Установка для нанесения покрытий в вакууме
ОП ИСАН И Е изоБГетЕнИЯ
К АВТОРСКОМУ CBHPETEJIbCTBy
25880 О
Союз Советских
Социалистических
Республик
Зависимое от авт. свидегельства ¹
Кл. 48Ь, 13/08
Заявлено 03.VI II.1967 (¹ 1177050/22-1) с присоединением заявки ¹
Комитет по делам изобретений и открытий при Совете Министров
СССР
УПК С 23с
> ДК 658 562 3.621 793 14 (088,8) Приоритет
Опубликовано ОЗ.XI I.1969. Бюллетень х" 1 за 1970
Дата опубликования описания 27.IV.1970
Л. К. Дружинин, М. Г. Лозинский и В. Б. Чижов
Авторы изобретения
Заявитель
УСТАНОВКА ДЛЯ НАНЕСЕНИЯ ПОКРЫТИЙ В ВАКУУМЕ
Известна установка, состоящая из вакуумной камеры, одно- или многосекционных испарительных устройств, вакуумной станции, устройства для крепления образцов над пспарителем и их подогрева и вспомогательной аппаратуры для контроля за вспомогательными процессами, в которой заданная толщина обеспечивается косвенно поддержаниехт на заранее заданном уровне тепловой мощности, подводимой к ванне с испаряемым материалом.
Предлагаемая установка отличается от известной тем, что в качестве датчика количества напыленпого вещества использован образец-свидетель, расположенный в зоне напыления и соединенный с весовым устройством с механотронным преобразователем, сигна, I с которого подается Iа программный регулятор для регулирования интенсивности испарения.
Это позволяет повысить точность нанесения покрытий по толщине и составу.
На чертеже изображена схема предлагаемой установки.
Она содержит вакуумную камеру 1, внутри которой размещены испарительные ванны 2 и
3. Нагреваются ванны либо с помощью электроннолучевых систем, либо радиационными устройствами, изображенньтхти на рассматриваемой схе. е. "егулирование интенсивности нагрева, а следовательно, и скорости испарения, осуществляется в зависимости от скорости конденсацип материала на контрольных образцах регулирующимп устройствами 4 и 5 (автотрансформаторы, магнитные усилители, 5 регулируемые балластные сопротивления и т. д.). Над пспарительныхтп ваннами располагают образец б, подлежащий напылению и подогреваемый до требуезтой температуры нагревателем 7. Блоки 8 и 9 управления состояг
10 из контрольных образцов !О и ll, которые соединены непосредственно с механотронными весами 12 и 1т.
Требуемая скорость конденсации задается в виде графика-программы, наносимой, напри15 мер, на диаграхтмттю ленту программных регуляторов 14 и 15. Котттрольньте приборы lб и
17 служат для визуального наблюдения за ре>кттхтом конденсацт.п. Предусматривается так?Ке B03M0>KHocTI, ручного регулирования про20 цесса по показаниям приборов и регистрации режимов напыления на диаграммных лентах.
Установка работает следующим образом.
Материал, расположенный в испарительных ваннах 2 и 8, при выведенных на режим нагре25 вателях, испаряется в виде атомарных пли мо IeêóëFIðHû поI oKQB и перемещается IIQ направ eFIHIo к образцу б, предварительно нагретому до требуемой температуры нагревателем
7. Испаренное вещество конденсируется íà IIQ30 верхностях образца б п контрольных образцов
258800
Предмет изобретени я
Состави геги, Ю. Иосилевич
I åäàêòoð В. Ф. Смирягина Техрсд 3. Н. Тараненко Коррекгорви Л. Koporod н М, Коробова
Заказ 781/5 тираж 499 Подписное
11НИИГ1И Комитега ио донага изойрстеиий и огкрытий при Совете .11ипистров СССР
Москва 1К-З5, Раушскан наб., д. 4 5
1 ипография, пр. Сапунова, 2
10 и Il в виде покрытия с соответствующим изменением веса образцов.
Изменение веса кон1рольных образцов приводит к изменению показаний механотронных весов, сигнал с которых поступает на программные регуляторы 14 и 15. Программные регуляторы воздействуют на регулирующие устройства 4 и 5, которые изменяют температуру нагревателей, и тем самым воздействуют на скорость испарения.
Установка для нанесения пскрытий в вакууме путем испарения и последующей конденсации HB обрабатываемом изделии, состоящая из вакуумной камеры, испарительных уcl ройств, вакуумной станции, устройства для крепления образцов над испарителем и 1гх
5 подогрева и вспомогательной аппаратуры для контроля 3а вспомогательными процессами, отличагощаяся тем, что, с целью повышения точности нанесения покрытий по толщине и составу, в ней в качестве датчика количества
lo напыленного вещества использован образецсвидетель, расположенный в зоне напыления и соединенный с весовым устройством с механотронным преобразователем, сигнал с которого используется для программного регулирования
15 интенсивности испарения,
