Изобретение относится к массспектрометрии и может быть использовано для элементного и фазового послойного анализа кристаллических твердых тел. Цель изобретения - повышение точности и чувствительности - достигается тем, что послойное распыление мишени ионами осуществляют в диапазоне углов 1-5° к поверхности мишени, в диапазоне энергии, верхний предел которой ниже порога распыления атомов поверхности мишени вдоль нормальной составляющей их скорости , при этом в ходе распыления мишень равномерно вращают относит льно оси, нормальной к поверхности распыления. Отбор для масс-анализа вторичных частиц осуществляют по азимуту в угловом интервале 85 i 5 к направлению бомбардирующего пучка. Перед анализом осуществляют предварительную обработку поверхности тем же пучком до R2 0,05 мкм, где R 2. - шероховатость поверхности. Рассеянные и распыленные частицы пространственно разделены, вследствие чего увеличивается .отношение сигнала к фону, а такж. обеспечивается возможность в равных условиях определять концентрацию примесей, находящихся не только в узлах кристаллической решетки, но и а ее междоузлиях. 1 з „ п. ф-лы, 1 ил, о го эо
Похожие патенты:
Изобретение относится к приборостроению , в частности к масс-спектрометрии, и может быть использовано для контроля процессов , протекающих с выделением газовой / / V фазы
Изобретение относится к производству полупроводниковых приборов и микросхем и может быть использовано при разрушающих методах контроля влажности внутри корпусов интегральных схем
Изобретение относится к масс-спектрометрическим методом определения качественного и количественного состава газовых смесей, содержащих нейтральную и заряженную компоненты, и может быть применено в аналитических целях при исследовании пламени, в плазмохимии, в кинетических исследованиях и для мониторинга окружающей среды
Изобретение относится к экспериментальным методам молекулярной физики и может быть использовано для измерения скоростей частиц в молекулярных пучках и направленных молекулярных потоках
Изобретение относится к лазерной масс-спектрометрии и может быть использовано для многоэлементного анализа вещества
Изобретение относится к масс-спектрометрии и предназначено для использования в качестве детектора ионов в квадрупольных масс-спектрометрах
Изобретение относится к лазерной масс-спектрометрии и может быть использовано для многоэлементного анализа вещества
Изобретение относится к масс-спектрометрии и может быть использовано для высокочувствительного определения состава поверхностных загрязнений кремниевых пластин и структур Цель изобретения - повышение чувствительности и точности определения Предлагаемый способ включает предварительную химическую обработку поверхности путем нанесения и локализации минимального количества фтористо-водородной кислоты с последующим испарением и ионизацией вещества сухого остатка, регистрацией масс-спектра и обработкой данных
Изобретение относится к способам масс-спектрометрических изотопных измерений и предназначено для применения в рубидий-стронциевом методе определения абсолютного возраста горных пород и минералов
Изобретение относится к области аналитического приборостроения
Изобретение относится к области аналитического приборостроения
Изобретение относится к приборостроению, в частности - к масс-спектрометрам, и может быть использовано для газового анализа в металлургии, экологии, медицине, электронной промышленности и других отраслях
Изобретение относится к электрофизике, в частности к системам, служащим для разделения изотопов, например, для разделения тяжелых изотопов
Изобретение относится к приборостроению, в частности к масс-спектрометрии, и может быть использовано для контроля процессов, протекающих с выделением газовой фазы, например, в черной и цветной металлургии
Изобретение относится к ядерной технике, а более конкретно касается разделения заряженных частиц и выделения изотопов из их естественной смеси
