Вакуумная камера

 

Использование: в вакуумных камерах магнитронно-импульсных, плазменных и ионных установок. Сущность изобретения: вакуумная камера содержит створку 1 с опорными роликами, закрепленные на камере направляющие 9 и 10, уплотнительные элементы и фиксатор. Направляющие 9 и 10 выполнены составными из продольной со скругленными концами и поперечной частей , имеющих призматический профиль, а фиксатор - в виде шариков. В средней части продольной части направляющей образован паз, размеры которого превышают габариты опорных роликов, а в приторцовых зонах - вырезы 17. 9 ил.

СОЮЗ СОВЕТСКИХ

СОЦИАЛИСТИЧЕСКИХ

РЕСПУБЛИК (я)5 Е 06 В 3/46

ГОСУДАРСТВЕННЫЙ КОМИТЕТ

ПО ИЗОБРЕТЕНИЯМ И ОТКРЫТИЯМ

ПРИ ГКНТ СССР

ОПИСАНИЕ ИЗОБРЕТЕНИЯ

К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ

26 (21) 4779735/33 (22) 08.01.90 (46) 30.06,92. Бюл. ¹ 24 (71) Сибирский химический комбинат (72) А.В.Зюзин, Е.H.Ìóðàíîâ и И.А.Фалин (53) 69.028.12(088,8) (56) Авторское свидетельство СССР

¹ 1483038, кл. Е 06 В 3/46, 1989. (54) ВАКУУМНАЯ КАМЕРА (57) Использование: в вакуумных камерах магнитронно-импульсных, плазменных и ионных установок. Сущность изобретения:

ЫЛ 1744229 А1 вакуумная камера содержит створку 1 с опорными роликами, закрепленные на камере направляющие 9 и 10, уплотнительные элементы и фиксатор. Направляющие 9 и 10 выполнены составными из продольной со скругленными концами и поперечной частей, имеющих призматический профиль, а фиксатор — в виде шариков. В средней части продольной части направляющей образован паз, размеры которого превышают габариты опорных роликов, а в приторцовых зонах — вырезы 17. 9 ил.

1744229

Изобретение относится к конструкциям вакуумных камер и может быть использовано в вакуумных камерах MBIHMTpoHHQ-èìпульсных, плазменных и ионных установок.

Целью изобретения является улучшение эксплуатационных качеств.

На фиг.1 изображена вакуумная камера, общий вид; на фиг.2 — вид А на фиг.1; на фиг,3 — узел! на фиг,2; на фиг.4 — сечение

Б — Б на фиг.2 (створка в открытом положении); на фиг.5 — то же (створка в закрытом положении); на фиг. 6 — сечение  — В на фиг,1; на фиг,7 — створка в крайнем левом положении; на фиг.8 — сечение à — Г на фиг.7; на фиг.9 — створка в откинутом положении.

Вакуумная камера содержит створку 1, состоящую из смотрового стекла 2, рамы 3, выполненной заподлицо со стеклом 2, ручек

4 для перемещения створки, На створке 1 винтами 5 закреплен кронштейн 6,с винтом регулировки 7 фиксирующего шарика 8 в составных направляющих 9, 10. Составная направляющая 9 с кронштейном 6, закрепленным на створке 1 вверху, винтом регулировки фиксирующего шарика 8 и опорными роликами идентична составной направляющей 10 с аналогичными элементами внизу.

Составные направляющие 9, 10, выполнены из продольной 11 и поперечной 12 частей, имеющих призматический профиль, причем продольная призматическая часть

11 имеет скругленные концы 13, соответствующие радиусу фиксирующего шарика 8, в средней части, внизу, образован паз 14, размеры которого превышают габаритные размеры опорных роликов 15, 16, а в приторцевых зонах вырезы 17, размеры которых равны половине габаритных размеров опорных роликов 15, 16, Составные направляющие 9, 10 закрепляются на корпусе камеры 18 винтами 19, Фиксация створки 1 в среднем положении осуществляется с помощью фиксирующего шарика 20, пружины

21, винта регулировки 22 поджатия шарика

20 и канавки 23 в корпусе камеры 18, По периметру корпуса камеры 18 размещен элемент 24 уплотнения, а по бокам шарнирно установлены откидные винты 25 с рычажными гайками 26, соответственно на створке 1 приварены уши 27 с пазами под откидные винты 25.

Устройство работает следующим образом.

Для закрытия вакуумной камеры за ручку 4 перемещают створку 1 вправо-влево, в зависимости от ее положения относительно проема 28 корпуса камеры 18. Фиксирующий шарик 8 перемещается в составных направляющих 9, 10, имеющих призматический профиль, обеспечивая гарантирован5

50 ный точечный контакт уплотнительного элемента 24 со створкой 1. При этом опорные ролики 15, 16 катятся по корпусу камеры 18.

