Всесоюзная п--'тгцткп,тгг':-":" •i;rt 1^п i пи i i.,(> &i..: . -библио':г;^а
323894
ОПИСАНИЕ
ИЗОБРЕТЕНИЯ
К ПАТЕНТУ
Союз Советских
Социалистических
Республик
Зависимый от патента №
У!. Кл. С 01b 31/36
Заявлено 21.Х,1969 (№ 1372943/23-26) Приоритет 21.Х.1968, ¹ 49888, 68, Beëèêoáðltтания
Комитет по делам изобретений и открытий при Совете Министров
СССР
Опубликовано 10.Х11.1971. Бюллетень № 1 за 1972
> 1Цх 546.28 261.07 (088.8) Дата опубликования описания 15.1I.1972. Авторы изобретения
Иностранцы
Чарльз Фредерик Кэрди, Кейт Джордж Сампсон (Be nè K00ðè TàII I H j и Роберт Чарльз Стифен (Ирландия) Е(ГI, .(;;с,1;
П с, Грс с с-с "с": сс(°
Б14ЬЛЖЗ
Заявитель
Иностранная фирма
«Лапорте Индастриз Лимитед» (Великобритания) СПОСОБ ПОЛУЧЕНИЯ КРИСТАЛЛОВ КАРБИДА КРЕМНИЯ
Изобретение относится к способам получения кристаллов карбида кремния.
Известен способ получения кристаллов карбида кремния путем взаимодействия галогеносодержащей кремниевой смеси и углеродсодержащего материала прн температуре не выше 1900 С. Такой способ характеризуется недостаточно высоким выходом конечного продукта.
С целью повышения выхода предложено процесс вести в присутствии огнеупорного окисного материала, содержащего нлн состоящего из окиси алюминия н бсриллня илн одII0A ИЗ НИХ.
Пример, Исходную газообразную галoгеносодержащую кремниевую смесь н углеродсодержащий материал подвергают взаимодействию с огнеупорным материалом, содержащим или состоящим из окиси алюминия н окиси бериллия пли одной из них при 1350—
1800 С, п редпочтительно при 1450 — 1650 С.
При этом в качестве исходной газообразной
r;I:1 o re I I o c o,ia e p a a II te i1 к р е м н н е в 0 Й c lit ec t t м о ж и о
IIснользовать смеси веществ общей формулы 12112Х6 SiX2 Sil1ХЗ SiXX 3 1де
Х вЂ” фтор, хлор, бром н йод.
В качестве огнеупорного материала можно
НСПО 1 ЬЗОВатв, На ПРНсхссЕРс ад!ОМОСНЛ НКат
ЗА1202 2St02, снллнманнт А1202 SIO берилл
ЗВе0 AI20, 6SiO и хрнзобернлл Ве0 А!20з.
1О В качестве углсродсодержащего материала используют углерод в твердой фазе нлн углерод с одной нлн более газообразными смесямн, содержащими углерод.
Газообразная содержащая галогены смесь с
15 газообразной углеродсодержащей смесью или без нес может быть разбавлена газом, ннертIll lit нo отношению к реагентам и готовым ltpo" дуктам. Составляющlle газообразной смеси смешивают и подают в подогреваемую зону
20 реакции, в которой находится огнеупорный материал.
Результаты нроведенн11х опытов представлены в таблице.
323894
Скорость подачи газовой смеси, льн1л ин
Количество
SjF4, превращенного в
S I(;
Температура реакции, С
Внесенный материал
СО
Н, !
1540
Карбид кремния, псрскрпсталлизованная окись алюпншия
То же члюмоспликат
То жс
37,5
A.IIouocII икат
Цпркошш, загрязненный значительным количеством А1. Оз
Чистый НIIPKQIIIIII
Магнезия
Незначительно
Незначительно
1550
18
1900 С, отличающийся тем, ITQ, с целью повышения выхода конечного продукта, процесс ведут в присутствии огнеупорного окисного материала, содержащего или состоящего из
5 окиси алюминия и окиси бериллия или одной из ннх.
Предмет изобретения
Способ получения кристаллов ка рбида кремния путем взаимодействия галогеносодержащей кремниевой смеси и углеродсодержащего материала при температуре не выше
Составитель Т. Кузьмин»
Техред Л. Куклина
Корректоры: В. Петрова и А. Абрамова
Редактор T. Шарганова
Заказ 107/10 Изд. ¹ 1836 Тираж 448 Подписное
ЦНИНПИ Комитета по делам изобретений и открытий при Совете Министров СССР
Москва, К-35, Раушская наб., д. 4/5
Типография, пр. Сапунова, 2
18
37,5
36
1560
Несколько (0,1
24
16
16
12
26
12
