Патент ссср 160862

 

СОЮЗ С0ВЕТСКИХ

СОЦИЫИСтИЧЕСКИХ

РЕСБУБАИК

ОПИСАНИЕ

ИЗОВРКтКНИЯ

К АВТОРСКОМУ СВИЛЕТЕЛЬСЛ ВУ

X 150802

МПК

С! I n d

Заявлено 17.Ъ 11.1961 (Л 736535,;26-10) ГОСУЛАРСТВЕНН Ы И

КОМИТЕТ ПО ДЕЛАМ

ИЗОБРЕТЕНИЙ И ОТКРЫТИЙ

СССР

Опубликовано 26.II.1964. Бюллетень М. 5

ПоЪгггсг-тя арггппп Л 1бЗ

Б. M. Левин

ИНТЕРФЕРОМЕТР ДЛЯ КОНТРОЛЯ ОТКЛОНЕНИЯ

ПОВЕРХНОСТЕЙ ОТ ЗАДАННОЙ ФОРМЬ1

Известны интерферометры для исследования качества обработки поверхностей различII»lx материалов и деталей, содер?кащие монсхроматический источник света, облучлющий исследуемую и эталонную поверхность пучком параллельных лучей, сформированных параболическим зеркалом, и устройство, служащее для наблюдения интерференционнои картины, получаемой в результате наложения световых лучей, отра?кенных от исследуемой и эталонной поверхностей, которые, дают возможность производить контроль отступлений только у полированной оптически доведенной поверхности. При использовании монохроматических лучей видимого света интерференционному исследованию могут быть подвергнуты только поверхности, обработанные по 12—

14 классу точности.

В описываемом устройстве для контроля отклонений шеpoxOBBTI Ix, грубо обработанных поверхностей в результате примеченпя инфракрасных монохроматических лучей, лежащих далеко вне границ видимого света, и последующей визуализации невидимой интерференционной картины при помощи эвапорографической кюветы, может исследоваться большой класс поверхностей, обработанных по 5 — 14 классу точности.

Конструкция описываемого устройства изображена на чертеже.

Щель 1 монохроматора 2 совмещают с ирисовой диафрагмой 8. Посредством сферического зсркалл 1 изображcíèñ диафрагмы 8 проектируют на лев ю отрлжлющ) ю грл! ь стойки а, которая размеIцеll;; в фсIB c c и. 1рОболи;еского зеркалJ 6, формирующего параллельный пучок лучей, падающих на поверх-!!ость эталона 7, выполненного в виде тщатель!10 Отшлифованного кр1!стллла, и нл по«ерхность нспытуе;!ого объекта 8. Свстовыс лучи, отраженные от поверхности эталона 7 и исследуемого объекта 8, интсрферируюг ме?кду собой и проектируютгя зсркллом о нл правую грань стойки 5, где образуют автоколлимационнсе изображение диафрагмы

Получен:!ое подсбным осразом изображение диафрагмы 8 при помощи зеркала 9 проектируется на мембрану 10 эвлпорографнческой кюветы 11. Положение и радиус кривизны зеркала 9 выбирают так, чтобы поверхности эталона 7 и объекта 8 были бы сопряжены с т!70скссть10, в 1 oTooo!". 1?Г.. I0,70же:1а меморанa

10. Поверхности эталона 7 и объекта 8 изображаются на мембране 10 с увеличением, d равным — где d — диаметр мембраны 10, D а D — диаметр эталона 7.

Эвапорографическая кювета П состоит из двух камер 12 и 18, разделенных весьма тонко!! мембраной 10. В камерах 12 и 18 создают разрежение порядка 5 ° 10 — - .!г.!г рт. ст. В камере И прп подогрсве образуются пары масла, которые осаждаются на мембране 10, № 160862

Предмет изобретения

Составитель Г. Г. Фридолин

Техред T. П. Курилко Корректор М. И. Козлова

Редактор Кутафина

Подп. к печ. 6/1 / — 64 г. Формат бум. 60 Q 90 /з Объем 0.23 изд. л.

Заказ 716/3 Тираж 550 Цена 5 ко>, ЦНИИГ!И Государственного комитета по делам изобретений и открь!тпй СССР

Москва, Центр, пр. Серова, д. 4

Типография, пр. Сапунова, 2

Инфракрасная радиация при выведенной из светового канала 14 лампе 15 проходит через выходное окошко 16 кюветы 11, выполненное из материала, прозрачного для иифракрасиь!х лучей, и форми1рует изооряжеиие иитерфереициоииых полос иа поверхности мембраны 10.

При падении инфракрасных лучей иа поверхиость мембраны 10 масляная пленка, образовавшаяся при осяждeиг!!! паров масла иа мембрану 10, начинает испаряться. Иитеисивность испаре!шя масла в каждой точке мембраиы 10 определяется интенсивностью ии<рра!кра!спой радиации в данной точке.

В результате неравномерного испарения масла происходит визуализации невидимого изображения иитерфереициоииых полос ll3 поверхпости мембраны 10 при ее освещении через тепловой фильтр 17 от источника 18 видимого света, установленного в фокальиой плоскости объектива 19, расположенного перед полупрозрачным зеркалом 20. Объектив

l9 формирует пучок лучей, который проходит .через окошко 21 кюветы и падает иа мембрану 10. Йитерфереициоииая картина иа мембране 10 при помощи объективов 19 и 22 может рассматриваться визуялы о через окуляр

23 или при включеииоз! зеркалe ". 1 фотографироваться фотокамерой 25. При «вс !с:!и!! в световой канал лампы-испаритсля (как это показано ия че!ртеке) происк эдит стирание получеииого изображения. После,,;. !cll!Isr и", канала лампы з!о>кст быть получено II0! .0(. ! = )5p кеиис иитсчфсре III!!о:I:;I.!i ио 10 .

IIIT0pфе!Зол!стр дл5! и::!тпол5! с !:.Iо с!I!I:! поверхностей от задяииой фор, ы, содержащий моиохроматор, облу !яющий исслсдуемый объект и эталон пучко;Iпараллельных :лучей, сформированных параболическим зеркалом, и устройство, служащее для иаблюдеиич интерфереициоииой картины, отличающийся тем, что для возя!ожиости контроля исполиpoIIaIlIII lx (шероховатых) поверхностей и увеличеиия пределов измерения, в плоскости изображеиий приемной части иитерферометра установлена эвяпорографическая кювета. служащая для визуализации интерференционной картины.