Способ измерения концентрации гелия в газовых смесях

 

Изобретение относится к анализу газовых сред и может быть использовано при контроле герметичности различных объемов в научных исследованиях ив производственных условиях. Цель изобретения заключается в повышении точности измерения концентрации гелия в газовых смесях и упрощении способа измерения. Цель достигается с помощью использования чистого гелия в качестве образца сравнения и использования мембран, селективно проницаемых для гелия, для напуска образца сравнения и .анализируемой смеси.

СОЮЗ СОВЕТСКИХ

СОЦИАЛИСТИЧЕСКИХ

РЕСПУБЛИК

ГОСУДАРСТВЕННЫЙ КОМИТЕТ

ПО ИЗОБРЕТЕНИЯМ И ОТКРЫТИЯМ

ПРИ ГКНТ СССР

ОПИСАНИЕ ИЗОБРЕТЕН И Я

К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ (21) 4704464/21 (22) 14.06.89 (46) 30.01.92. Бюл. М 4

P2) В.П.Смирнов и С.A,Каэакевич

{53) 62";.384(088.8) (56) Анализ неорганических газо „C6. пленарных докладов Всесоюзной конференции по анализу неорганических газов. Л.:

Наука, 1983, с,14, Зажигин А.С. Средсгва контроля герметичности, M.: Машиностроение, 1978, с.107. (54) СПОСОБ ИЗМЕРЕНИЯ KOHLIEHTPAЦИИ ГЕЛИЯ В ГАЗОВЫХ СМЕСЯХ

Изобретение относится к масс-спектрометрии и может быть г;рименено для определения содержания гелия г- газовых смесях, Целью изобретения является упрощение технологии контроля концентрации гелия и повышение точнос и измерений.

Указанная цель достигается тем, -гго в качестве эталонной смеси используется чистый гелий, который всегда имеется на рабочих местах. Напуск проверяемой смеси и чистого гелия в течеискатель производится через отдельные натекатели селективно проницаемые по гелию, при этом подбирается такое соотношение пропускных способностей, чтобы оно не .отличалось от соотношения чистого гелия к измеряемой концентраци t более чем в 2 раза.

Зто позволяет производить измерение концентрации со снятием показаний течеискателя в пределах одного диапазона шкалы, что обеспечивает необходимую точность измерений (при использовании различных диапазонов шкалы в процессе измерений точность уменьшается из-эа присущей тече„„. Ж „„1709203 A l (я)з 6 01 N 27/62, Н 01 J 49/26 (57) Изобретение относится к анализу газовых сред и может быть использовано при контроле герметичности различных объемов в научных исследованиях и в производственных условиях. Цель изобретения заключается в повышении точности измерения концентрации гелия в газовых смесях и упрощении способа измерения. Цель достигается с помощью использования чистого гелия в качестве образца сравнения и использования мембран, селективно проницаемых для гелия, для напуска образца сравнения и,анализируемой смеси. искателю непропорциональности сигнала в различных диапазонах, Равенство давлений в масс-спектрометрической камере обеспечивается автоматически, так как напуск чистого гелия и проверяемой смеси в течеискатель производится при атмосферном давлении через фторопластовую пленку типа Ф4МБ, которая практически непроницаема для всех газов, кроме гелия, Способ осуществляют следующим образом.

Натекатели для чистого гелия и проверяемой смеси продуваются воздухом и фиксируют нулевой сигнал течеискателя ag.

После этого в течение 50 — 60 с продувается натекатель с меньшей проницаемостью чистым гелием с избыточным давлением 0,05+ 0,1 кгс/см, Через 5 — 10 с после продувки г фиксируется сигнал на чистый гелий ан<.

Повторно продувается этот натекатель воздухом в течение 1 — 2 мин и фиксируется

/ нулевой сигнал ао. После этого в течение

50 — 60 с продувается другой натекатель проверяемой смесью давлением 0,05.0,1 кгс/см

Составитель В, :. y! IÎßÂÖ88

Те«рад М.ГЛоргентэл Корректор Т. Палий

I" дактор 1О. 68fl8>$8

Д чз -- 1 Тираж Подписное

PP NI4IfiN Госудзрсп. Энного комитета по,изобретениям и открытиям при ГКЧ 1 СССР

11,%35. Москва, Ж-35, Рэушскэя наб., 4/5

Прои:Водственно-издательский комбинат "- :патент", г, Ужгород, ул.Гагарина, 161 и через 5 - 10 с фиксируется сигнал течеискателя ах, Определяемая концентрация подсчитывается l|Q формуле

Ox — Я)

Сx э

ОНе ОО

Где Э вЂ” КОЗффИЦИЕНт, ЗЭВИСЯЩИй От ПГОПУскных способностей натекателей.

