Всесоюзная '

 

362263

ОПИСАНИЕ

ИЗОБРЕТЕНИЯ

К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ

Союз Соввтскик

Социалистических

Республик

Зависимое от авт. свидетельства №

Заявлено 1111.1971 (№ 1619890. 26-25) с присоединением заявки №

Приоритет

М. Кл. G Olr 31122

Комитет по делам изобретений и открытий при Совете тлинистрое

СССР

УДК 621.382.2(088.8) Опубликовано 13.XI 1.1972. Бюллетень ¹ 2 за 1973 г.

Дата опубликования описания 25.1.1973

Авторы изобретения

А. В. Сперанский и А. С. Гусев

Заявитель

СПОСОБ ИЗМЕРЕНИЯ ПРОИЗВОДНОЙ НЕЛИНЕЙНОЙ

ЕМКОСТИ p — а ПЕРЕХОДА ПО НАПРЯЖЕНИЮ

Изобретение относится к области электрических измерений параметров полупроводниковых приборов.

Известен способ измерения производной нелинейной емкости по напряжению, согласно которому исследуемую емкость включают в контур автогенератора, подают на него внешнее модулирующее напряжение и измеряют изменение частоты относительно неизменной собственной частоты автогенератора, которое пропорционально производной нелинейной емкости по напряжению.

Однако этот способ не обеспечивает возможности проведения массовых испытаний приборов, так как при подключении разных исследуемых приборов необходимо перестраивать емкость в контур= автогенератора. Кроме того, при измерении производной нелинейной емкости:по напряжению данным способом не наблюдается прямо пропорциональной зависимости величины выходного сигнала от значения производной, что вносит дополнительную погрешность в измерения за счет сложности градуировки выходного индикатора.

По предлагаемому способу для повышения точности и обеспечения возможности проведения массовых измерений наряду с постоянным напряжением смещения на исследуемую емкость подают низкочастотное напряжение прямоугольной формы, и последующим двукратным детектированием выделяют постоянное напряжение, прямопропорциональное величине производной нелинейной емкости по напряжению исследуемого прибора.

Описываемый способ может быть осуществлен с помощью устройства, приведенного на чертеже.

Устройство состоит из генератора 1, датчика 2, генератора 8, усилителя 4, первого де10 тектора 5, второго детектора б, измерительного прибора 7, резистора 8 и клемм 9 для под ключения исследуемого прибора.

При измерении производной нелинейной

15 емкости по напряжению на исследуемый приоор подается постоянное напряжение от датчика 2, высокочастотное напряжение синусоидальной формы от генератора 3 и напряжение прямоугольной формы от генератора 1.

20 Частота импульсов прямоугольной формы выбирается на два или более порядков меньше частоты генератора 8. На резисторе 8 выделяется модулированное высокочастотное напряжение. Полученное напряжение усиливает25 ся усилителем и детектируется детектором 5.

На выходе детектора б возникает постоянное на пряжение, прямопропорциональное АС. При известной величине амплитуды низкочастотного напряжения ЛУ от генератора 1 измери30 тельный прибор 7 градуируется в единицах

362263

Предмет изобретения

Составитель О, Афанасенкова

Техред Л., Богданова Корректоры: Е. Миронова и А. Степанова

Редактор Н. Коган

Заказ 200/3 Изд. № 1017 Тираж 404 Подписное

ЦНИИПИ Комитета по делам изобретений и открытий при Совете Министров СССР

Москва, Ж-35, Раушская наб., д. 4/5

Типография, пр. Сапунова, 2 величины производной нелинейной емкости по напряжению.

На данном участке может производится измерение емкости исследуемого прибора путем отключения генератора 1 и подключения измерительного прибора 7 на выходе детектора 5.

Способ измерения производной нелинейной емкости р — n перехода по напряжению путем подачи на исследуемый прибор высокочастот. ного синусоидального напряжения малой амплитуды, отличающийся тем, что, с целью повышения точности и обеспечения возможноs сти массовых измерений, наряду с постоянным напряжением смещения на исследуемый прибор подают низкочастотное напряжение прямоугольной формы и последующим двукратным детектированием выделяют постоянное

10 напряжение, прямопропорциональное величине производной нелинейной емкости по напряжению исследуемого прибора.