Иатектго г40ttxhn4lvi.,»/«библиотека
275639
ОПИСАНИЕ
ИЗОБРЕТЕНИЯ
К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ
Союз Советскит
Социалистическими
Республик
Зависимое от авт. свидетельства №
Заявлено 27.1Х.1968 (№ 1272079/26-9) с присоединением заявки №
Приоритет
Опубликовано 03. т/11.1970. Бюллетень ¹ 22
Дата опубликования описания 12.Х.1970
Кл. 48Ь, 13/12
Комитет по делам иаобретений и открытий
МПК С 23с 15/00 при Совете Министров
СССР
Я %. )"
ПАТЕ1т.тт/0t б
1л ь
Автор изобретения
Б11БЛИОТЕ1 А
Ю. Ф. Шмелев
Заявитель
УСТРОЙСТВО ДЛЯ НАНЕСЕНИЯ
ТОКОПРОВОДЯЩИХ ПЛЕНОК
Изобретение относится к устройствам для нанесения токопроводящих пленок, например, пя основание резисторов.
Известны i. стройства для нанесения токоппоьодягцих пленок методом пиролиза газообразных реагентов, наппимеп оис-этилоензолхпома. для получения хромовых покрытий. содепжащие зягпн зочный механизм. вякi.. мч; Io камепч. соединенн ..ю тп бопповодом с испапителехт, и разгрузочный механизм.
Испаритель выполнен в виде нагпеваемого объема, в котопый загружается определенная попция реагентя для испарения.
Однако эти стпойствя не обеспечивают павномерного и стаоильпого Во времени нанесения TQKOIIDoâoäÿIIIHõ пленок, так как в ппоцессс DBooThl т стройства уменьшается количество папов реагента из-за т меньшеттия его количества в испапителе и фпакциониповяния.
Б пез льтате :мецьшается толщина токопповодяших пленок и увеличивается сопротивление оезистопов.
Пель изобпетения — стпянпть влияние . меньцтения количества пеагептя в испапителе и eIo Апякционипование на толцтин наносимых токопроводяших пленок. повысить ра:3номерность и качество нанесения пленок, Для этого испаритель снабжен автоматическим регулятором скорости испарения, состоящим из калориметрического датчика расхода и схемы измерения и управления скоростью испарения.
Калориметрнческий датчик расхода представляет собой три Архимедовых спирали, вы5 полненные из терморезистивной проволоки (например, вольфрамовой, платиновой) и помещенные внутрь термостятированного трубопрсвода перпендикулярно его осн на некотором расстоянии одна от другой, причем сред10 няя спираль является нагревателем, а крайние спирали подключены к измерительному мосту.
Схема измерения и управления состоит из четырехплечевого моста, в измерительнуlо диагональ которого включен электронный по15 тенциометр типа ЭПД. С помощью регулирующих контактов последнего управляют нагревательным элементом испарителя.
На фиг. 1 изображена блок-схема устройства; на фиг. 2 — регулятор скорости испаре20 ни Я.
Устройство для нанесения токопроводящих пленок состоит из загрузочного механизма 1, вакуумной камеры 2, соединенной посредсгвом трубопровода с испарителсм 8, разгрузочного механизма 4 и регулятора скорости испарения 5, имеющего обратную связь с испярителем.
Регулятор скорости испарения включает в себя датчик расхода, выполненный в виде трех ч0 архимедовых спиралей, размещенных внутри
275639
1 (!
Фиг.1
11огп
Фиг.
Тираж 480
Заказ 2661/3
Подпиепое
Типография, пр. Сапунова, 2
3 труоопровода б перпендикулярно его осипа определенном расстоянии одна от другой, причем средняя спираль 7 является нагревателем, а крайние спирали 8 и 9 включены в качестве плеч в схему моста 10. Мост содер>кит батарею питания 11, балансирующие сопротивления 12 и регистрирующий потснцнометр 18 типа ЭПД.
Изделия, на которые требуется нанести токопроводящую пленку, например основания резисторов, поступают из загрузочного механизма 1 в вакуумную камеру 2, где происходит нанесение пленки, и затем в разгрузочный механизм 4. Пары реагента благодаря регулятору скорости испарения 5 поступают из испарителя 8 в любом заданном и стабильном во времени количестве, .поэтому изделия равномерно покрываются пленкой заданной толщины.
Регулируется скорость испарения реагента следующим образом. Пары реагента проходят из испарителя по трубопроводу б через спираль 9, которая приобретает температуру паров, затем через нагревательную спираль 7, которая дополнительно нагревает пары, наконец, через спираль 8, которая нагревается парами.
Если мост был .предварительно сбалансиьован сопротивлениями 12, то при поступлении потока паров благодаря теплопереносу спирали 9 и 8 приобретают разную температуру.
Соотношение сопротивлений спиралей 8 и 9 меняется, что вызывает разбаланс моста, и па
4 потенциометре 13 появлястся сигнал, соответствующий потоку паров.
Наличие регулирующего контактного устройства в потенциометре 18 позволяет устанавливать и поддерживать любой уровень сигнала. Если поток паров уменьшается (увеличивается), то контакгное устройство потенциометра 18 включает (выключает) нагрев"тель испарителя, температура испарителя увещ личивается (уменьшается), увеличивается (уменьшается) также скорость испарения и поток пара восстанавливается до нормы.
Датчик расхода выполнен в виде спиралей
Архимеда для того, чтобы они контактирова15 ли со vñåìè слоями пара. Это увеличивает точность измерения потока, а следовательно, качество и равномерность нанесения пленки.
Предмет изобретения
2р Устройство для нанесения токопроводящих пленок, содержащее загрузочный механизм, вакуумную камеру, соединенную посредством трубопровода с испарителем, и разгрузочный механизм, отличаюш ееся тем, что, с целью повышения качества, равномерности и стабильности пленок во времени, испаритель снабжен автоматическим регулятором скорости испарения, датчик расхода которого выполнен в виде трех терморезис ивных cnupagp лей Архимеда, размещенных внутри трубопровода перпендикулярно его оси и параллельно друг другу, причем средняя спираль являет. я нагревателем, а крайние спирали подключень! к измерительному мосту.
