижной диафрагмы 5 закрыто язычком.

Он притягивается электромагнитным полем катушки 9 двухкатушечного электромагнитного привода, на которую постоянно подано напряжение от источника питания. Для перевода заслонки 6 в положение, при котором потоку испаряемых частиц полностью открыт доступ к кварцевому резонатору 1, на катушку 8 с сердечником подаются мощные короткие импульсы, в результате воздействия которых на катушку язычок 21 на короткое время притягивается к сердечнику катушки 8. В момент окончания импульса на катушку 9 подается другой импульс тока, электромагнитное поле

8акууп. Составитель Л . Анисимова

Техред Г. Васильева

Корректор H . Аук

Редактор А. Бер

Изд, № 526 Тираж 875

Типография, пр. Сапунова, 2

Заказ 1523/2

Подписное

0 15 L7 Ы 1о

Напыпинии катушки 9 перебрасывает язычок 21 в исходное положение, где он удерживается подачей постоянного напряжения на катушку 9. Напряжения на катушки 8 и 9 электромагнитного привода подаются с выходов блока управления. Изменение частоты фиксируется, например, серийным прибором Ч 3-30 с выходом на цифропечатающее устройство для регистрации результатов измерения.

Предмет изобретения

1. Устройство для измерения толщины и ско15 рости нанесения покрытий в вакууме, содержащее испаритель, кварцевый резонатор, генератор, измеритель частоты, диафрагму с отверстием и систему охлаждения, о тл и ч а ющ е е с я тем, что, с целью расширения диапа2р зона измерений и получения информации в дискретном виде, оно снабжено заслонкой, смонтированной между испарителем и диафрагмой и соединенной с электромагнитным приводом возвратно-поступательного движе25 ния и блоком управления, а резонатор подключен к охлаждаемым разъемам.