Всесоюзная iч r^-!•'.-^j"•^f•, '""'• ' • ••'' t.fi i '-i;; .кг •. а; ,v- •б;:ь::мо;'.::чд ;

 

292105

ОПИСАНИЕ

ИЗОБРЕТЕН ИЯ бОЖЗ СОЕЕтбКИХ

Социалистических

Республик

АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ Е

Зависимое от авт. свидетельства №вЂ”

Заявлено 19.Ш.1964 (М 889150/26-25) МПК G 01 п 21/60 с втр исоединением заявки №вЂ”

Комитет по делам изобретений и открытий при Совете Министров

СССР

Приоритет—

Опубликовано 06.1.1971. Бюллетень № 4

Дата опубликования описания 7.IV.1971

УДК 539.107(088.8) Авторы изобретения

П. Д. Токарев, В. Н. Осипов и В. А. Павлов

Заявитель

ВИДЕОКОНТРОЛЬНОЕ УСТРОЙСТВО РАСТРОВОГО

ЭЛЕКТРОННОГО МИКРОЗОНДОВОГО ПРИБОРА

Изобретение относится к растровым электронным микрозондовым приборам.

Электронные микрозондовые приборы рентгеновские микроанализаторы и растровые электронные микроскопы — хорошо известны, например прибор МАР-I.

В известных приборах участок анализа, например рентгеноспектральный, выбирается неподвижным зондом с помощью светового оптического микроскопа с большим увеличением.

Зону анализа удается различить в микроскопе электронным зондом либо за счет загрязнения зоны анализа продуктами разложения паров масла, либо за счет излучений объекта в видимой части спектра.

Известные видеоконтрольные устройства растровых приборов не позволяют точно выбирать по изображению объекта зону анализа неподвижным зондом, так как изображение объекта на экране получают за счет непрерывного движения зонда, а при выключении развертки изображение на экране кинескопа отсутствует.

Целью изобретения является повышение разрешающей способности микрозондовых приборов, точности и локальности анализа.

Для этого в известное видеоконтрольное устройство, содержащее генераторы разверток, спектральный зонд в колонне прибора и на экранах ЭЛТ, датчики, видеоусилители, электроннолучевые трубки и блоки питания, введена схема формирования на экране электроннолучевых трубок сигнала положения неотклоненного луча на поверхности объекта.

Предлагаемое видеоконтрольное устройство позволяет исключить использование светового микроскопа, поскольку, во-первых, изображение объекта и зоны анализа может быть получено со значительно большим (по крайней

1О мере на порядок) полезным увеличением и разрешением; во-вторых, изображение объекта и зоны анализа получают при любом чистом вакууме и в любом виде вторичного излучения объекта при установке в камеру объектов соответствующих датчиков. Это значительно повышает точность выбора зоны анализа, локальность и диапазон исследований.

На чертеже изображена схема формирования, состоящая из датчика положения луча по о координатам х и у, например, отклоняющей системы 1, к которой подключены два формирователя 2 импульса положения неотклоненного луча, усилителей 3 и смесителя-формирователя 4, осуществляющего формирование

2-, сложного видеосигнала, Видеосигнал со смесителя 4, несущий информацию о любом вторичном излучении объекта и положении на объекте неотклоненного электронного зонда по двум координатам, по3Q дается на модулпрующий электрод ЭЛТ.

На экране ЭЛТ получают изобрджение объекта с наложенной на него неподвижной яркостной меткой, например перекрестием двух линий. Центр перекрестия точно указывает зону локального анализа.

Предмет изобретения

Видео контрольное устройство растрового электронного микрозондового прибора, состоящее из генераторов разверток, блока индикаторов с электроннолучевыми трубками, видеоусилителей, детекторов вторичного излучения объекта, отклоняющих систем и источников питания, отличающееся тем, что, с целью повышения точности выбора зоны локального

5 анализа объекта неподвижным зондом, улучшения локальности анализа и расширения диапазона исследований, в него введена двухканальная схема управления выбором зоны локального анализа, состоящая из формировате1о лей сигнала положения неотклоненного зонда, усилителей и смесителя-формирователя видеосигнала.

Составитель Л. А. Требушинина

Рвдактор T. 3. Орловская Техред А. А, Камышникова КорректОр Н. Л, Бронская

Заказ 1!24 Тир.аж 473 Подписное

ЦНИИПИ Комитета по делам изобретений и открытий при Совете Министров СССР

Москва, Ж-35, Раушская наб., д. 4/5

Загорская типография