Устройство для контроля поверхностных микропотенциалов

Авторы патента:

H01J37/26 - электронные или ионные микроскопы, трубки с дифракцией электронов или ионов

Изобретение относится к области микрозондовой техники и может быть использовано в электронной микроскопии. Цель изобретения - повышение чувствительности контроля. Устройство содержит зондоформирующую систему, состоящую из источника 1 зондирующих частиц, конденсорного блока 2, электростатической отклоняющей системы 3, объектодержателя 4 и формирующей линзы 5, анализатора 6 вторичного потока электронов типа "цилиндрическое зеркало", системы 7 регистрации, экранирующей диафрагмы 8. Анализатор 6 и система 7 регистрации расположены соосно с зондоформирующей системой, при этом анализатор 6 и система 7 регистрации расположены между конденсорным блоком 2 и формирующей линзой 5. 2 ил.

СОЮЗ СОВЕТСКИХ

СОЦИАЛИСТИЧЕСНИХ

РЕСПУБЛИК (51) Н 01 J 37/26

ГОСУДАРСТВЕННЫЙ КОМИТЕТ

f10 ИЗОБРЕТЕНИЯМ И ОТКРЫТИЯМ

ПРИ ГКНТ СССР (21) 3873745/24-63 (22) 26.03.85 (46) 30,07.90, Бюл. В 28 (71) московский институт электронного машиностроения (72) В.:В.Рыбалко (53) 621.385.833(088,8} (56) Авторское свидетельство СССР

У 503316, кл. Н 01 J 37/26,10.04.74, ÄÄSUÄÄ 1582226 А 1

2 (54) УСТРОЙСТВО ДЛЯ КОНТРОЛЯ ПОВЕРХНОСТНЫХ ИИКРОПОТЕНЦИАЛОВ (57) Изобретение относится к микрозондовой технике и может быть использовано в электронной микроскопии.

Цель изобретения вЂ” повышение чувствит тельности контроля, Устройство содержит зондоформирующую систему, состоя1582226 экранирующей диафрагмы 8. Анализатор

6 и система 7 регчстрации расположены соосно с зондоформирующей. систе,вЂ”

5 мой, при этом анализатор 6 и система

7 регистрации расположены между конденсорным блоком 2 и формирующей линзой 5, 2 ил.

Изобретение относится к микрозондовой технике и может быть использо вано в микроскопии (например, элекTPoHHOH) 4

Цель изобретения вЂ” повышение чувствительности контроля.

На фиг.1 изображен вариант устройства с расположением формирующей лин. зы перед плоскостью объектодержателя; 2п на фиг.2 вЂ” вариант устройства с расположением формирующей линзы за плоскостью объектодержателя, Устройство содержит зондоформирующую систему, состоящую из источника

1 зондирующих частиц, конденсорного блока 2, электростатической отклоняющей системы 3, объектодержателя 4, формирующей линзы S и анализатора

6 вторичного потока электронов типа

"цилиндрическое зеркало", выполненного из немагнитного материала с злектропроводящим поверхностным слоем, системы 7 регистрации сигнала и экранирующей,циафрагмы 8

Устройство работает следующим образом.

Источник 1 генерирует поток зондирующих частиц (например, электронов), который предварительно фокусируется конденсорным блоком 2 и сканируется отклоняющей системой 3 по поверхности объектодержателя 4. При этом с по-. мощью фокусирующей линзы 5 поток фокусируется в зонд в плоскости . 45 объектодержателя 4, Поток вторично эмиссионного сигнала, генерируемый в образце, установленном на объектодержателе А, поступает на вход анализатора 6. Анализатор настраивается на любой участок энергетического спектра вторичных частиц. Далее облуU =

К где U о щую из источника 1 зондирующих частиц, конденсорного блока 2, электростатической отклоняющей системы 3, объектодержателя 4 и формирующей линзы 5, анализатора 6 вторичного потока электронов типа "цилиндрическое

II зеркало, системы 7 регистрации, чают контролируемый участок, регистрируют сигнал на выходе системы 7 регистрации и регулируют потенциал анализатора 6 до того момента, когда сигнал достигнет первоначального значения. Тогда определяют величину потенциала контролируемого участка по формуле

ПО известный потенциал первоначального облученного участка; величина изменения фокусирующего потенциала анализатора при его регулировке во время зондирования контролируемого участка.

