Устройство для нанесения покрытий в вакууме
ОП ИСАНИЕ
ИЗОБРЕТЕН ИЯ
Союз Советских
Социалистичесних
Республик
Н АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ (61) Зависимое от авт, свидетельства— (») Заявлено 15.10.71 (21) 1706192/22-1 с присоединением заявки №вЂ” (32) Приоритет —
Опубликовано 30.04,74. Бюллетень № 16
Дата опубликования описания 19.02.75 (51) М. Кл. С 23с 13/08
Гасударственный камитет
Саеета Министров СССР па делам кзабретеннй и аткрытий (53) УДК 621.793.14. .002.51 (088.8) (72) Автор изобретения 1О. А. Екимов (71) Заявитель Специальное конструкторское бюро вакуумных покрытий (54) УСТРОЙСТВО ДЛЯ НАНЕСЕНИЯ ПОКРЫТИЙ
В ВАКУУМЕ
Изобретение относится к области нанесе.ния покрытий в вакууме и может быть исетсльзовано для двусторонней металлизации изделий.
MI3IBBcTHo устройство для нанесения покрытий в,вакууме, содержащее камеру, внутри которой укреплены испарители и вращающийся барабан, на котором неподвижно смонтирова ны ка ссеты для обрабатызаемых .изделий, образующие многогранник.
Однако коэффициент использования ооъема вакуумной камеры при этоiI недостаточно в васо к. .Цель изобретения — повышение произ водительности устройства и получение двустороннего покрытия.
Для этого предлагаемое устройство снабжено дополнительными кассетами, смонти;рованными на осях в вершинах многогранника с возможностью раз ворота относительно осей.
Предлагаемое устройство для нанесения покрытий,в вакууме показано на чертеже.
Устройство состоит из камеры 1, .внутри которой укреплены испарители 2, 8 и вращающийся оарабан 4, на котором неподвижно смонтированы ка ссеты 5,для обрабатываемых изделий, образующие многогранник, и дополнительные кассеты 6, смонтированные на осях 7 в вершинах многограннн1 à с вэз- - " блио о т п-„, „
425986.можностью раз|ворота QTHocèòåëüíî этих осей.
Работает устройство следующим образом.
По достижении рабочего вакуума в камере
1 включаются при вод барабана 4 с кассетами б и 5 и ис парители 2 и 8. При этом происходнт,нанесение, покрытия на поверхности изделий, обращенвые к испарителям. После окончания напыления на одну сторону изделий, закрепленных в неподвижных кассетах
5, иопаритель 8 выключается. Одновременно .включается, привод кассет б,,выполненный, например, в вниде мальтийского механизма.
Такое вьаполнение привода обеспечивает поочередное разворачивание кассет 6 относительно осей 7 за один оборот барабана 4 и поджатие последних к смежным граням барабана 4 с помощью, HBIIIpHtMep, автоматических фиксаторов. При этом перекрываются стороны кассет б, обращенные к испарителю 2, с уже нанесенным покрытием и вместе с тем откры ваюгся необработанные стороны изде IIIÉ.
Разворот подвижных кассет б осуществляется вне зоны испарения,во время работы ,c;Iарителя 2.
По достижении необходимой толщины покрытия на подложках вращение барабана 4 прекращается и камера 1 разгерметизируется.
Готовые изделия вынимаются из кассет.
425986
Предмет изобретения
Составитель Л. Анисимова
Редактор Е. Шепелева
Текред Л. Акимова
Корректор И. Симкина
Заказ 763/30 Изд. № Тираж 875 Подписное
ЦНИИПИ Государственного комитета Совета Министров СССР по делам изобретений и открытий
Москва, Ж-35, Раушская наб., д. 4/5
Тип. Харьк. фил. пред. сПатеит>
Устройство для,нанесения покрытий в вакууме, содержащее камеру, внутри которой укреплены испарители и барабан, на котором неподвижно смонтированы кассеты для обрабатываемых изделий, образующие многогранни к, отлича ощееся тем, что, с целью получе,ния д в устороннего покрытия и повышения
lIl p0Hl3B0äèòåëüH0ñòè, оно сн а о жено до пол н ительными кассетами, смонтированными на осях в вершинах, многогранника с возможностью разворота относительно этих осей.