При достижении створкой 1 центрального положения фиксирующий шарик 20 под действием пружины 21 устанавливается в канавку 23 корпуса камеры 18.

Устанавливаются откидные винты 25 в пазы ушей 27 створки 1 и разжимается уплотнительный элемент 24, поджимая створку 1 к корпусу камеры 18 рычажными гайками 26, создавая первоначальный натяг. При этом опорные ролики 15, 16 входят в паз 14, размеры которого превышают габаритные размеры опорных роликов 15, 16.

Фиксирующий шарик 8 перемещается в поперечной части 12 направляющей 9, 10, имеющей призматический профиль.

Открытие вакуумной камеры производится в следующей последовательности.

Откручиваются рычажные гайки 26 и отводятся откидные винты 25 из пазов ушей

27 в крайнее заднее положение, В противном случае уши 27 створки 1 вакуумной камеры под действием восстановленного допервоначального натяга элемента уплотнения 24 и вакуумного удара, сопровождающего процесс разгерметизации на последнем этапе, врезаются в рычажные гайки 26, при этом резьба откидного винта

25 и рычажной гайки 26 работает на срез.

Отжать рычажные гайки 26 от ушей 27 после разгерметизации вакуумной камеры без применения большого рычага не представляется возможным, это ведет к интенсивному износу винтовой пары, При разгерметизации корпуса камеры

18 на последнем этапе, когда происходит выравнивание давлений внутри камеры и снаружи, фиксирующий шарик 8 начинает двигаться по поперечной части 12 направляющей 9, 10, гасит вакуумный удар и фиксирует створку 1 от опрокидывающего момента на продольной части 11 направляющих 9, 10, обеспечивая гарантированный точечный контакт уплотнительного элемента

24 со створкой 1, отрегулированного положения направляющих 9, 10 относительно торца проема 28 вакуумной камеры. Перемещая створку за ручку 4, отводим ее вправо-влево в зависимости от планировки оборудования в помещении. При этом опорные ролики 15, 16 катятся по корпусу камеры 18, Минимальная величина открытия проема 28 определяется размером, необходимым для проведения операции смены положений или замены изделий, причем чем меньше площадь проема 28, тем меньше насыщение стенок корпуса камеры 18 окружающим воздухом. Насыщение корпуса камеры 18 окру1744229!

Фиг. 2

Фиг.3 жающим воздухом по всему оставшемуся периметру створки 1 исключено, так как рама 3 со смотровым стеклом 2 выполнена заподлицо, а фиксирующий шарик 8 обеспечивает гарантированный точечный контакт между элементами уплотнения 24 и створкой 1. После проведения операции смены положения или замены изделий, находящихся в корпусе камеры 18, створка 1 переводится в исходное рабочее положение.

При проведении технического обслуживания и ремонте створка 1 отводится в крайнее положение, при этом фиксирующий шарик 8 фиксирует створку 1 в скругленной части 13 составной направляющей 9, 10 и позволяет разворачиваться створке 1, фиксирующий шарик 8 является шарниром и обеспечивает открывание створки 1 вакуумной камеры полностью, При развороте створки 1 опорный ролик 15 или 16 выходит в приторцевую зону выреза 17 составных направляющих 9, 10 и не препятствует развороту створки 1.

Использование изобретения позволит улучшить эксплуатационные качества вакуумной камеры.

Формула изобретения

5 Вакуумная камера, содержащая створку с установленными на ней опорными роликами, закрепленные на камере направляющие, уплотнительные элементы, расположенные по периметру проема каме-.

10 ры, и фиксатор створки, о тл и ч а ю щ а я с я тем, что, с целью улучшения эксплуатационных качеств, направляющие выполнены составными из продольной со скругленными концами и поперечной частей, имеющих

15 призматический профиль, а фиксатор — в виде шарика, радиус которого соответствует радиусу скругления продольной направляющей, при этом в средней части последней образован паз, размеры которо20 го превышают габариты опорных роликов, а в приторцевых зонах — вырезы, причем размеры каждого из них равны половине габаритных размеров опорных роликов.

1744229

1744229

1744229

1-Г

Фиг. 9

Составитель С. Барабанов

Техред М.Моргентал Корректор Т, Палий

Редактор М, Циткина

Производственно-издательский комбинат "Патент", r. Ужгород, ул.Гагарина, 101

Заказ 2175 Тираж Подписное

ВНИИПИ Государственного комитета по изобретениям и открытиям при ГКНТ СССР

113035, Москва, Ж-35, Раушская наб„4/5