3гот коэффициент определя8тся В проЦессе предвэрительнОЙ калибрОВки ОднОГс изделия из партии путем подачи изВестных эталонных смесей и чистого гелия, ПредлаГаемый способ позволЯет Оп8рэтивно проводить в условиях производства

ooiьектиВный и flpGcioA контроль концентрации Гелия в смесях с обеспечением точносТА измергl;Ma нр хуже + 10 $

СпосОб может быть реализоВэн при HBпуске смесей Через натекатель в виде фторопластовой пленки Ф4МБ толщиной

100 мкм со след лощей площадью натекания для (0,6+2,2) Д вЂ” (600 + 635) мм, для (2,2 8)% — (160 +175) мм - д у (8 — 30)бж — (45—

47,5) мм, при этом площадь натекания чиСТОГО ГЕЛИЯ СОСТЭВЛЯВТ " 7 ММ, Зкономический эФФект от использования 1ред:":эгаемого способа создается зэ счет снижения трудоемкости процесса измерения концентрации гелия, вследствие исключения работ по приготовлению эталонных смесей и их постановку на произ5 водственные участки, а также эа счет сокращения затрат HB повторные испыта" ния изделий, обусловленное повышением точности измерении концентрации гелия в рабочих смесях.

10 формула изобретения

Способ измерения концентрации гелия в газовых смесях путем поочередного напу15 с«а проверяемой смеси и образца сравнения в масс-спектрометр, сравнения показаний,отлич э 10щи Йсятем,что,c целью упрощения способа И повышения тсчности измерений, в качестве образца

20 сравнения использу от чистый гелий. а напуск газов в масс-спектрометр осуществляют через селективные прсницаемые по гелию элементы с различной пропускной способностью, причем потоки газа через них уста15 нэвливэют с соотнош8нием, Отличэ1ощимся л соотношения измеряемой концентрации и чистогб гелия не более чем в два раза.

Способ измерения концентрации гелия в газовых смесях Способ измерения концентрации гелия в газовых смесях 

 

Похожие патенты:

Изобретение относится к массспектрометрии и может быть использовано для элементного и фазового послойного анализа кристаллических твердых тел

Изобретение относится к приборостроению , в частности к масс-спектрометрии, и может быть использовано для контроля процессов , протекающих с выделением газовой / / V фазы

Изобретение относится к производству полупроводниковых приборов и микросхем и может быть использовано при разрушающих методах контроля влажности внутри корпусов интегральных схем

Изобретение относится к масс-спектрометрическим методом определения качественного и количественного состава газовых смесей, содержащих нейтральную и заряженную компоненты, и может быть применено в аналитических целях при исследовании пламени, в плазмохимии, в кинетических исследованиях и для мониторинга окружающей среды

Изобретение относится к экспериментальным методам молекулярной физики и может быть использовано для измерения скоростей частиц в молекулярных пучках и направленных молекулярных потоках

Изобретение относится к лазерной масс-спектрометрии и может быть использовано для многоэлементного анализа вещества

Изобретение относится к масс-спектрометрии и предназначено для использования в качестве детектора ионов в квадрупольных масс-спектрометрах

Изобретение относится к лазерной масс-спектрометрии и может быть использовано для многоэлементного анализа вещества

Изобретение относится к масс-спектрометрии и может быть использовано для высокочувствительного определения состава поверхностных загрязнений кремниевых пластин и структур Цель изобретения - повышение чувствительности и точности определения Предлагаемый способ включает предварительную химическую обработку поверхности путем нанесения и локализации минимального количества фтористо-водородной кислоты с последующим испарением и ионизацией вещества сухого остатка, регистрацией масс-спектра и обработкой данных

Изобретение относится к газовому анализу и предназначено для высококочувствительного селективного детектирования зминов гидразинов и их производных в газовых смесях

Изобретение относится к способам неразрушающего контроля

Изобретение относится к технике измерений физико-химических характеристик материалов

Изобретение относится к газовой хроматографии

Изобретение относится к физико-химическим методам анализа и может быть использовано для контроля сверхчистых оптических материалов на основе монокристаллов фторидов щелочно-земельных металлов (ЩЗМ)

Изобретение относится к исследованиям направленных ионизированных потоков газовой среды и может быть использовано для определения характеристики газовой среды-коэффициента подвижности заряженных частиц при расчете и проектировании электрофильтров и других аналогичных устройств, основанных на использовании коронного разряда

Изобретение относится к масс-спектроскопии и может быть использовано в квадрупольных (монопольных) масс-спектрометрах для измерения и индикации параметров масс-спектров

Изобретение относится к измерению парциального давления газов, в частности фтора в насыщенных парах сложного состава, и может быть использовано при контролировании высокотемпературных процессов, в частности в МГД-генераторах, плазмохимии, а также в аналитических целях

Изобретение относится к области аналитической химии, в частности к способам анализа примесей веществ в газе, основанным на ионной подвижности
Наверх