Материал для испарительных металлокерамических элементоввптбфонд зкенерюгч

 

11ц 420706

ОПИСАНИЕ

ИЗОБРЕТЕНИЯ

К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ

Союз Советски е

Социалистическими

Республик (61) Зависимое от авт. свидетельства (22) Заявлено 26.06.72 (21) 1800939/22-1 с присоединением заявки № (32) Приоритет

Опубликовано 25.03.74. Бюллетень ¹ 11

Дата опубликования описания 30.08.74 (51) М, Кл, С 23с 13/02

С 04Ь 35/58

Государственный комитет

Совета Министров СССР ло делам изобретений и открытий (53) УДК 621.793.7 (088.8) (72) Авторы изобретения

В. H. Сумароков, P. Е. Мурашко, Г. П. Воскобойник, А. Д. Умрихин, Г. В. Самсонов, Л. И. Струк и Б. Д. Калиниченко (71) Заявитель (54) МАТЕРИАЛ ДЛЯ ИСПАРИТЕЛЪНЫХ

МЕТАЛЛО КЕРАМИЧ ЕСКИХ ЭЛ EMEHTOB

Изобретение относится к нанесению покрытий, в частности к аппаратуре для нанесения покрытий методом вакуумного испарения.

Известны материалы для испарительных металлокерамических элементов, выполненные на основе диборида титана (93—

95 вес.%) с добавками молибдена.

Однако стойкость таких элементов в режиме испарения очень низка.

С целью повышения стойкости металлокерамических элементов и увеличения срока их службы в материал на основе диборида титана вводят карбид титана в количестве 20—

30 вес %.

Это позволяет существенно повысить стойкость испарительных металлокерамических элементов.

Наиболее эффективным способом изготовления испарительных элементов является спрессовыв ание жидкостью высокого давления (50 — 5000 кг/см ) .

Предлагаемый материал электропроводен, инертен по отношению к расплавленным металлам, в частности к алюминию, при температурах их испарения.

Металлокерампческие элементы приготавливают в следующей последовательности.

5 В смесь порошков исходных элементов (TiC и Т1В2) вводят пластификатор (например раствор синтетического каучука в бензине), после чего смесь засыпают в пресс-формы и подвергают гидростатичсскому прессованию.

10 Полученную заготовку спекают в защитной среде водорода в засыпке из графитовой крупки при 2200 С в течение 1 час.

Срок службы испарительных элементов, выполненных по такой технологии. в пять раз

15 превышает срок службы известных элементов.

Предмет изобретения

Материал для пспарительных металлокерамических элементов вакуумных металлиза20 ционных установок на основе диборида титана, отл и ч а ю щи йс я тем, что, с целью увеличения срока службы и повышения стойкости элементов, в него дополнительно вводится карбид титана в количестве 20 — 30 вес.%.