Способ контроля качества фоторезиста в виде жидкого рыбного клея

 

Изобретение относится к способам контроля качества фоторезиста в виде жидкого рыбного клея особых кондиций . Цель изобретения - повышение точности контроля. Для этого пробу анализируемого жидкого рыбного клея особых кондиций гидролизуют, гидролизат нейтрализуют раствором щелочи, окисляют образовавшийся оксипролин до пиррола, добавляют раствор изатина , е ютометрируют полученный окрашенный раствор при длине волны 490 нм и определяют содержание коллагена в пробе, по которому судят о качестве фоторезиста. 1 табл. а 9

СОЮЗ СОВЕТСКИХ

СОЦИАЛИСТИЧЕСКИХ

РЕСПУБЛИК

ug) (l1) (5))5 Г 01 N 21 78

ОПИСАНИЕ ИЗОБРЕТЕНИЯ

Н А ВТОРСХОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ

2500

V = Ml а Ь ° 9,1

ГОСУДАРСТВЕННЫЙ НОМИТЕТ

ПО ИЗОБРЕТЕНИЯМ И OTHPbfTHRM

ПРИ ГКНТ СССР,(21) 4618503/25 (22) 12.12.88 (46) 23.06.91. Бюл. Р 3 (71) Львовский политехнический институт им. Ленинского комсомола и Производственное объединение "Кинескоп" им.ХХЧТ съезда КПСГ (72) В.И.Шевчук, 11.ц. едевич, В.М.)Кизневский, Б. Г.Hалкиель, Е.И.Онищак и Д.И.Зубач (53) 543.42(088.8) (56) Аналитическая химия полимеров./

/ Под ред. Клайна Г. — И. . Иностранная литература, 1963, т.1, с,296-297.

ОСТ 15-146-76 ">(идкий рыбный клей особых кондиций".

Изобретение относится к способам контроля качества фоторезиста в виде жидкого рыбного клея особых кондиций, который используется в электронной промышленности дня изготовления планшетов теневых масок цветных кинескопов.

Целью изобретения является повышение точности контроля качества фоторезиста в виде жидкого рыбного клея особых кондиций.

Способ осуществляется следующим образом.

Пробу анализируемого жидкого рыбного клея особых кондиций подвергают кислотному гидрапиэу, гидролиэат нейтрализуют раствором щелочи, окис1 ляют образовавшийся оксипрачин до

2 (54) СПОСОБ КОНТРОЛЯ КАЧЕСТВА Ф1ТОРБВистА в видк тащкого Ривного клкя (57) Изобретение относится к способам контроля качества фоторезиста в виде жидкого рыбного клея особых кондиций. Цель изобретения — повышение точности контроля. Лля этого пробу анализируемого жидкого рыбного клея особых кондиций гидролизуют, гидролизат нейтрализуют раствором щелочи, окисляют образовавшийся оксипролин до пиррола, добавпяют раствор изатина, фотометрируют полученный окрашенный раствор при длине волны

490 нм и определяют содержание коллагеиа в пробе, по которому судят о качестве фоторезиста. 1 табл. пиррола, добавляют раствор изатина, фотометрируют полученный окрашенный раствор при длине волны 490 нм и определяют количество коллагена в жидком рыбном клее особых кондиций, по содержанию которого судят о качестве клея как фоторезиста.

Пример. Навеску жидкого рыбного клея особых кондиций 1,0-1,5 г, содержащего 34-44% сухих веществ, гидролизуют 6 н, НС1. Гидролиэат фильтруют, фильтрат нейтрализуют 6 н. раствором едкого натра, используя рН-метр. Нейтрализованный гицролизат переносят в мерную колбу и доьодят до 50 мл водой.

К рассчитанному по формуле

1 658046 где а — навсска жидкого рыбного клея, г;

b — процентное содержание сухих веществ;

9,1 — теоретическое процентное содержание оксппролина в жидком рыбном клее особых конm

7. коллагена = — — 100

m о

Формул а изобретения

Способ контроля качества фоторезиста в виде жидкого рыбного клея, отличающийся тем, что, с целью повьппения точности контроля, пробу клея гидролизуют, гидролиэат фильтруют, нейтрализуют раствором щелочи, окисляют полученный оксипролин пероксидом водорода, добавляют раствор изатина, фотометрируют полученный окрашенный раствор при длине волны 490 нм и вычисляют со- держание коолагена в пробе, по которому судят о качестве фоторезиста.

ОптичесСоцеркаиие окСухой остаток, Х

Содержание колПартия кая сипроли- лагеиа, плотиост гидролиаатов на, мг

0,189

О, 345

0,374

0,422

0,377

0,367

0,215

0,392

0>424

0,465

0,428

0,417

42,90

78,32

84,90

93,00

85,58

83,31

39,29

40,31

39,68

39,80

40,02

39,12

Составите Ib В.огинский

Редактор Т.Иванова Техред Х;.Сердюкова

Корректор Н.Ревская

Заказ 2431 Тираж 418 Подписное

ВНИИПИ Государственного комитета по изобретениям и открытиям при ГКНТ СССР

113035, Москва, Ж-35, Раушская наб., д. 4/5

°

Производственно-издательский комбинат "Патент", г.ужгород, ул. Гагарина,101 диций j

2500 — коэффициент пересчета с учетом "одержания 0,5 мг оксипронина в объеме гидролиэата, объему нейтрализованного гидролиэата жидкого рыбного клея особых кондиций, содержащему 0,5 мг оксипролина, добавляют по 1 мл 0,01/-ного раствора

CuS04 1О/-ного раствора БаОН и 10/thoro раствора 11 0, Полученную смесь встряхивают 3 мин и еще 5 мин нагревают на кипящей водяной бане, охлаждают, добавляют 0,5 мл 6 н. НС1 и доводят водой до 10 мл.

К 3,5 мп полученного раствора добавляют по 3,5 мп 0,01/-ного свежеприготовленного раствора изатина в воде и 2 í. НС1. Смесь кипятят 8 мин на водяной бане, охлаждают, разбавляют водой до 35 мл и фотометрируют,,пользуясь светофильтром с пропуска, нием 490 нм. Одновременно проводят холостой опыт: к 3,5 мп раствора пиррола добавляют по 3,5 мл свежеприготовленного 0,01/-ного раствора иэатнна в воде и 2 н. НС1. Через 8 мин разбавляют водой до 35 ип.

По калибровочному графику находят

35 количество оксипролина в образце жидкого рыбного клея особых кондиций.

Процентное содержание коллагена в этом образце рассчитывают по формуле где m — количество оксипиролина в

t образце жидкого рыбного клея, найденное по калибровочному графику, мг;

m — теоретическое содержаниеоко сипролина в образце жидкого рыбного клея в пересчете на

100/-ный коллаген, мг.

Результаты проведенных анализов различных партий жидкого рыбного клея особых концентрация приведены в таблице.

Из таблицы видно, что содержание коллагена, определенное по оксипролину в различных партиях жидкого рыбного клея особых кондиций, разное и только 4-я партия рыбного клея по содержанию коллагена (93Х) приближается к 96,5/, т.е. требованию, предьявляемому к качеству фоторезиста.