Устройство для контроля толщины пленки в процессе напыления

Авторы патента:

G01B11/06 - для измерения толщины

359509

ОПИСАНИЕ

ИЗОБРЕТЕНИЯ

К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ

Сама Соеетскик

Сопиалистическик

Республик

Зависимое от авт. свидетельства №

Заявлено 31.Ч11.1970 (№ 1465774/25-28) с присоединением заявки №

Приоритет

Опубликовано 21.Х|.1972. Бюллетень № 35

Дата опубликования описания 3.1.1973

М. Кл. G Olb 11/06

Комитет по делам лзабретеиий и открытий при Совете Министров

СССР

УДК 531 715 1(088 8) Авторы изобретения

Л. Н. Высочин и В, В. Концур

Заявитель

УСТРОЙСТВО ДЛЯ КОНТРОЛЯ ТОЛЩИНЫ ПЛЕНКИ

В ПРОЦЕССЕ НАПЫЛЕНИЯ

Изобретение относится к областту контрольно-измерительной техники и может быть использовано для контроля толщины пленки, наносимой на подложку, например термическим испарением в вакууме.

Известно устройство для контроля толщины пленки в процессе напыления, содержащее источник света, фотоприемник, рабочую и контролируемую подложки, расположенные между источником света и фотоприемником, фиксатор интерференционных минимумов или максимумов и индикаторный блок.

Однако в известном устройстве с увеличением толщины пленки амплитуды максимумов и минимумов уменьшаются и при определенной толщине становятся неразличимыми.

Цель изобретения вЂ” увеличение верхнего предела контролируемой толщины пленки и автоматизация процесса контроля.

Для этого предложенное устройство снабжено установленной неподвижно над контрольной подложкой диафрагмой с отверстием, через которое производят напыление контрольной подложки, и исполнительным устройством, связанным с контрольной подложкой и сдвигающим ее при достижении толщины пленки, равной амплитуде первого интерференционного максимума, на величину, достаточную для подведения под отверстие диафрагмы незапылешгого участка контрольной подложки.

На чертеже изображена принципиальная схема предложенного устройства.

Устройство содержит источник 1 света, рабочую подложку 2, контрольную подложку 8, неподвижную диафрагму 4 с отверстием, фотоприемник 5, исполнительное устройство б, амплитудный дискреминатор 7 и индикаторный блок 8.

Устройство работает следующим образом.

10 Напыление производится на рабочую подложку 2 и через отверстие неподвижной диафрагмы 4 на небольшой участок контрольной подложки 8, которая может при подаче определенной команды сдвигаться на величину, 15 достаточную для того, чтобы расположить под отверстием неподвижной диафрагмы часть контрольной подложки, а напыленную сдвинуть в защищенное от напыления место.

Источник света расположен так, что свето20 вой поток, проходя через отверстие и через контрольную подложку, попадает на фотоприемник. Амплитудный дискреминатор с регулируемым порогом срабатывания, реагирующим на амплитуду сигнала, равную амплитуде пер25 ного интерференционного максимума, установлен за фотоприемником. При постоянной длине волны излучателя света н определенной толщине пленки амплитуда первого максимума всегда будет равна Х/4. При достижении

30 этой толщины амплитудный дискреминатор срабатывает и выдает сигнал, который по од359509

Предмет изобретения

Составитель Н. Лобзова

Текред Т. Миронова Корректор А. Степанова

Редактор М. Макарова

Заказ 4115/12 Изд. № 1731 Тираж 406 Подписное

ЦНИИПИ Комитета по делам изобретений и открытий при Совете Министров СССР

Москва, Ж-35, Раушская наб., д. 4/5

Типография, пр. Сапунова, 2 ному каналу поступает на исполнительное устройство, сдвигающее контрольную подложку на определенный угол, а по второму вЂ” на индикаторный блок, отсчитывающий толщины пленок, кратные Л/4. После отсчета определенной толщины выдается сигнал на прекращение напыления. В этом случае погрешность будет лежать в пределах Л/4.

Для уменьшения погрешности необходимо после отсчета предпоследнего максимума переключить фотоприемник на вход второго амплитудного дискреминатора, порог срабатывания которого можно выставлять (в зависимости от требуемой толщины) в пределах от нижнего до верхнего уровня амплитуды первого интерференционного максимума. В этом случае сигнал на прекращение напыления выдает второй амплитудный дискреминатор.

