Пленочный резистор
О П И С А Н И Е 3336lO
ИЗОБРЕТЕНИЯ
К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ
Союа Советскив
Социалистические
Республик
Зависимое от авт, свидетельства №
Заявлено 10.Ч111.1970 (№ 1469722/26-9) с присоединением заявки №
Приоритет
Опубликовано 21111.1972. Бюллетень № 11
Дата опубликования описания 26.IV.1972
М. Кл. Н Olc 7/00
Комитет оо делам изобретений и открытий ори Совете Министров
СССР
УДК 621.396.692 (088.8) Авторы изобретения
Б. П. Крыжановский и Б. М. Круглов
Заявитель
ПЛЕНОЧНЫЙ РЕЗИСТОР
Предмет изобретения
Резистор относится к элементам радиоэлектронных устройств.
Известен пленочный резистор на основе кермета, содержащего двуокись кремния и мелкодисперсный проводящий материал.
Известный резистор имеет недостаточно низкий температурный коэффициент сопротивления (ТКС).
Цель изобретения — уменьшение ТКС резистор а.
Указанная цель достигается тем, что в качестве упомянутого токопроводящего материа. ла используют молибден. Причем молибден вводят в количестве, равном 40 — 60 мол. %.
Предлагаемые пленочные резисторы могут быть получены на поверхности диэлектриков путем обработки покрытия, состоящего из смеси двуокиси кремния и трехокиси молибдена, в, атмосфере водорода при 400 — 800 С, Исходное покрытие Sio> — МоО наносится на диэлектрик двумя способами: гидролизом смеси этилового эфира ортокремниевой кислоты
Si(0C2H )4 и пятихлористого молибдена или реактивным катодным распылением кремния
2 и молибдена в среде кислорода. Возможно также получение пленочного резистора путем электроннолучевого испарения молибдена и двуокиси кремния.
5 Пленочные резисторы на основе сочетания
«двуокись кремния — молибден» не меняют своих электрических свойств при длительном воздействии атмосферы с относительной влажностью 98% и температурой до 50 С и имеют
10 ТКС порядка 10 — 10 %/град.
15 1. Пленочный резистор на основе кермета, содержащего двуокись кремния и мелкодисперсный проводящий материал, отличаюи ийся тем, что, с целью уменьшения температурного коэффициента сопротивления, в качестве
20 упомянутого токопроводящего материала используют молибден.
2. Пленочный резистор по п. 1, отличаюи ийся тем, что молибден вводят в количестве, равном 40 — 60 мол. %.
