Криоадсорбционный насос

 

Изобретение относится к вакуумной технике, в частности к криоадсорбционным насосам. Целью изобретения является увеличение ресурса работы насоса за счет улучшения условий теплообмена между адсорбентом (А) и криогенным элементом (Э). При пропускании хладагента через трубки 9, 10 и канал 8, образованный просверленными в теле Э 1 отверстиями, происходит его захолаживание, а также захолаживание хладовводов (ХВ) и А, слои которого, чередуясь с дисками ХВ, расположены на боковой поверхности Э 1 и прижаты к фланцу, находящемуся в нижней части Э 1. Для улучшения теплового контакта боковая поверхность Э 1 и отверстия ХВ предварительно облужены. Слои волокнистого А воспринимают давление 4 кг/см<SP POS="POST">2</SP>, создаваемое гайкой 6. Радиационный экран 3, соединенный с надежным тепловым контактом с отводящей трубкой 10 защищает насос от теплового излучения со стенок откачиваемой камеры, к которой насос присоединяется при помощи фланца 2. Данная конструкция позволяет получить эффективное охлаждение А благодаря надежному обеспечению высокотеплопроводного контакта между Э 1 и ХВ и между ХВ и слоями А. 1 з.п. ф-лы, 2 ил.

С(:НОЗ СОВЕТСКИХ

СОЦИАЛИСТИЧЕСКИХ

РЕСПУБЛИК (51)5 F 04 В 37 02

ОПИСАНИЕ ИЗОБРЕТЕНИЯ

Н АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ

Фиг. /

ГОСУДАРСТВЕННЫЙ КОМИТЕТ

flO ИЗОБРЕТЕНИЯМ И ОТКРЫТИЯМ

ПРИ ГКНТ СССР

1 (21) 4639903/25-29 (22) 05.12.88 (46) 30.10.90. Бюл. № 40 (71) Научно-исследовательский, проектноконструкторский и технологический институт тяжелого машиностроения Харьковского завода <Электротяжмаш» им. В. И. Ленина (72) И. А. Циммерман (53) 621.527.8 (088.8) (56) Авторское с в идет ел ьство С С С Р № 1262103, кл. F 04 В 37/02, 1986.

„„SU„„1603049 А 1

2 (54) КРИОАДСОРБЦИОННЫЙ НАСОС (57) Изобретение относится к вакуумнои технике, в частности к криоадсорбционным насосам. Целью изобретения является увеличение ресурса работы насоса за счет улучшения условий теплообмена между адсорбентом (А) и криогенным элементом (Э).

При пропускании хладагента через трубки 9, 10 и канал 8, образованный просверленными в теле Э 1 отверстиями, происходит

1603049

Формула изобретения его захолаживание, а также захолаживание хладовводов (ХВ) и А, слои которого, чередуясь с дисками ХВ, расположены на боковой поверхности Э 1 и прижаты к фланцу, находящемуся в нижней части 1. Для улучшения теплового контакта боковая поверхность Э 1 и отверстия ХВ предварительно облужены. Слои волокнистого А воспринимают давление 4 кг/см, создаваемое гайкой 6. Радиационный экран 3, соединенный

Изобретение относится к вакуумной технике, в частности к криоадсорбционным насосам.

Цель изобретения — увеличение ресурса работы за счет улучшения условий теплообмена между адсорбентом и криогенным элементом.

На фиг. 1 представлен криоадсорбционный насос, продольны"; на фиг. 2— узел 1 на фиг. 1.

Криоадсорбционный насос включает криоэлемент 1, установленный на фланце 2 и окруженный радиационным экраном 3. На конической поверхности криоэлемента 1 размещены чередующиеся хладовводы 4 и слои волокнистого адсорбента 5 (например, КУТ вЂ” 2), которые прижаты друг к другу при помощи гайки 6 и шайбы 7 с усилием не менее 4 кг/см . В теле криоэлемента 1, имеющего форму усеченного конуса с углом при вершине не более 12 выполнены два глухих отверстия 8 так, что в верхней части они смыкаются, образуя канал охлаждения.

В отверстия 8 впаяны подводящая 9 и отводящая 10 трубки, через которые хладагент проходит в канал охлаждения, образованный отверстиями 8, и выходит из него. Радиационный экран 3 соединен надежным тепловым контактом с отводящей трубкой 10.

В нижней части криоэлемента 1 имеется фланец, служащий опорой для пакета хладовводов 4 и слоев адсорбента 5. Хладовводы 4 и слои адсорбента 5 имеют форму дисков с одинаковым внешним диаметром, равным диаметру опорного фланца криоэлемента и разные диаметры центральных отверстий. Причем, сложенные вместе они образуют стопу с внутренней конусной расточкой, имеющей конусность, равную конусности криоэлемента 1. В сборе хладовводы 4 и с надежным тепловым контактом с отводящей трубкой 10, защищает насос от теплового излучения со стенок откачиваемой камеры, к которой насос присоединяется при помощи фланца 2. Данная конструкция позволяет получить эффективное охлаждение А благодаря надежному обеспечению высокотеплопроводного контакта между Э 1 и ХВ и между ХВ и слоями А. 1 з.п. ф-лы, 2 ил. слои адсорбента 5 туго натянуты на конус криоэлемента 1 и спаяны с ним.

Криоадсорбционный насос работает следующим образом.

При пропускании хладагента через трубки 9, 10 и охлаждающий канал 8 криоэлемент 1 захолаживается и, благодаря надежному тепловому контакту происходит захолаживание хладоводов 4 и прижатого к хладоводам волокнистого адсорбента 5. После достижения адсорбентом 5 рабочей температуры насос начинает эффективно откачивать газ.

Процесс десорбции происходит при подаче через канал 8 нагретой жидкости или газа и сопутствующей этому откачке камеры

30 насоса внешним источником вакуумирования.

1. Криоадсорбционный насос, содержащий криоэлемент, размещенный на фланце, 35 и установленные на последнем чередующиеся между собой с тепловым контактом хладовводы и слои адсорбента, отличающийся тем, что, с целью увеличения ресурса работы за счет улучшения условий теплообме40 на между адсорбентом и криоэлементом, последний выполнен в виде усеченного конуса с углом при вершине не более 12, а хладовводы и адсорбент выполнены в виде пластин с центральными отверстиями разного диаметра, образующими внутрен45 нюю конусную расточку с конусностью, соответствующей конусности криоэлемента.

2. Насос по п. 1, отличающийся тем, что криоэлемент снабжен по меньшей мере двумя каналами охлаждения, выполненными в виде глухих отверстий, расположенных

50 под углом друг к другу и смыкающихся в верхней части.

1603049

Составитель К. Марьин

Редактор И. Сегляник Техред А. Кравчук Корректор М. Кучерявая

Тираж 495 Подписное

ВНИИПИ Государственного комитетд по изобретениям р тениям и отк ытиям при ГКНТ СССР

113035, Москва, Ж вЂ” 35, Раушская наб., д. 4/5

Производственно-издательский комбинат «Патент», r. Уж р д, у..

У го о, л. Гагарина, !О!