Порог срабатывания первого амплитудного дискреминатора регулируется только при переходе от напыления одного материала к напылению другого.

Устройство для контроля толщины пленки в процессе напыления, содержащее источник

5 света, фотоприемник, рабочую и контролируемую подложки, расположенные между источником света и фотоприемником, фиксатор интерференционных минимумов или максимумов и индикаторный блок, отличающееся тем, что, 10 с целью расширения диапазона контролируемых толщин и автоматизации контроля, оно снабжено установленной неподвижно над контрольной подложкой диафрагмой с отверстием, через которое производят напыление

15 контрольной подложки, и исполнительным устройством, связанным с контрольной подложкой и сдвигающим ее при достижении толщины пленки, равной амплитуде первого интерференционного максимума, на величину, 20 достаточную для подведения под отверстие диафрагмы незапыленного участка контрольной подложки.

Устройство для контроля толщины пленки в процессе напыления

Устройство для бесконтактного измерения с •*;-•/. толщины прозрачной пластины^-^-^^•' // 357464

Датчик плотности пленки // 357463

Устройство для измерения толщины нанесенной на образец тонкой пленки // 347564

Способ контроля толщины кристаллических // 344265

Устройство фотометрического контроля параметров диэлектрических покрытий, напыляемых в вакууме // 340883

Устройство для спектроинтерференционногоконтроля толщины // 337644

Измеритель загрязненности поверхности изделий // 326446

Способ измерения скорости образования и толщины пленок // 325482

Бче.пиотекл // 323650

Устройство для неразрушающего измерения толщины диэлектрических и полупроводниковых пленок // 2102702

Интерферометрическое устройство для измерения физических параметров прозрачных слоев (варианты) // 2141621

Изобретение относится к измерительной технике и может быть использовано для бесконтактного измерения толщины и показателя преломления прозрачных слоев

Способ измерения толщины листового стекла и устройство для его осуществления // 2146355

Изобретение относится к измерительной технике и может быть использовано для бесконтактного автоматического измерения толщины прозрачных материалов, например листового стекла, в непрерывном производственном процессе

Интерферометрическое устройство для бесконтактного измерения толщины // 2147728

Изобретение относится к измерительной технике, а именно к оптическим интерферометрам, и может быть использовано для непрерывного бесконтактного измерения геометрической толщины прозрачных и непрозрачных объектов, например листовых материалов (металлопроката, полимерных пленок), деталей сложной формы из мягких материалов, не допускающих контактных измерений (например, поршневых вкладышей для двигателей внутреннего сгорания), эталонных пластин и подложек в оптической и полупроводниковой промышленности и т.д

Способ измерения толщины тонкого слоя прозрачной жидкости // 2149353

Изобретение относится к оптическим способам измерения толщин слоев прозрачных жидкостей и может быть использован для бесконтактного определения толщин слоев прозрачных жидкостей в лакокрасочной, химической и электронной промышленности, а также в физических и химических приборах

Способ измерения оптической толщины плоскопараллельных прозрачных объектов // 2152588

Изобретение относится к измерительной технике, а именно к интерференционным способам измерения оптической толщины плоскопараллельных объектов и слоев

Устройство для контроля линейных размеров по принципу триангуляции // 2153647

Изобретение относится к контрольно-измерительной технике и может быть использовано в черной и цветной металлургии для измерения толщины проката в условиях горячего производства без остановки технологического процесса

Способ контроля толщины пленки в процессе ее нанесения // 2157509

Изобретение относится к контрольно-измерительной технике и предназначено для неразрушающего контроля толщины пленок, в частности в устройствах для измерения и контроля толщины пленок фоторезиста, наносимых на вращающуюся полупроводниковую подложку в процессе центрифугирования в операциях фотолитографии

Способ контроля толщины пленки в процессе ее нанесения и устройство для его реализации // 2158897

Изобретение относится к контрольно-измерительной технике и предназначено для неразрушающего контроля толщины и измерения разнотолщинности пленок, в частности в устройствах для нанесения фоторезиста в операциях фотолитографии

Способ измерения толщины тонкого слоя прозрачной жидкости // 2165071

Изобретение относится к оптическим способам измерения толщины слоя прозрачной жидкости