Тонкопленочный резистивный материал

 

320835

О П И С А Н И Е

ИЗОБРЕТЕНИЯ

К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ

Союз Советских

Социалистических

Республик

Зависимое от авт. свидетельства №

Заявлено 15.VI.1970 (№ 1449773/26-9) с присоединением заявки №

Приоритет

Опубликовано 04.Х1.1971. Бюллетень № 34

Дата опубликования описания 12.1.1972

МПК Н Olc 17/00

Комитет по делам изобретений и открытий при Совете Министров

СССР

УДК 621.316.849 (088.8) Автор изобретения

Т. Н. Болгарина

Заявитель

ТОНКОПЛЕНОЧНЫЙ РЕЗИСТИВНЫЙ МАТЕРИАЛ

Изобретение относится к технике изготовления радиодеталей и может быть использовано в производстве прецизионных и высокочастотных резисторов.

Известны тонкопленочные резистивные материалы на основе окиси олова с добавкой окислов цинка и сурьмы.

Эти материалы имеют величину температурного коэффициента сопротивления (ТКС)

+40 — — 100 10 — j С, что недостаточно для высокостабильных и прецизионных резисторов.

Целью изобретения является получение резисторов с низким значением ТКС при расширении диапазона сопротивлений в низкоомную и высокоомную область. Для достижения этой цели в состав резистивного материала введена смесь окислов висмута, железа, алюминия, титана, хрома, тантала и ниобия. При этом тонкопленочный резнстивный материал может содержать исходные компоненты в следующих количественных соотношениях, в вес. %:

Окислы олова 85 — 98,5

Окислы цинка 0,5 — 3,0

Окислы сурьмы 1,0 — 12,0

Окислы висмута 0 — 15,0

Окислы алюминия, титана, тантала, хрома, железа и ниобия 0 — 15,0

Предложенный резистивный материал позволяет получать металлоокисные пленки для резисторов с величиной ТКС, изменяющейся в интервале 100.10 — / С, и величиной удельного поверхностного сопротивления от 0,5 Ола до 1 ком/кв при этом величина коэффициента влагостойкости не превышает 1%.

Коэффициент электростарения при рассеивании удельной мощности 0,75 вт/кв при температуре +70 С и длительности испытаний

100 час не превышает -1%, а коэффициент

10 импульсной нагрузки <1%.

Предмет изобретения

1. Тонкопленочный резистивный материал на основе окиси олова с добавкой окислов

15 цинка и сурьмы, отличающийся тем, что, с целью получения резисторов с низким значением температурного коэффициента при расширении диапазона сопротивлений в низкоомную и высокоомную область, в его состав

20 введена смесь окислов висмута, железа, алюминия, титана, хрома, тантала и ниобия.

2. Материал по п. 1, отличающийся тем, что он содержит исходные компоненты в следующих количественных соотношениях (в вес. %).

Окислы олова основа

Окислы цинка 0,5 — 3,0

Окислы сурьмы 1,0 — 12,0

О иислы висмута 2 — 15,0

Окислы алюминия, титана, тантала, хрома, железа и ниобия 3 — 15,0