Электродуговой испаритель геттерного вакуумного насоса
Изобретение относится к вакуумной технике, а именно к электродуговым испарителям геттерных насосов. Цель изобретения - повышение надежности геттерного насоса за счет уменьшения тепловой нагрузки на магнитную систему его электродугового испарителя. При создании источником питания 3 разности потенциалов между катодом 1 и анодом 8 и инициирования дугового разряда происходит испарение материала катода 1 (геттера) и осаждение его на поверхности анода 8. Осажденные слои геттера являются сорбентом для молекул откачиваемого газа, поступающего в насос . Потенциал катода подводится через держатель 2 с расположенной в его полости магнитной системой 4 и упругие шайбы 6, находящиеся вблизи торцов катода и служащие также для компенсации изменения зазора 5 между держателем 2 и катодом 1 вследствие различия коэффициентов теплового расширения материалов катода 1, держателя 2 и шайб 6. Упругие шайбы 6 имеют радиальные прорези, расположенные по окружности и способствующие ускорению откачки кольцевого зазора 5 и увеличению термического сопротивления между катодом 1 и держателем 2. Электродуговой испаритель данной конструкции позволяет повысить надежность работы геттерного насоса за счет улучшения условий работы магнитной системы. 4 ил. О (Л
СОЮЗ СОВЕТСКИХ
СОЦИАЛ ИСТИЧЕСНИХ
РЕСПУБЛИК
А1
ÄÄSUÄÄ 1620672 (51)5 F 04 В 37 02
ОПИСАНИЕ ИЗОБРЕТЕНИЯ
ГОСУДАРСТВЕННЫЙ КОМИТЕТ
ПО ИЗОБРЕТЕНИЯМ И ОТНРЫТИЯМ
ПРИ ГКНТ СССР
К A ВТОРСКОЬЮ СВИДЕТЕЛЬСТВУ (21) 4633849/29 (22) 09.01.89 (46) 15.01.91. Бюл. № 2 (72) Д. А. Карпов и С. С. Турченко (53) 621.528.6 (088.8) (56) Авторское свидетельство СССР № 1345719, кл. F 04 В 37/02, 1987. (54) ЭЛЕКТРОДУГОВО! ИСПАРИТЕЛЬ
ГЕТТЕРНОГО ВАКУУМНОГО НАСОСА (57) Изобретение относится к вакуумной технике, а именно к электродуговым испарителям геттерных насосов. Цель изобретения — повышение надежности геттерного насоса за счет уменьшения тепловой нагрузки на магнитную систему его электродугового испарителя. При создании источником питания 3 разности потенциалов между катодом 1 и анодом 8 и инициирования дугового разряда происходит испарение материала катода 1 (геттера) и осаждение
2 его на поверхности анода 8. Осажденные слои гаттера являются сорбентом для молекул откачиваемого газа, поступающего в насос. Потенциал катода подводится через держатель 2 с расположенной в его полости магнитной системой 4 и упругие шайбы 6, находящиеся вблизи торцов катода и служащие также для компенсации изменения зазора 5 между держателем 2 и катодом 1 вследствие различия коэффициентов теплового расширения материалов катода !, держателя 2 и шайб 6. Упругие шайбы 6 имеют радиальные прорези, расположенные по окружности и способствующие ускорению откачки кольцевого зазора 5 и увеличению термического сопротивления между катодом 1 и держателем 2. Электродуговой испаритель данной конструкции позволяет повысить надежность работы геттерного насоса за счет улучшения условий работы магнитной системы. 4 ил.
1620672
Формула изобретения
Составитель К.Марьин
Редактор М. Бандура Техред А. Кравчук Корректор С. Шевкун
Заказ 4230 Тираж Подписное
ВНИИПИ Государственного комитета по изобретениям и открытиям при ГКНТ СССР
113035, Москва, Ж вЂ” 35, Раушская наб., д. 4/5
Производственно-издательский комбинат «Патент», г. Ужгород, ул. Гагарина, 101 з
Изобретение относится к вакуумной и напылительной технике, в частности к электродуговым испарителям металлов и сплавов, используемых в плазменных сорбционных насосах.
Цель изобретения — повышение надежности геттерного насоса за счет уменьшения тепловой нагрузки на магнитную систему его электродугового испарителя.
На фиг. 1 представлен предлагаемый электродуговой испаритель геттера, продольный разрез; на фиг. 2 — то же, вид сверху; на фиг. 3 — разрез А — А на фиг. 2 (разрез профиля упругих прорезных шайб); на фиг. 4 — разрез Б — Б на фиг. 2.
Испаритель содержит полый цилиндрический катод 1, выполненный из материала геттера и установленный на держателе 2, служащем токоподводом и электрически связанным с источником 3 питания. Во внутренней полости держателя 2 установлена магнитная система 4 стабилизации разряда, причем ее ось совпадает с осями держателя и катода 1. Между катодом 1 и держателем 2 имеется кольцевой зазор 5, образованный упругими прорезными шайбами 6, которые служат токопроводящими элементами, электрически связывающими держатель 2 и катод 1., Шайбы 6 имеют радиальные прорези 7, расположенные равномерно по окружности.
Испаритель работает следующим образом.
При создании с помощью источника пи.тания разности потенциалов между катодом 1 и анодом 8 специальным поджигающим устройством инициируется дуговой разряд, горящий в парах геттера в кольцевом пространстве, разделяющем катод 1 и анод 8. Пары геттера (обычно титана) осаждаются на охлаждаемую сорбционную поверхность анода 8 и сорбируют молекулы газа, попадающие в насос. Возникшие катодные пятна под действием магнитно4 го поля, создаваемого магнитной системой 4 стабилизации разряда, локализуются на рабочей поверхности катода 1, равномерно испаряя и нагревая его. Упругие шайбы 6, расположенные у торцов катода, создают
5 вакуумный кольцевой зазор 5, служащий для уменьшения теплового потока от нагретого дуговым разрядом катода 1 к держателю 2 и расположеной внутри него магнит-ной системой 4 и предохраняющий ее от пе1 регрева., Шайбы 6, служащие токопроводами от держателя 2 к катоду 1, благодаря упругим свойствам обеспечивают надежный электрический контакт между катодом 1 и держателем 2, компенсируя изменение за-. зора 5 при работе насоса, из-за различия
15 коэффициентов термического расширения материалов катода 1, держателя 2 и шайб 6.
Шайбы 6 имеют радиальные прорези 7 для обеспечения быстрой откачки полости кольцевого зазора 5, а также для увеличения
2О термического сопротивления между катодом 1 и держателем 2.
Применение электродугового испарителя данной конструкции позволяет повысить надежность его работы за счет уменьшения тепловой нагрузки на магнитную систе25 му 4 геттерного насоса.
Электродуговой испаритель геттерного вакуумного насоса, содержащий цилиндриЗО ческий катод с осевым отверстием, установленный на держателе, служащем токоподводом, и расположенную внутри нее магнитную систему стабилизации разряда, отличающийся тем, что, с целью снижения тепловой нагрузки на магнитную систему, катод отделен от подложки кольцевым вакуумным зазором, образованным прорезными упругими шайбами, установленными у торцов катода и служащими токопроводами.
