Устройство для измерения тока пучка электронов

 

ОПИСАНИЕ

ИЗОБРЕТЕНИЯ

К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ

Сова Советских

Социалистических

Республик

Зависимое от авт. свидетельства №

Заявлено 02.Х.1968 (№ 1272184/26-25) с присоединением заявки ¹

Приоритет

Опубликовано 10.11.1970. Бюллетень ¹ 8

Дата опубликования описания 24Л I.1970

Кл. 21@, 21/01

МПК Н 01j 43/02

УДК 621.384.6 (088,8) котеитет оа делам иэсоретеиий и открытий ори Совете Министров

СССР

Авторы изобретения

В. М. Деняк и В. И. Старцев

Зая,витель

УСТРОЙСТВО ДЛЯ ИЗМЕРЕНИЯ ТОКА

ПУЧКА ЭЛЕКТРОНОВ

Изобретение относится к устройствам для измерения тока пучка заряженных частиц.

Известные устройства для измерения тока пучка электронов по,величине вторичной электронной эмиссии, содержащ ие эмитирующий и собирающий электроды и электроизмерительный прибор, не позволяют измерять с хорошей точностью часть пучка, которая попадает на облучаемый объект, когда его размеры меньше размеров пучка.

Для повышения точности измерения части тока пучка в предложенном устройстве между эмитирующим !и собирающим электродами р асположен дополнительный эмитирующий электрод с отверстием, размер которого равен измеряемой части пучка, и находящийся под отрицательным потенциалом.

На чертеже пр иведена принципиальная схема предлагаемого устройства.

Оно содержит эмитирующий электрод 1, собирающий электрод 2, выполненный в виде двух электрически связанных колец, дополнительный эмитирующий электрод 8, расположенный между эмитирующим и собирающим электродами, .и измерительный прибор 4.

Устройство для измерения тока пучка помещается на пути пучка ускоренных электронов перпендикулярно к его направлению. Собир ающий электрод н аходится под положгительным потенциалом, дополнительный эмитирующ ий — под отрицательным. Ооа эмитирующих электрода изготовлены из одного материала с тем, чтооы коэффициенты вторничной эмиссии обоих электродов были равны.

При прохождении пучка ускоренных электS ронов через |измеритель с эмитирующего электрода выбиваются вторичные электроны, число которых пропорционально числу электронов в пучке. При этом эмитирующий электрод заряжается. Ток этого заряда регистрирует из10 мерительный прибор. Вторичные электроны эмитпруются с электрода 1 в обе стороны с одинаковой эффективностью. Правая половина вторичных электронов уйдет на собирающий электрод, так как он находится под по15 ложительным потенциалом. Вторичные электроны, эмитируемые влево от электрода 1, возвращаются обратно, так как он находится под небольшим положительным потенциалом, а электрод 2 — под отрицательным.

Если поперечный размер пучка больше размера отверстия, то с дополнительного электрода будут также эм итироваться вторичные электроны и попадать соответственно на со25 сгирающий и эмитирующий электроды. Поэтому на электроде 1 про|изойдет компенсация той части заряда вторичных электронов, который обусловлен током первичного пучка, прошедшим за пределами отверстия в элект30 род 2. Так как коэффициенты вторичной эмиссии обоих эмитирующих электродов равны, то

263759

П р ед м е т и з о бр ете и и я

Составитель Н. С. Соловьев

Редактор П. А. Вербова

Техред Т, П. Курилко Корректоры: А. Абрамова и Л. Корогод

Заказ 1399/4 Тираж 480 Подписиое

Ц(-1ИИГ!И Комитета по делам изобретении и открытий при Совете Министров СССР

Москва il(-35, Раушская наб., д. 4,5

Типография, пр. Сапупоза, 2 ток эм итирующего электрода 1 будет пропорционален той части пучка, которая пролетела через отверстие электрода 2.

Для получения хорошей временной стабильности коэффициента вторичной эмиссии, а также для получения независимости работы прибора от окружающей среды эм ит ирующие и собирающ!ие электроды помещены в отдельный откачанный и отпаянный вакуугнный объем 5. Входные,и выходные стенки объема выполнены из тонкой металлической фольги. Такая конструкция устройства позволяет использовать его независимо от внешних условий.

Устройство для измерения тока пучка электронов по величине вторичной электронной эмиссии, содержащее эмитирующий и собир ающий электроды, электроизмерительный прибор, отличающееся тем, что, с,целью повышен ия точности измерен ия части тока пучка, между эм итирующим и .соб|ирающим элек10 тродами расположен дополнительный эмитирующий электрод, находящийся под отрицательным потенциалом и имеющий отверстие, размеры которого равны измеряемой части пучка.