Сорбционная высоковакуумная ловушка

 

ОПИСАН И

ЙЗОБРЕ ТЕНИ

Е ABTQPÑÅOÌÓ СВИДЕПЛЬСТВУ

2О2425

Сова Соввтокик

Социвлиотичеоких

Республик

Зависимое от авт. свидетельства №

Заявлено 12.Ill.1966 (№ 1061659/26-25) 1. 27d, 4/00 с присоединением заявки №

Приоритет

Опубликовано 14.1Х.1967. Бюллетень ¹ 1

Дата опубликования описания 28.XI.1967 (IK F 04g

Комитет по делам иаобрвтеиий и открытий при Совете Миниотоав

СССР

К 621.528 (088.8) Авторы изобретения

Е. Н. Мартинсон, К. Н. Мызников и 3. В. Хабарова

Заявитель

СОРБЦИОННАЯ ВЫСОКОВАКУУМНАЯ ЛОВУШКА

Известны сорбционные высоковакуумные ловушки, содержащие испаритель титана, напыляемого на охлаждаемый корпус ловушки.

Однако такие ловушки не позволяют полностью улавливать пары масла без их крекинга из-за напыления титана на нагретые детали.

Предлагаемая ловушка отличается от известных тем, что внутренняя стенка ее корпуса выполнена с полыми ребрами, заполняемыми хладагентом и образующими оптически непрозрачную систему. Это позволяет удерживать все летучие продукты, поступающие из паромасляного насоса, и предотвратить образование углеводородов.

На черте ке представлена предлагаемая ловушка, Она содержит корпус 1 из нержавеющей стали с двумя фланцами, охлаждаемый жидким азотом конденсатор 2 титана с ребрами 3, испаритель 4 титана и токоподвод б. Ловушка закрыта с двух концов жалюзи 6, также охлаждаемыми жидким азотом.

Пары, поступающие из насоса, конденсируются на поверхности ловушки, охлаждаемой жидким азотом. Неконденсирующиеся газы (метан, водород, окись углерода, аргон и др.) поглощаются слоем титана, охлаждаемым жидким азотом. В ловушке с охлаждаемым титаном не будут образовываться углеводороды, что происходит в сорбционных насосах со слоем геттера, работающим при комнатных и более высоких температурах, Часть газов, поступающих из откачиваемого объема, удерживается ловушкой, остальное откачивается парома ляным насосом. Прямой пролет молекул неконденсирующихся газов из насоса в откачиваемый объем предотвращается жалюзи, целиком запыляемое титаном и охлаждаемое жидким азотом. Испаритель титана может

10 включаться периодически пли работать непрерывно в зависимости от количества газов, поступающих в ловушку.

Предлагаемая ловушка позволяет получать с помощью паромасляных насосов или насо15 сов типа «Рутс» сверхвысокий «чистый» вакуу.м (при условии предварительного обезгаживания стенок прогревом) без использования парортутных насосов, нежелательных изза токсичности, ртути, и других безмасляных

20 средств откачки. Кроме того, ловушка в соединении с паромасляным насосом дает возможность откачивать инертные газы (аргон, неон) без применения ионизаторов.

25 Предмет изобретения

Сорбционная высоковакуумная ловушка, содержащая корпус, охлаждаемый низкотемпературным хлада гентом, например жидким

30 азотом, по оси которого расположен испари2ОЯ25 впутрсппяи стенка ее корпуса выполнена с полыми ребрамн, заполняемыми хладагентом и образующими оптически непрозрачную систему.

АоВ агпт

Составитель Г. А. )Кукова

Редактор Н. Громов Текред А. А. Камышиикова Корректоры; Л. В. !!адсляева и В. В. Крылова

Заказ 36 I 5! 11 Тираж 535 Подписное

Ц!-!!!! !ПР! Комитс-.а по делам изобретений и открытий Ilpi! Совете Министров СССР

Москва, Центр, пр. Серова, д. 4

Типография, пр. Сапунова, 2 тель титана, оглиcAIои!аяся тем, гг, с целью удержания всех летучих продуктов, поступающих из паромасляного насоса, и т!редотвращения образования углеводородов в ловушке, л Птиг а /аглотту пбьему К насссу

ЖОКЕЯ/ J

a30m .Л