Формула изобретения

Устройство для контроля поверхностных микропотенциалов, содержащее последовательно расположенные зондоформирующую систему, включающую источник зондирующих частиц, конденсорный блок, формирующую линзу и объектодержатель, анализатор вторичного потока электронов, систему регистрации, о т л и ч а ю щ е е с я тем, что, с. целью. повыше .ия чувствительности контроля, анализатор вторичного потока электронов и система регистрации расположены соосно с зонцоформирукицей системой, при этом анализатор и система регистрации расположены между конденсорным блоком и формирующей линзой, анализатор вторичного потока электронов выполнен в виде цилиндрического зеркала, а регистратор вЂ” в виде коллектора электронов.

1582226

Составитель Е,Сотниченко

Техред Л.Сердюкова Корректор С.Черни

Редактор А.Ревин

Заказ 2091 Тираж 403 Подписное

BHHHIIH Государственного комитета по изобретениям и открьггиям при ГКНТ СССР

113035, Москва, Ж-35, Раушская наб., д. 4/5

Производственно-издательский комбинат "Патент", r. Ужгород, ул. Гагарина, 101

Устройство для контроля поверхностных микропотенциалов

Изобретение относится к области электронной микроскопии и может быть использовано для микроанализа поверхности твердых тел методом катодолюминесценции

Сканирующий туннельный микроскоп // 1564702

Изобретение относится к электронным приборам, предназначенным для исследования физических свойств поверхностей твердых тел с разрешающей способностью порядка размеров атома

Перемагничивающее устройство для термомагнитных исследований в просвечивающем электронном микроскопе // 1531182

Изобретение относится к электронной микроскопии и может быть использовано для исследования доменной структуры и измерения статических магнитных характеристик тонких магнитных пленок

Растровый туннельный микроскоп // 1471232

Изобретение относится к технике измерений и может использоваться для контроля структуры поверхностей

Счетчик аэроионов // 1469433

Изобретение относится к приборам для измерения концентрации легких ионов в воздухе производственных или общественных помещений и может быть применено в медицине, а также в различных отраслях народного хозяйства

Сканирующий туннельный микроскоп // 1453475

Изобретение относится к электронным приборам для исследования физических свойств поверхностей твердых тел

Электронный микроскоп // 1415269

Способ наблюдения цмд-структур // 1396025

Изобретение относится к области исследования материалов с помощью радиационных методов и может быть использовано для получения изображения доменносодержащих материалов

Способ электронномикроскопического анализа намагниченности магнитной ленты // 1307491

Изобретение относится к области электронной микроскопии и может быть использовано для исследования магнитных полей на магнитных лентах.Цель - расширение функциональных возможностей способа электронно-микроскопического анализа намагниченности магнитной ленты за счет визуализации изображения магнитной сигналограммы, записанной на магнитной ленте

Способ юстировки электромагнитной зондоформирующей системы // 1307490

Изобретение относится к области микрозондовой техники и является усовершенствованием известного способа юстировки электромагнитной зондофор

Зондирующий эмиттер для сканирующего туннельного микроскопа // 2117359

Способ и устройство для анализа состава дна углублений // 2123178

Сверхвысоковакуумная транспортная система для сканирующих зондовых микроскопов // 2158454

Изобретение относится к нанотехнологическому оборудованию, к устройствам, обеспечивающим транспортировку и установку зондов и образцов в позиции измерения и функционального воздействия

Способ и устройство контроля и исследования поверхности внутри ядерных и термоядерных установок // 2169954

Изобретение относится к ядерной технике, в частности к исследованию материалов, подвергающихся воздействию радиации

Способ получения панорамного изображения в растровом электронном микроскопе // 2181515

Изобретение относится к способам получения изображений в растровой электронной микроскопии

Устройство управления скоростью сканирования туннельного микроскопа // 2269803

Изобретение относится к сканирующей туннельной спектроскопии и может быть использовано в зондовых микроскопах и приборах на их основе

Наконечник держателя и сетка для электронной томографии // 2300822

Изобретение относится к области научного приборостроения и может быть использовано при выпуске просвечивающих электронных микроскопов

Нанотехнологический комплекс // 2308782

Изобретение относится к нанотехнологическому оборудованию и предназначено для замкнутого цикла производства новых изделий наноэлектроники

Электронный микроскоп // 2313850

Изобретение относится к микробиологии и может применяться при профилактике инфекционных болезней

Сверхвысоковакуумная транспортная система // 2380785

Изобретение относится к вакуумной технике и предназначено для проведения операций по перемещению объектов внутри вакуумных систем