Многодисковый инструмент для резки хрупких материалов

 

»1 46Ю 0 0

ОП ИСАН И Е

ИЗОБРЕТЕНИЯ

К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕ,ПЬСТВУ

Союз Советских

Социалистических

Республик (61) Дополнительное к авт. свид-ву № (22) Заявлено 03.08.73 (21) 1952637/29-33 с присоединением заявки ¹ (23) Приоритет

Опубликовано 25.02.75. Бюллетень № 7

Дата опубликова1шя описания 07.04.75 (51) М. Кл. В 28d 5/02

Государственный комитет

Совета Министров СССР ло делам изобретений и открытий (53) УДК 679.8.053 (088.8) (72) Авторы изобретения

О. М. Чигринский, Г. В, Шуваев, Л. К. Козлов и Г. А. Ермолин (71) Заявитель

И НСТРУМЕНТ ДЛЯ РЕЗКИ

МАТЕРИАЛОВ

Цель изобретения — снижение усилии" реза-,, ния и повышение его качества путем исключения образования сколов.

Это достигается тем, что гсо метрические

5 центры дисков расположены на окружности, радиус которой равен эксцентриситету, и установлены один относительно другого на равных расстояниях по длине этой окружности.

На фиг. 1 изображен инструмент, общий

10 вид; на фиг. 2 — то же, вид сбоку.

Многодисковый инструмент для резки содержит диски 1, посаженные эксцентрично оси вращения на приводной вал 2 с шагом, соответствующим шагу расположения линий

15 разделения элементов; между дисками имеются прокладки 3. Геометрическис центры 4 дисков 1 расположены на окружности, радиус которой равен эксцентриситету, и разнесены один относительно другого на равных расстоя20 ниях по длине этой окружности.

Многодисковый инструмент работает следующим образом.

Диски, набранные на оправку таким образом, чтобь1 участки, максимально удаленные

25 от оси вращения, были сдвинуты один относительно другого, входят в контакт с разрезаемым материалом.

Режущие диски не все одновременно находятся в контакте с разрезаемым материалом, 30 а последовательно входят в него; тем самым (54) МНОГОДИСКОВЫЙ

ХРУПКИХ

Инструмент относится к технологическому оборудованию для заготовок и предназначен для производства полупроводниковых приборов и ИС в радиоэлектронной технике, но может быть использован и в других отраслях промышленности.

Известен многодисковый инструмент для резки хрупких материалов, содержащий приводной вал, на который последовательно набраны эксцентрично режущие диски и прокладочные кольца с шагом, соответствующим шагу расположения структур на разрезаемой пластине. Однако в процессе разрезки все диски инструмента находятся в непрерывном контакте с разрезаемым материалом. Кроме того, все диски одновременно производят разрезку и поэтому при разрезке пластин толщиной

300 — 400 мкм тонкими дисками (порядка 40—

50 мкм) возможны заклинивания дисков в материал, что приводит к увеличению ширины реза и к образованию сколов по кромкам реза; кроме того, затруднено удаление продуктов резания из образующихся пазов, что приводит к их расширению и появлению больших сколов вдоль кромок прорезей; торцевое биение режущих кромок всех дисков значительно увеличивает ширину реза (например, диск толщиной 70 мкм дает прорезь шириной

120 мкм).

461000

4 1 т

3 Риз, 2

Составитель М. Моргунова

Техред Т. Миронова

Корректоры: А, Николаева и Л. Корогод

Редактор А. Морозова

Заказ 737/10 Изд. № 393 Тираж 619 Подписное

ЦНИИПИ Государственного комитета Совета Министров СССР по делам изобретений и открытий

Москва, Ж-35, Раушская наб., д, 4/5

Типография, пр. Сапунова, 2 обеспечивается процесс резания с меньшим усилием, а также улучшаются условия удаления продуктов резания, повышается качество реза, уменьшается его ширина, а участие в работе лишь части дисков уменьшает торцевое биение, что снижает возникновение сколов и сокращает ширину реза.

Предмет изобретения

Многодисковый инструмент для резки хрупких материалов, например, подложек полупроводниковых пластин, содержащий набор дисков, установленных эксцентрично оси вращения на приводном валу с шагом, соответствующим шагу расположения линий резания, 5 отличающийся тем, что, с целью снижения усилий резания и повышения его качества, геометрические центры дисков расположены на окружности, радиус которой равен эксцентриситету, и установлены один относительно

10 другого на равных расстояниях по длине этой окружности.