Устройство для нанесения эмульсий и лаков в электроостатическом поле

 

- .-. R

О П И С А Н И Е 503381

Союз Советских

Социалистических

Республик

ИЗОБРЕТЕНИЯ (61) Дополнительное к авт, свид-ву (22) Заявлено 02.04.74 (21) 2011276/26-21 с присоединением заявки )Й (23) Ириоритет

Опубликовано 15.02.76, Бюллетень М 6 (51) М. Кл. - Н 05К 3/28

В 05В 5/00

Государственный комитет

Совета Министров СССР па делам изобретений н открытнй (53) УДК 621.396.6.049..75.002 (088.8) Дата опубликования описания 29.04.76 (72) Авторы изобретения

Б. И. Нииошвили, Г. К. Почхуа, А. Д. Слонимский и

С, А. Шапиро (71) Заявитель (54) УСТРОЙСТВО ДЛЯ НАНЕСЕНИЯ ЭМУЛЬСИЙ И

ЛАКОВ В ЭЛЕКТРОСТАТИЧЕСКОМ ПОЛЕ

Изобретение относится к области электронной "åõíèêè и может быть использовано для нанесения копировальных эмульсий на заготовках печатных плат, полупроводниковых пластин при производстве интегральных схем и масок для тонкопленочной техники, а также ири нанесении тонких изоляционных покрытий.

Известны устройства для нанесения эмульсий и лако» в электрическом поле, содержащее корпус с ц !Яиндричсским королирующим электродом, в полости которого, заполHåнной распыляемой жидкостью, размещена втулка, IОзат0р д !я пода !и р3спыляемой ж!!д! ОСTH В полость корпуса и привод.

Однако, наличие в распыляемом метериале летучих органических растворителей, (толуол, ацетон и др) вызывает загустение жидкости в капилярном зазоре распыления, частички жидкости присыхают к стенкам, образующим зазор, тем самым засоряют его, в результате нарушается стабильность процесса.

Кроме того, указанные растворители разъедают уплотнение из резины, питающей трубки, необходимое для предотвращения утечки распыляемого материала при вращении корпуса.

Применение же фторопласта в качестве уllлотняющего материала вызывает усложнение уплотняющегo узла устройства.

С целью повышения стабильности и интенсивности распыления предлагаемое устройство снабжено свободно установленным в основании корпуса диском, на котором закреплена упомянутая втулка, а привод соединен с корпусом с возможностью передачи ему IlpogoJlbно-крутильных колебаний, кроме того, втулка размещена эксцентрично относительно оси коронирующего электрода с возможностью изменения ВеlH IIIIIbl эксцентрпситета.

На чертеже дано предлагаемое устройство.

Устройство для нанесения эз! льсий и лаков в электростатическом поле содержит корпус

1 со смонтированным цилиндрическим элек-!

5 тродом 2, жестко соединенный основанием с активной частью электромагнитного вибратора 3 через изолятор 4. В цпл!и!дрическом электроде эксцентрично установлена втулка

5 посредством соединенного с ней диска 6, 20 имеющего кольцевой бурт на опорной плоскости и свободно размещенного в полости корпуса 1 и соосно с ним, при !ем втулка соединена с диском с возможностью изменения расстояния между их осями с помощью эксцен25 тричной посадочной поверхности втулки.

В H0pH y cp. и диcKc. вbIIlолнон!.! с0001IIакг@ие ся каналы. Для ПОдво;(3 133cпь!ляемО!I ж!!дкости от дозатора 7 имеется гибкая питающая трубка 8, которая непосредственно присоедн30 иена к каналу подачи корпуса 1.

503381

Составитель И. Блннкова

Типография, пр. Сапунова, 2

Устройство работает следующим образом.

Распыляемая жидкость подается дозатором

7 через питающую трубку 8, каналы корпуса ! и втулку 5 в рабочую зону распыления.

Электромагнитный вибратор 3 передает корпусу распылителя .направленные продольнокрутильные колебания, в результате чего корпус распылителя в один полупериод поднимается вверх и поворачивается по часовой стрелке, а во второй полупериод опускается вниз и перемещается против часовой стрелки, при этом диск 6 в первый полупериод движется совместно с кор пусом вверх и по часовой стрелке, а во второй полупериод 6 отрывается от поверхности и под действием силы инерции продолжает перемещаться в том же направлении. В последующий полупериод направление движения диска 6 совпадает с направлением перемещения корпуса 1.

Таким образом, диск вращается только вокруг своей оси, т. е. в направлении по часовой стрелке. Втулка 5, соединенная эксцентрично с диском 6, сохраняя зазор распыления постоянным, меняет его расположение относительно коронирующего электрода 2, как бы обегает внутреннюю его полость, !сключая возможность загустения жидкости, присыхания частичек распыляемого материала к стенкам электрода и втулки, что повышает эффектив5 ность и стабильность процесса распыления.

Формула изобретения

1. Устройство для нанесения эмульсий и лаков в электростатическом поле, содержащее

10 корпус с цилиндрическим коронирующим электродом, в полости которого, заполненной распыляемой жидкостью, размещена втулка, дозатор для подачи раапыляемой жидкости в полость корпуса и привод, о т л и ч а ю щ е ес я

15 тем, что, с целью повышения стабильности и интенсификации:процесса распыления, оно снабжено свободно установленным в основании корпуса диском, на котором закреплена втулка, а привод соединен с корпусом с воз20 мож ностью передачи ему продольно-крутильных колебаний.

2. Устройство по п. 1, о т л и ч а ю щ е е с я тем, что втулка размещена эксцентрично относительно оси коронирующего электрода с

25 возможностью изменения величины эксцентриситета.

Редактор Т. Янова Текред А. Камышннкова

Корректор Е. Рожкова

Заказ 836/!4 Изд. № 1122

Тираж 1029 Подписное

ЦНИИПИ (осударственного комитета

Совета Министров СССР по делам изобретений н открытий

113035, Москва, Ж-35, Раушская наб., д. 4/5