Устройство для контроля глубины травления металлической пленки

 

Изобретение относится к гальванотехнике. Целью изобретения является увеличение точности измерений путем регистрации глубины при неполном стравливании металла. Устройство включает подложку 1 с нанесенной на нее послойно резистивной пленкой 2 и металлической пленкой 3, выполненной в виде клина. К выводам пленок подсоединен измерительный прибор 4. Устройство устанавливают в ванну травления рядом с обрабатываемым образцом. Травителем постепенно удаляют металлическую пленку 3, при этом вскрывается большая площадь резистивной пленки 2. Общее сопротивление цепи увеличивается, что регистрируется прибором 4, т.к. последовательно к очень маленькому сопротивлению металлической клинообразной пленки 3 подключено растущее в процессе травления сопротивление резистивной пленки 2. По результату судят о глубине травления. Конструкция устройства за счет линейного закона изменения сопротивления различных металлов обеспечивает высокую чувствительность и точность определения толщины стравливаемых пленок. 1 ил.

СОЮЗ СОВЕТСКИХ

СОЦИАЛИСТИЧЕСКИХ

РЕСПУБЛИК (19! (11) (51) 5 С 23 F 1/08

ОПИСАНИЕ ИЗОБРЕТЕНИЯ

К ABT0PCH0MV СВИДЕТЕЛЬСТВУ

3 »

ГОСУДАРСТВЕННЫЙ НОМИТЕТ

ПО ИЗОБРЕТЕНИЯМ И ОТКРЫТИЯМ

ПРИ ГКНТ СССР (21) 4616042/31-02 (22) 05.12.88 (46) 15.08.90..Бюл. М 30 (71) Львовский политехнический институт им.Ленинского комсомола (72) З.Ю.Готра, Ю.Т.Лозинский и Л.А.Орел (53) 621.794.41 (088.8) (56) Авторское свидетельство СССР и 578367, кл. С 23 F 1/08, 1978.

Заявка Японии Ю 58-16073, кл. С 23 F 1/00, 1983. (54) УСТРОЙСТВО ДЛЯ КОНТРОЛЯ. ГЛУБИНЫ

ТРАВЛЕНИЯ МЕТАЛЛИ4ЕСКОЙ -ПЛЕНКИ (57) Изобретение- относится к iгальванотехнике. Цель изобретения - увеличение точности измерений путем регистрации глубины при неполном стравливании металла. Устройство включает подложку 1 с нанесенной на нее послойно резистивной пленкой 2 и ме2 таллической пленкой 3, выполненной в виде клина. К выводам пленки подсоединен измерительный прибор 4. Устройство устанавливают в ванну травления рядом с обрабатываемым образ" цом. Травителем постепенно удаляют металлическую пленку 3, при этом вскрывается все большая площадь резистивной пленки 2. Общее сопротивление цепи увеличивается, что регистрируется прибором 4, т.к. последовательно к очень маленькому сопротивлению металлической клинообразной пленки 3 подключено растущее в процессе травления сопротивление резистивной пленки 2. Оо результату судят о глубине травления. Конструкция устройства за счет линейного закона изменения сопротивления различных метал" лов обеспечивает высокую чувствительность и точность определения толщины стравливаемых пленок. 1 ил.

3 1585383 ф

Формула изобретения

Составитель В.Комраков

Редактор И.Петрова Техред Л.олийнык КорректорИ.Иаксимишинец

Заказ 2306 Тираж 828 Подписное

ВНИИПИ Государственного комитета по изобретениям и открытиям при ГКНТ СССР

113035, Москва, Ж-35, Раушская наб., д. 4/5

Производственно-издательский комбинат "Патент", r. Ужгород, ул. Гагарина,101

Изобретение относится к гальванотехнике, в частности к устройствам для контроля глубины травления пленочных металлических покрытий.

Цель изобретения - увеличение точности измерений и повышение чувствительности путем регистрации глубины при неполном стравливании металла,, На чертеже изображено данное устройство.

Устройство для контроля глубины . травления металлической пленки включает подложку 1, на которую послойно нанесена резистивная пленка 2, а за.тем металлическая пленка 3, выполненная в виде клина. К выводам пленок подсоединен измерительный прибор 4: один вывод - к краю резистивной пленки 2, а другой - к протйвоположному краю металлической пленки 3, Устройство работает следующим образом.

Устройство устанавливают в ванну химического травления рядом с обрабатываемым образцом. Травителем постепенно удаляют металлическую пленку 3, при этом вскрывается все бопьшая площадь резистивной пленки 2.

Общее сопротивление в цепи измерительного прибора 4 увеличивается, так как последовательно к очень маленькому сопротивлению металлической клинообразной .пленки 3 подключено растущее в процессе травления. сопротивление резистивной пленки 2. По результату судят о глубине травления металлической пленки 3.

Использование устройства для контроля глубины травления различных металлов (никель, медь, ванадий и др.) показало, что закон изменения сопро-. тивления в цепи в зависимости от времени травления практически линеен, т.е. высокая чувствительность и точность обеспечивается во всем интервале толщин и травление пленок может

15 быть проведено до любого заранее заданного значения толщины.

Устройство для контроля глубины травления металлической пленки, содержащее подложку с нанесенными на нее последовательно резистивной и контролируемой металлической пленка25 ми и регистрирующий прибор, о т л ич а ю щ е е с я тем, что, с целью увеличения точности измерений и повышения чувствительности путем регистрации глубины при неполном стравливании металла, контролируемая пленка выполнена в виде клина,а регистрирующий прибор выполнен в виде изме- рителя сопротивления, включенного между резистивной и металлической пленками.