Устройство для измерения профиля концентрации примесей в полупроводниках

 

Устройство для измерения профиля концентрации примесей в полупроводниках, содержащее генератор, первый выход которого подключен к опорным входам первого и второго синхронных детекторов, причем первый выход первого синхронного детектора соединен с выходом первого избирательного усилителя, выход второго синхронного детектора подключен к первому входу блока сравнения, второй выход генератора соединен с первым входом первого сумматора, выход которого подключен к первому входу модулятора, выход которого соединен с входами выходного усилителя и первого фильтра, первый и второй выходы которого подключены соответственно к первому входу смесителя и сигнальному входу первого синхронного детектора, второй выход которого является первым выходом устройства, первый выход выходного усилителя соединен с первой клеммой для подключения полупроводника и первым выводом развязывающего резистора, второй вывод которого подключен к первому выходу блока смещения, второй выход выходного усилителя через блок компенсации соединен с входом линейного повторителя, второй клеммой для подключения полупроводника и первым выводом нагрузочного конденсатора, второй вывод которого подключен к общей шине, выход линейного повторителя соединен с входами второго и третьего избирательных усилителей, третий и четвертый синхронные детекторы, выходы которых являются соответственно вторым и третьим выходами устройства, источник постоянного напряжения, выход которого подключен к второму входу блока сравнения, выход которого соединен с вторым входом модулятора, при этом выход второго избирательного усилителя подключен к сигнальному входу второго синхронного детектора, выход смесителя соединен с вторым входом первого сумматора, отличающийся тем, что, с целью повышения точности и информативности измерений, в устройство введены второй и третий сумматоры, пятый и шестой синхронные детекторы, второй и третий фильтры, первый и второй фазовращатели, первый и второй переключатели, с первого по третий линейно регулируемые усилители, первый и второй нуль-органы, первый и второй формирователи квадратурных сигналов и делитель частоты, вход которого подключен к третьему выходу генератора, первые и вторые выходы делителя частоты соединены с соответствующими входами соответственно первого и второго формирователей квадратурных сигналов, первый выход первого формирователя квадратурных сигналов подключен к опорному входу пятого синхронного детектора, второй выход первого формирователя квадратурных сигналов соединен с опорным входом третьего синхронного детектора и входом второго фильтра, выход которого подключен к входу первого фазовращателя и сигнальному входу второго линейно регулируемого усилителя, управляющий вход и выход которого подключены соответственно к второму входу первого синхронного детектора и второму выводу развязывающего резистора, выход первого фазовращателя соединен с сигнальным входом первого линейно регулируемого усилителя, выход которого соединен с первым входом первого переключателя, выход которого и выход первого избирательного усилителя подключены к первому и второму входам второго сумматора, выход которого соединен с сигнальными входами третьего и пятого синхронных детекторов, вход первого нуль-органа подключен к выходу третьего синхронного детектора, выход первого нуль-органа соединен с управляющим входом первого линейно регулируемого усилителя и является четвертым выходом устройства, вход второго нуль-органа подключен к выходу четвертого синхронного детектора, выход второго нуль-органа соединен с управляющим входом третьего линейно регулируемого усилителя и является пятым выходом устройства, первый выход второго формирователя квадратурных сигналов подключен к второму входу смесителя, опорному входу четвертого синхронного детектора и входу третьего фильтра, выход которого через второй фазовращатель соединен с сигнальным входом третьего линейно регулируемого усилителя, выход которого соединен с первым входом второго переключателя, выход которого и выход третьего избирательного усилителя соединены с первым и вторым входами третьего сумматора, выход которого подключен к сигнальным входам четвертого и шестого синхронных детекторов, вторые входы переключателей объединены и подключены к общей шине, второй выход второго формирователя квадратурных сигналов соединен с опорным входом шестого синхронного детектора, выходы пятого и шестого синхронных детекторов и второй выход блока смещения являются соответственно с шестого по восьмой выходами устройства.